技术总结
本发明公开了一种方位可控的微运动平台及其方位控制方法。该装置主要包括微运动平台周向旋转单元、平台俯仰运动单元及基础平台，主要应用场合为扫描电子显微镜真空腔室内。本微运动平台的方位控制方法为：首先计算平台周向旋转所需的最小角度，启动平台周向旋转单元，利用图像处理方法计算实际角度偏差并驱动平台周向旋转单元进行校正，以此对平台进行周向方位可控的精确调整；然后，根据给定平台俯仰目标方位与初始方位，计算平台俯仰运动所需的最小角度，启动平台俯仰运动单元，对平台实现可控的俯仰方位调整。至此，实现了对微运动平台的方位可控操作。本发明具有自动化操作、方位可控、空间定位准确、结构简单、自保护等特点。
技术研发人员：曹宁;谢少荣;罗均;李恒宇;龚振邦
受保护的技术使用者：上海大学
文档号码：201610750195
技术研发日：2016.08.30
技术公布日：2018.03.06