磨削磨轮以及被加工物的磨削方法与流程

文档序号:12129117阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种磨削磨轮,其用于对板状的被加工物进行磨削,其特征在于,

该磨削磨轮具有:

圆盘状的磨轮基台,其具有磨削时与被加工物相对的第1面;以及

多个磨削磨具,它们呈环状排列在该磨轮基台的该第1面上,

在该磨轮基台的周向上相邻的两个该磨削磨具在该磨轮基台的径向上配置在不同的位置上。

2.根据权利要求1所述的磨削磨轮,其特征在于,

该多个磨削磨具被排列成:磨削时所形成的任意的该磨削磨具的轨迹的一部分与其他的任意的该磨削磨具的轨迹的一部分重叠。

3.一种被加工物的磨削方法,使用磨削装置对被加工物进行磨削,该磨削装置具有:安装有权利要求1或2所述的磨削磨轮的磨削构件;以及对被加工物进行保持的卡盘工作台,该被加工物的磨削方法的特征在于,

按照在该磨轮基台的径向上配置在最外侧的磨削磨具的轨迹通过该被加工物的中心的方式使该磨削磨轮与被加工物的位置一致而实施磨削。

4.根据权利要求3所述的被加工物的磨削方法,其特征在于,

被加工物是蓝宝石基板或SiC基板。

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