一种防止腔室盖板坠落的支撑结构的制作方法

本发明涉及一种应用于半导体沉积设备的腔室盖板防坠落装置，特别涉及一种防止腔室盖板坠落的支撑结构。属于半导体薄膜沉积应用及制造技术领域。

背景技术：

半导体设备制成、维护过程中，操作者的人身安全是重中之重。对人身安全造成威胁的因素很多，除气体、电磁辐射等化学与物理因素外，机械伤害不容忽视。

在半导体设备加工、维护等过程中，有时需要操作者打开腔室盖板，来查看及维护腔体内各个部件。

而对于腔室盖板自动升降的半导体设备来说，控制失误、互锁失效，导致盖板重力下落的安全隐患尤为严重。机械互锁作为最后的安全保障，其存在及效用都尤为重要。

技术实现要素：

本发明以解决上述问题为目的，主要解决腔体盖板升起后由于控制失误、互锁失效，导致盖板不正常下落所带来的安全隐患而提供一种防止腔室盖板坠落的支撑结构。该支撑结构安装简便，适应腔体及盖板接触面结构，对角安装，一侧采用销孔对接安装此装置，另一侧包裹导向轴安装，采用尼龙材质，保证绝对的耐磨性，结构简单。

为实现上述目的，本发明采用如下技术方案：

一种防止腔室盖板坠落的支撑结构，包括上盖板，腔体，导向轴,该支撑结构还包括支撑装置A，支撑装置B；所述支撑装置A包括支撑板A、支撑板B、锁定销子锁紧装置A，所述支撑板A与支撑板B一侧通过合页与锁紧螺钉连接，另一侧由锁定销子通过锁定销子锁紧装置A将支撑板A和支撑板B固定或打开；所述支撑装置B包括支撑板C、支撑板D、固定销钉安装孔、锁定销子锁紧装置B、固定销钉、销孔，支撑板C与支撑板D的一侧通过合页与锁紧螺钉连接，另一侧由锁定销子通过锁定销子锁定装置B将支撑板C与支撑板D固定，防止打开，所述支撑板C与支撑板D的顶端中央的固定销钉安装孔将固定销钉包裹卡住，支撑板C底部设有销孔；所述上盖板底部设有与固定销钉对应的销孔，所述腔体上端面上设有与销孔对应的销钉；所述支撑装置A将导向轴包裹后再由锁定销子通过锁定销子锁紧装置A固定在上盖板与腔体之间，所述支撑装置B的固定销钉与所述上盖板的销孔相对应安装，销孔与所述腔体的销钉相对应安装。

所述支撑装置A与支撑装置B对角安装于所述上盖板与腔体之间。

所述支撑装置A与支撑装置B为圆柱体形状。

所述支撑板A、支撑板B、支撑板C与支撑板D均为尼龙材质。

本发明的有益效果及特点：

本发明的防止腔室盖板坠落的支撑结构利用其支撑装置的圆形面贴合下落的上盖板和腔体，支撑盖板，防止其坠落。本发明结构简单、操作简便，采用尼龙材质，保证绝对的耐磨性，具有较强的安全性。

附图说明

图1是本发明的支撑装置A1的结构示意图；

图2是本发明的支撑装置B2的结构示意图；

图3是本发明的防止腔室盖板坠落的支撑结构的结构示意图。

具体实施方式

下面结合实施例进一步对本发明进行详细说明，但发明保护内容不局限于所述实施例：

实施例

参照图1-3，一种防止腔室盖板坠落的支撑结构，包括上盖板11，腔体12，导向轴14，该支撑结构还包括支撑装置A1，支撑装置B2；所述支撑装置A1包括支撑板A3、支撑板B4、锁定销子锁紧装置A5，所述支撑板A3与支撑板B4一侧通过合页与锁紧螺钉连接，另一侧由锁定销子通过锁定销子锁紧装置A5将支撑板A和支撑板B固定或打开固定或打开；所述支撑装置B2包括支撑板C6、支撑板D7、固定销钉安装孔8、锁定销子锁紧装置B9、固定销钉10、销孔13，所述支撑板C6与支撑板D7的一侧通过合页与锁紧螺钉连接，另一侧由锁定销子通过锁定销子锁定装置B9将支撑板C6与支撑板D7固定，防止打开，支撑板C6与支撑板D7的顶端中央的固定销钉安装孔8将固定销钉10包裹卡住，支撑板C6底部设有销孔13；所述上盖板11底部设有与固定销钉10对应的销孔，所述腔体12上端面上设有与销孔13对应的销钉；所述支撑装置A1将导向轴14包裹后再由锁定销子通过锁定销子锁紧装置A5固定在上盖板11与腔体12之间，所述支撑装置B2的固定销钉10与所述上盖板11的销孔相对应安装，销孔13与所述腔体12的上端面上的销钉相对应安装。

所述支撑装置A1与支撑装置B2对角安装于所述上盖板11与腔体12之 间。

所述支撑装置A1与支撑装置B2为圆柱体形状。

所述支撑板A、支撑板B、支撑板C与支撑板D均为尼龙材质。

所述锁定销子锁紧装置B9与所述锁定销子锁紧装置A5结构相同。

工作时，上盖板11升起后，导向轴14一侧，打开锁定销子锁紧装置A5使支撑装置A1将导向轴14包裹后，再由锁定销子通过锁定销子锁紧装置A5固定在上盖板11与腔体12之间，导向轴14对角一侧，用锁定销子通过锁定销子锁紧装置B9将支撑装置B2固定，然后将固定销钉10安装于固定销钉安装孔8内，最后将支撑装置B2的固定销钉10与上盖板11的销孔相对应，销孔13与腔体12的上端面上的销钉相对应，保持支撑装置A1与支撑装置B2的垂直，下降上盖板11，待支撑装置B2的固定销钉10进入上盖板11销孔即可。