技术总结
一种防止腔室盖板坠落的支撑结构，主要解决现有腔室盖板自动升降的半导体设备的控制失误、互锁失效，导致盖板重力下落的安全隐患尤为严重等问题，本发明提供一种防止腔室盖板坠落的支撑结构，包括上盖板，腔体，导向轴，该支撑结构还包括支撑装置A，支撑装置B。本发明结构简单、操作简便，采用尼龙材质，保证绝对的耐磨性，具有较强的安全性。
技术研发人员：吴凤丽;初春;陈英男;姜崴;郑旭东;关帅
受保护的技术使用者：沈阳拓荆科技有限公司
文档号码：201510566063
技术研发日：2015.09.08
技术公布日：2017.03.15