一种提高压电柔性机构输出位移和固有频率的结构的制作方法

文档序号:11837149阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种提高压电柔性机构输出位移和固有频率的结构,包括菱形柔性机构和压电叠堆,所述菱形柔性机构包括柔性梁、位移输入端、刚性固定端和刚性输出端,两个所述位移输入端对称设置,所述刚性固定端和所述刚性输出端对称设置,两个所述位移输入端之间的连线与所述刚性输入端和所述刚性输出端之间的连线垂直,四个所述柔性梁依次连接所述位移输入端、所述刚性固定端和所述刚性输出端并组成菱形结构,所述压电叠堆设置在所述位移放大机构内,且所述压电叠堆的两端分别与两个所述位移输入端连接,其特征在于:

还包括压电片、位移传感器、数据采集系统、功率放大器和控制器,所述位移传感器设置在所述刚性输出端上,多个所述压电片分别固定设置在所述柔性梁的两端,所述位移传感器的信号输出端与所述数据采集系统的信号输入端连接,所述数据采集系统的信号输出端与所述控制器的信号输入端连接,所述控制器的信号输出端与所述功率放大器的信号输入端连接,所述功率放大器的信号输出端与所述压电叠堆/所述压电片的驱动信号输入端连接。

2.根据权利要求1所述的一种提高压电柔性机构输出位移和固有频率的结构,其特征在于:所述压电片分别设置在所述柔性梁的上表面和下表面,且位于所述柔性梁的两端,所述柔性梁的同一位置可设置多个所述压电片,多个所述压电片在其厚度方向上重叠粘合。

3.根据权利要求2所述的一种提高压电柔性机构输出位移和固有频率的结构,其特征在于:还包括柔性铰链,所述柔性梁与所述位移输入端、所述刚性固定端和所述刚性输出端之间均通过所述柔性铰链连接。

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