等离子清洗机的制作方法

【技术领域】

本发明涉及半导体制造加工领域，尤其涉及一种去除框架上污染物的等离子清洗机。

背景技术：

引线框架作为集成电路的芯片载体，是一种借助于键合材料(金丝、铝丝、铜丝)实现芯片内部电路引出端与外引线的电气连接，形成电气回路的关键结构件，它起到了和外部导线连接的桥梁作用，绝大部分的半导体集成块中都需要使用引线框架，是电子信息产业中重要的基础材料。在半导体制造加工过程中会在引线框架上遗留溢胶、氧化物等污染物，影响焊线效果，因此需要等离子清洗技术清洗该污染物。目前对引线框架进行清洗时，缺少对单件引线框架的自动化整体清洗设备，自动化程度低容易造成二次污染并且增加生产成本。

因此，亟需一种自动化程度高、能清洗单件引线框架的等离子清洗机。

技术实现要素：

本发明所要解决的技术问题是，提供一种自动化程度高、能清洗单件引线框架的等离子清洗机。

为解决以上技术问题，本发明的技术方案是：提供一种等离子清洗机，包括：料盒放置座，用于放置装有引线框架的料盒；第一推片机构，设于所述料盒放置座的第一端，用于将所述料盒内的引线框架推出；载物台移送组件，至少包括可沿x轴方向和z轴方向移动的第一载物台，用于接收从所述料盒放置座离开的引线框架；传送带输送组件，设于所述料盒放置座与所述第一载物台之间，用于将所述引线框架从所述料盒放置座传送至所述载物台移送组件；下端开口的反应仓，所述第一载物台移动至所述反应仓开口端下方时沿z轴方向向上移动与所述反应仓密封形成密封腔体，用于使所述第一载物台承载的引线框架在所述密封腔体内完成清洗过程。

作为一种优选方案，所述载物台移送组件还包括可沿x轴方向和z轴方向移动的第二载物台，用于接收从所述料盒放置座离开的引线框架，并传送至反应仓下端与所述反应仓密封形成密封腔体，使所述第二载物台承载的引线框架在所述密封腔体内完成清洗过程；当所述第一载物台密封所述反应仓的开口端时，所述第二载物台位于所述第一推片机构与所述第一载物台之间，所述传动带输送单元位于所述第一推片机构和所述第二载物台之间，用于将从料盒推出的引线框架传送至第二载物台；当所述第二载物台密封所述反应仓的开口端时，所述第一载物台位于所述第一推片机构与所述第二载物台之间，所述传动带输送单元位于所述第一推片机构和所述第一载物台之间，用于将从料盒推出的引线框架传送至第一载物台。

作为一种优选方案，所述第一推片机构包括第一推片组件、用于驱动所述第一推片组件的推片传送组件，所述第一推片组件包括第一推动件、连接到所述第一推动件的第一弹性组件、连接到所述第一弹性组件的传感器、连接到传感器的控制组件，用于当所述推动件推动引线框架不顺畅受到阻力时传感器输出报警信号使所述推动件停止推动。

作为一种优选方案，所述料盒放置座安装有第三升降装置，用于控制所述料盒放置座沿z轴升降。

作为一种优选方案，所述第一载物台上设有用于收容所述引线框架的边缘的收容件。

作为一种优选方案，所述第一载物台与所述反应仓密封的表面设有密封圈。

作为一种优选方案，所述传送带输送组件与所述引线框架之间为滚动摩擦。

作为一种优选方案，所述传送带输送组件包括至少两组传送单元，每组传送单元包括与所述引线框架接触的主传送装置、辅传送装置，所述传送带输送组件还包括同时驱动所有传送单元的第一驱动件，所述第一驱动件通过联动轴连接到所有传送单元的主传送装置。

作为一种优选方案，所述主传送装置包括与所述引线框架直接接触的第一传动带以及驱动所述第一传动带的第一传动轮组，所述第一传动轮组连接到所述联动轴。

作为一种优选方案，还包括第二推片机构，用于引线框架在所述料盒放置座、载物台移送组件、反应仓三者之间的相互移送，所述第二推片机构包括第二推动件、连接到所述第二推动件的第二弹性组件、连接到所述第二弹性组件的传感器、连接到传感器的控制组件，用于当所述推动件推动引线框架不顺畅受到阻力时传感器输出报警信号使所述推动件停止推动，所述第二推动件包括方向相反的第一推动部和第二推动部。

实施本发明取得的技术效果如下：料盒放置座用于放置料盒，第一推片机构用于将料盒从料盒放置座推入载物台移送组件，第一载物台可沿x轴和y轴升降，能够方便地接收料盒内不同高度的引线框架，也能够方便地与反应仓形成密封腔体，传送带输送组件用于将引线框架从料盒放置座传送至载物台移送组件，整个过程能够直接从装有多个引线框架的料盒中取出引线框架并清洗，不需要人工参与，自动化程度高，大大提高了生产效率，并且第一载物台直接与反应仓形成密封腔体省去了传统机器中反应仓关闭密封盖的过程，简化了流程，提高了清洗效率。第二载物台和第一载物台交替与下端开口反应仓形成密封腔体，最大程度上利用了工作时间，使反应仓闲置的时间大大缩短，提高了生产效率。并且当第一载物台密封反应仓开口端时，第二载物台位于第一推片机构和第一载物台之间；第二载物台密封反应仓开口端时，第一载物台位于第一推片机构与第二载物台之间，使反应仓与料盒放置座之间只间隔一个载物台的距离，最大程度的减小了机器的体积，使结构更紧凑，占用体积小。第一推片机构包括第一推动件、第一弹性组件、传感器，能够在受到阻力时输出报警信号，防止引线框架损坏，提高了生产效率，降低了次品率。料盒放置座安装有第三升降装置，使之可以沿z轴升降，使第一推动组件能够推动料盒内不同高度的引线框架，提高了机器的性能。第一载物台上设有收容件，用于收容引线框架边缘，使引线框架在第一载物台上能够按照规则的方向排列，方便传输，从而提高清洁效率。传送带输送组件与引线框架之间为滚动摩擦，可以极大降低粉尘污染的产生，降低良品率。第一载物台设有密封圈，与反应仓形成密封腔体时密闭性更好，引线框架清洗更完全，传送带输送组件包括两组传送单元，每组传送单元包括主传送装置和辅传送装置、第一驱动件，第一驱动件通过联动轴驱动所有的主传送装置，减少了驱动机构的设置，简化了机器结构，降低了生产成本。主传送装置包括与引线框架直接接触的第一传送带，由第一传动轮组驱动，第一传送轮组连接到联动轴，通过联动轴驱动，这种驱动方式结构简单且稳定。第二推片机构用于引线框架在料盒放置座、载物台移送组件、反应仓三者之间的相互移送，第二推片机构包括第二推动件，其第一推动部和第二推动部在第二弹性组件、传感器、控制组件的相互配合下实现引线框架的无伤害推动，降低次品率，方向相反的第一推动部和第二推动部分别用于不同方向的推动，同时安装在第二推动件上，简化了机器结构。

下面将结合附图及实施例对本发明作进一步说明。

【附图说明】

图1所示为本发明提供的等离子清洗机的立体结构示意图；

图2为图1所示等离子清洗机去掉封闭外壳后的立体结构示意图；

图3为图2所示等离子清洗机去掉封闭外壳后的俯视图；

图4为图2所示等离子清洗机去掉封闭外壳后的侧视图；

图5为图2所示载物台移送组件的立体结构示意图；

图6为图5所示载物台移送组件的俯视图；

图7为图2所示第一推片机构的立体结构示意图；

图8为图7所示第一推片组件的立体结构示意图；

图9为图8所示第一推片组件的仰视图；

图10为图9所示第一推片组件沿a-a方向的剖视图；

图11为图7所示第一推片机构的主视图；

图12为图1所示第二推片机构的内部结构示意图；

图13为图12所示第二推片组件的侧视图；

图14为图2所示传送带输送组件的立体结构示意图。

【具体实施方式】

参考图1-图4，本发明一实施例提供一种等离子清洗机，包括：料盒放置座110、第一推片机构210、第二推片机构250、载物台移送组件310、传送带输送组件410、下端开口的反应仓510。还包括封闭外壳610，用于为上述部件提供清洁的环境，防止对引线框架造成污染。

料盒放置座110用于放置装有引线框架的料盒112，本实施例中料盒放置座110放置有四个料盒112，应当注意的是，料盒112的数量不因为本实施例的描述而受到限制。料盒为两相对端开口的盒体，装有若干层引线框架，两端的开口使引线框架能够方便地被推出或推入。料盒放置座110安装有第三升降装置(图中未显示)，用于控制所述料盒放置座110沿z轴升降，使料盒112中的各层引线框架能够被推出或推入。

参考图5、图6，载物台移送组件310用于接收从料盒放置座110离开的引线框架，载物台移送组件310包括可沿x轴和z轴方向移动的第一载物台320、可沿x轴和z轴方向移动的第二载物台330、闭合的同步传送带340以及同步驱动件350。第一载物台320或第二载物台330沿x轴移动至反应仓510下方时，沿z轴向上移动与反应仓510密封形成密封腔体，用于使引线框架在其中完成清洗过程。

当第一载物台320密封反应仓510的开口端时，第二载物台330位于第一推片机构210和第一载物台320之间，传动带输送单元410位于第一推片机构210和第二载物台330之间，用于将从料盒推出的引线框架传送至第二载物台330。第一载物台320和第二载物台330用于密封反应仓510的表面均设有密封圈339。

当第二载物台330密封反应仓510的开口端时，第一载物台320位于第一推片机构210和第二载物台330之间，传动带输送单元410位于第一推片机构210和第一载物台320之间，用于将从料盒推出的引线框架传送至第一载物台320。

第一载物台320和第二载物台330通过一条闭合的同步传送带340实现同步传送，具体地说，第一载物台320固定连接到同步传送带340的第一侧边带340a，第二载物台330固定连接到同步传送带340的第二侧边带340b。同步传送带340安装到第一传动轮342和第二传动轮344，同步驱动件350驱动第一传动轮342转动从而带动同步传送带340移动。同步传送带340内表面具有锯齿，以便更好地与设有锯齿的第一传动轮342和第二传动轮344配合。第一传动轮342和第二传动轮344支撑同步传送带340形成第一侧边带340a和第二侧边带340b。

载物台移送组件310还包括沿x轴方向延伸的一对第一导轨362、第一连接件364，第一连接件364包括垂直于第一载物台320的第一固定安装部365、从第一固定安装部365的第一侧边365a伸出的第一滑动安装部366，第一固定安装部365固定连接到同步传送带340的第一侧边带340a，第一滑动安装部366滑动连接到第一导轨362，第一载物台320通过第一连接件364安装到第一导轨362并可沿第一导轨362移动。第一连接件364固定安装到第一载物台320。

载物台移送组件310还包括与所述第一导轨362平行的第二导轨372、第二连接件374，第二连接件374包括固定连接到所述第二侧边带340b的第二固定安装部375、固定连接第二固定安装部375的第二滑动安装部(图中未显示)，第二固定安装部375固定连接到同步传送带的第二侧边带340b，第二滑动安装部滑动连接到第二导轨372，第二载物台330通过第二连接件374安装到第二导轨372并可沿第二导轨372移动。第二连接件374固定安装到第二载物台330。该成对的第二导轨372在成对的第一导轨362内侧，第一连接件364将第一载物台320支撑起一定高度使第二载物台330能够从第一载物台320下方穿过。为使第一载物台320能够沿z轴升降，第一载物台320安装有第一升降驱动件323，为使第二载物台330能够沿着z轴升降，第二载物台330安装有第二升降驱动件333。

第一载物台320和第二载物台330各设有若干用于放置引线框架的收容件382，每对收容件382包括两根平行的收容条383，两根收容条之间放置一个引线框架。两根收容条之间的相对距离可调节，两根收容条相对的内侧具有沿x轴延伸的收容槽384，用于收容引线框架的边缘。收容槽384与第一载物台320和/或第二载物台330之间有一定高度，使引线框架底部悬空以达到更好的清洗效果。

参考图7-12，第一推片机构210设于料盒放置座110的第一端，用于将料盒内的引线框架推出,第一推片机构210包括传送轨道220、第一推片组件230、推片传送组件270、控制组件(图中未显示)。其中第一推片组件230滑动连接到传送轨道220，推片传送组件270用于驱动第一推片组件230沿传送轨道220往复移动，控制组件用于在第一推片组件230受到阻力时输出报警信号，使第一推片组件230停止推动，防止损坏引线框架。

第一推片组件230包括第一推动件232、连接到第一推动件232的第一弹性组件239、连接到第一弹性组件239的传感器260，传感器260感知到第一弹性组件239受到阻力时控制组件输出报警信号使第一推片组件230停止推动。第一推动件232包括推动件安装部234和第一推动部236a，第一推动部236a位于第一推动件232的第一端，推动件安装部234位于第一推动件232的第二端，推动件安装部234具有相对第一推动部236a凸起的凸起部234a，第一推片组件230还包括第一挡板262和第二挡板264，用于限制第一推动件232的移动距离，第一挡板262安装到推动件安装部234和第一推动部236a的连接处，第一弹性组件239安装到第一推动件232和第二挡板264之间。第一推动件232通过滑块265安装到直线滑轨266，直线滑轨266安装到第一挡板262和第二挡板264之间，使第一推动件232沿直线做往复运动。第一推动部236a的自由端具有横向的凹槽237，用于收容引线框架的边缘使推动引线框架更稳定。

应当理解的是，传感器260可以为压力传感器也可以为光电传感器，压力传感器能够直接检测弹性组件的压力，光电传感器可以通过弹性组件经过的位移判断受到了压力。

推片传送组件270包括驱动电机272、连接到驱动电机272的输出轴274、连接到输出轴274的第一驱动轮276、与第一驱动轮276连接的第二驱动轮278、连接第一驱动轮276和第二驱动轮278的驱动传送带280，第一推片组件230直接或间接地连接到驱动传送带280，第一驱动轮276靠近传送轨道220的第一端，第二驱动轮278靠近传送轨道220的第二端。驱动电机272和输出轴274直接通过联轴器273连接。

本实施例中，第一推片机构210包括若干并排的第一推片组件230，若干第一推片组件230连接到一块第一连接板282，第一连接板282连接到滑动座288，通过滑动座288固定连接到驱动传送带280，第一连接板282通过滑动座288滑动连接到传送轨道220。

第二推片机构250能够在料盒放置座110与反应仓510之间沿x轴移动，用于引线框架在所述料盒放置座110、载物台移送组件310、反应仓510三者之间的相互移送。第二推片机构250具有与第一推片机构210相似的传送轨道(图中未显示)、推片传送组件(图中未显示)、控制组件(图中未显示)，第二推片组件230’连接到一块第一连接板282，第一连接板282再通过第二连接板286连接到第二推片机构250的传送轨道，第一连接板282与第二连接板286之间连接有气缸284，用于使第一连接板282带动推片组件230沿z轴升降。

参考图13，第二推片组件230’包括第二推动件232’、连接到第二推动件232’的第二弹性组件239’、连接到第二弹性组件239’的传感器260，传感器260感知到第二弹性组件239’受到阻力时控制组件输出报警信号使第二推片组件230’停止推动。第二推动件232’包括第二推动件安装部234’、第二推动部236a’和第三推动部236b’，第二推动部236a’位于第二推动件安装部234’的第一端，第三推动部236b’位于第二推动件安装部234’的第二端。第二推片组件230’还包括第三挡板262’和第四挡板264’，用于限制第二推动件232’的移动距离，第二弹性组件239’包括安装到第三挡板262’和第二推动件安装部234’之间的第一弹簧252’、安装到第二推动件安装部234’和第四挡板264’之间的第二弹簧254’，第二推动件232’通过滑块265’安装到直线滑轨266’，直线滑轨266’安装到第三挡板262’和第四挡板264’之间，使第二推动件232’沿直线做往复运动。第二推动部236a’、第三推动部236b’的自由端具有横向的凹槽237，用于收容引线框架的边缘使推动引线框架更稳定。

应当理解的是，传感器260’可以为压力传感器也可以为光电传感器，压力传感器能够直接检测弹性组件的压力，光电传感器可以通过弹性组件经过的位移判断受到了压力。

参考图14，传送带输送组件410设于料盒放置座110与第一载物台320之间，用于将引线框架从料盒放置座110传送至载物台移送组件。传送带输送组件410与引线框架之间为滚动摩擦，可以减少粉尘污染的产生。传送带输送组件410包括两组传送单元412，每组传送单元412包括与引线框架接触的主传送装置414、辅传送装置416，传送带输送组件410还包括同时驱动所有传送单元的第一驱动件418，第一驱动件418通过联动轴419连接到所有传送单元412的主传送装置414。主传送装置414包括与引线框架直接接触的第一传动带420以及驱动第一传动带420的第一传动轮组422，第一传动轮组422连接到联动轴419。

但并不能因此而理解为对本发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，如对各个实施例中的不同特征进行组合等，这些都属于本发明的保护范围。