一种半导体晶圆电镀用导电片及接电点密封结构的制作方法

文档序号:12065947阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种半导体晶圆电镀用导电片,其特征在于,包括导电层(6e)、内侧覆盖膜(6b)及外侧覆盖膜(6f),所述导电层(6e)为导电材料,所述内侧覆盖膜(6b)、外侧覆盖膜(6f)为绝缘材料并且分别设置在导电层(6e)的内、外侧,所述导电层(6e)上设有接电点(6a)并且接电点(6a)穿过外侧覆盖膜(6f)伸至外侧覆盖膜(6f)的外侧,接电点(6a)的高度大于外侧覆盖膜(6f)的厚度,所述半导体晶圆电镀用导电片(6)上还设置有外部导电连接点(6c)。

2.根据权利要求1所述半导体晶圆电镀用导电片,其特征在于,包括圆环形主体(6j)和与圆环形主体(6j)连为一体的连接条(6k),所述接电点(6a)均布在圆环形主体(6j)上,所述外部导电连接点(6c)设置在连接条(6k)上。

3.根据权利要求2所述半导体晶圆电镀用导电片,其特征在于,所述外部导电连接点(6c)上连接有导线(6d)。

4.根据权利要求1所述半导体晶圆电镀用导电片,其特征在于,所述接电点(6a)的材料为不被镀液腐蚀的金属。

5.根据权利要求1所述半导体晶圆电镀用导电片,其特征在于,半导体晶圆电镀用导电片夹在半导体晶圆电镀夹具的夹具后板(1)与夹具前板(7)之间,其内侧与设置在夹具前板(7)上的缓冲垫(8)紧贴,其外侧的接电点(6a)与待电镀的半导体晶圆(4)紧贴。

6.根据权利要求5所述半导体晶圆电镀用导电片,其特征在于,半导体晶圆电镀用导电片(6)与半导体晶圆(4)之间设有接电点密封结构,接电点密封结构包括半导体晶圆(4)、半导体晶圆电镀用导电片(6)及两者之间的外部接触点(6g)、内部接触点(6h)。

7.根据权利要求6所述半导体晶圆电镀用导电片,其特征在于,所述半导体晶圆(4)包括有半导体晶圆基底(4a)和设在半导体晶圆基底(4a)上的半导体晶圆内部光刻胶(4b),并且半导体晶圆内部光刻胶(4b)设置在接电点(6a)的内切圆之内;所述半导体晶圆电镀用导电片(6)的接电点(6a)与半导体晶圆基底(4a)紧贴,所述外部接触点(6g)由半导体晶圆电镀用导电片(6)与半导体晶圆基底(4a)的边缘相接触而形成;所述内部接触点(6h)由半导体晶圆电镀用导电片(6)与半导体晶圆内部光刻胶(4b)相接触而形成。

8.根据权利要求6所述半导体晶圆电镀用导电片,其特征在于,所述半导体晶圆(4)包括半导体晶圆基底(4a)和设在半导体晶圆基底(4a)上的半导体晶圆内部光刻胶(4b)、半导体晶圆边缘光刻胶(4c),所述半导体晶圆内部光刻胶(4b)设置在接电点(6a)的内切圆之内,所述半导体晶圆边缘光刻胶(4c)设置在接电点(6a)的外切圆之外,所述半导体晶圆电镀用导电片(6)的接电点(6a)与半导体晶圆基底(4a)紧贴;所述外部接触点(6g)由半导体晶圆电镀用导电片(6)与半导体晶圆边缘光刻胶(4c)相接触而形成,所述内部接触点(6h)由半导体晶圆电镀用导电片(6)与半导体晶圆内部光刻胶(4b)相接触而成。

9.一种接电点密封结构,其特征在于,包括半导体晶圆(4)、半导体晶圆电镀用导电片(6)及两者之间的外部接触点(6g)、内部接触点(6h);

所述半导体晶圆(4)包括有半导体晶圆基底(4a)和设在半导体晶圆基底(4a)上的半导体晶圆内部光刻胶(4b),并且半导体晶圆内部光刻胶(4b)设置在接电点(6a)的内切圆之内;

所述半导体晶圆电镀用导电片(6)包括导电层(6e)、内侧覆盖膜(6b)及外侧覆盖膜(6f),所述导电层(6e)为导电材料,所述内侧覆盖膜(6b)、外侧覆盖膜(6f)为绝缘材料并且分别设置在导电层(6e)的内、外侧,所述导电层(6e)上设有接电点(6a)并且接电点(6a)穿过外侧覆盖膜(6f)伸至外侧覆盖膜(6f)的外侧,接电点(6a)的高度大于外侧覆盖膜(6f)的厚度,接电点(6a)与半导体晶圆基底(4a)紧贴;

所述外部接触点(6g)由半导体晶圆电镀用导电片(6)与半导体晶圆基底(4a)的边缘相接触而形成;

所述内部接触点(6h)由半导体晶圆电镀用导电片(6)与半导体晶圆内部光刻胶(4b)相接触而形成。

10.一种接电点密封结构,其特征在于,包括半导体晶圆(4)、半导体晶圆电镀用导电片(6)及两者之间的外部接触点(6g)、内部接触点(6h);

所述半导体晶圆(4)包括半导体晶圆基底(4a)和设在半导体晶圆基底(4a)上的半导体晶圆内部光刻胶(4b)、半导体晶圆边缘光刻胶(4c),所述半导体晶圆内部光刻胶(4b)设置在接电点(6a)的内切圆之内,所述半导体晶圆边缘光刻胶(4c)设置在接电点(6a)的外切圆之外;

所述半导体晶圆电镀用导电片(6)包括导电层(6e)、内侧覆盖膜(6b)及外侧覆盖膜(6f),所述导电层(6e)为导电材料,所述内侧覆盖膜(6b)、外侧覆盖膜(6f)为绝缘材料并且分别设置在导电层(6e)的内、外侧,所述导电层(6e)上设有接电点(6a)并且接电点(6a)穿过外侧覆盖膜(6f)伸至外侧覆盖膜(6f)的外侧,接电点(6a)的高度大于外侧覆盖膜(6f)的厚度,接电点(6a)与半导体晶圆基底(4a)紧贴;

所述外部接触点(6g)由半导体晶圆电镀用导电片(6)与半导体晶圆边缘光刻胶(4c)相接触而形成;

所述内部接触点(6h)由半导体晶圆电镀用导电片(6)与半导体晶圆内部光刻胶(4b)相接触而成。

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