一种产生辉光放电条纹的装置及方法与流程

文档序号:12129221阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种产生辉光放电条纹的装置,包括直流电源(1)、阳极(3)、阴极(4)和工作台,其特征在于:还包括辉光放电腔(2),所述辉光放电腔(2)的一侧壁设置有氩气进气口(8),所述辉光放电腔(2)的另一侧壁设置有抽真空口(9)和真空度测试仪(7),所述辉光放电腔(2)通过抽真空口(9)与真空抽气装置(12)连接,所述辉光放电腔(2)通过氩气进气口(8)与氩气存储装置(6)连接;

所述阳极(3)和阴极(4)的一端穿过辉光放电腔(2)的两侧壁设置在辉光放电腔(2)中,且阳极(3)和阴极(4)一端的端头分别设置有相互平行的板状电极(5);所述阳极(3)的另一端与直流电源(1)的正极相连,所述阴极(4)的另一端与直流电源(1)的负极和绝缘棒(10)连接,绝缘棒(10)与千分尺(11)连接,所述千分尺(11)装在工作台上。

2.根据权利要求1所述的一种产生辉光放电条纹的装置,其特征在于:所述板状电极(5)的距离能够调节,调节距离为2~5cm。

3.根据权利要求1所述的一种产生辉光放电条纹的装置,其特征在于:所述真空抽气装置(12)为旋片真空泵。

4.一种用权利要求1所述的产生辉光放电条纹的装置产生辉光放电条纹的方法,其特征在于:包括以下步骤:

1)安装连接各仪器设备,并检查其密封性和绝缘性;

2)真空抽气装置(12)通过抽真空口(9)向外抽取空气,同时观察真空度测试仪(7),直至辉光放电腔(2)内的气压维持在8±0.1kpa,停止抽气;

3)通过氩气进气口(8)向辉光放电腔(2)内充入浓度为99.999%的氩气,同时观察真空度测试仪(7),使得辉光放电腔(2)内的气压维持在9±0.1kpa,停止进气;

4)开启直流电源(1),然后逐渐增加电压,使得气体发生击穿并在板状电极(5)之间形成辉光放电等离子体;

5)调节电压至900V~1200V,同时调节千分尺(11),使千分尺(11)上的活动杆带动阴极(4)水平移动,调节两板状电极(5)的距离,直至板状电极(5)之间产生稳定的辉光放电条纹。

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