一种可调节LED发光角度的图形蓝宝石衬底的制作方法

文档序号:13221712阅读:144来源:国知局
技术领域本实用新型涉及一种蓝宝石衬底,具体为一种可调节LED发光角度的图形蓝宝石衬底,属于LED照明领域。

背景技术:
LED灯的制作需要用到衬底材料,通常会有蓝宝石、Si及SiC三种,蓝宝石衬底因其生产技术成熟、器件质量较好,稳定性好,能够运用在高温生长过程中,机械强度高,易于处理和清洗,所以常被选用衬底材料,但是使用蓝宝石作为衬底也存在一些问题,例如晶格失配和热应力失配,进而导致发光效率低。为解决上述问题,因此我们提出一种可调节LED发光角度的图形蓝宝石衬底。

技术实现要素:
本实用新型要解决的技术问题是克服现有技术的缺陷,提供一种可调节LED发光角度的图形蓝宝石衬底。为了解决上述技术问题,本实用新型提供了如下的技术方案:本实用新型一种可调节LED发光角度的图形蓝宝石衬底,包括蓝宝石衬底,所述蓝宝石衬底上设有掩蔽层,所述掩蔽层上设有光刻胶,所述蓝宝石衬底经过刻蚀后上表面均布有纹案。进一步的,所述掩蔽层采用SiO2材质。进一步的,所述掩蔽层与光刻胶接触面涂有一层增粘剂。本实用新型所达到的有益效果是:通过对蓝宝石衬底进行刻蚀,形成阵列纹案,纹案的不规则形状面对光进行不断反射,增加光效率和发光角度,从而提高LED等的亮度。附图说明附图用来提供对本实用新型的进一步理解,并且构成说明书的一部分,与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型,并不构成对本实用新型的限制。在附图中:图1是在蓝宝石衬底上淀积掩蔽层;图2是掩蔽层上涂光刻胶并光刻掩蔽层图案;图3是刻蚀掩蔽层;图4是去除光刻胶;图5是刻蚀蓝宝石衬底;图6是本实用新型的纹案结构俯视图;图中:1、蓝宝石衬底;2、掩蔽层;3、光刻胶;11、纹案。具体实施方式以下结合附图对本实用新型的优选实施例进行说明,应当理解,此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本实用新型,并不用于限定本实用新型。实施例1如图1-6所示,一种可调节LED发光角度的图形蓝宝石衬底,包括蓝宝石衬底1,所述蓝宝石衬底1上设有掩蔽层2,所述掩蔽层2上设有光刻胶3,所述蓝宝石衬底1经过刻蚀后上表面均布有纹案11。所述掩蔽层2采用SiO2材质,其特征在于,所述掩蔽层2与光刻胶3接触面涂有一层增粘剂。需要说明的是,本实用新型一种可调节LED发光角度的图形蓝宝石衬底制作方法为:通过在蓝宝石衬底1上表面淀积一定厚度的掩蔽层2,在掩蔽层上通过增粘剂粘接一层光刻胶3,在光刻胶3上光刻掩蔽层2图案,然后在RIE(反应离子刻蚀)中刻蚀掩蔽层2,刻蚀后利用丙酮溶剂除去光刻胶3,然后将蓝宝石衬底1放置在高温强酸中一定时间取出,通过HF去除掩蔽层2,得到纹案。最后应说明的是:以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已,并不用于限制本实用新型,尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明,对于本领域的技术人员来说,其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。
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