一种晶圆真空吸取器的制作方法

本实用新型涉及一种真空吸取器件，尤其是一种晶圆真空吸取器。

背景技术：

在集成电路生产工艺中，晶圆在进行切割及封装之前，一般都需要使用探针台对晶圆的质量进行测试。为了将晶圆固定至探针台的测试腔内，需要在探针台的测试腔内安装一个用于吸取晶圆的晶圆真空吸取器。

如图1示出了现有技术中的晶圆真空吸取器，其包括一体成形的安装部1及吸取部，所述安装部1上设有多个安装孔，通过所述安装孔可以将真空吸取器安装至探针台的测试腔内；所述吸取部包括对称设置的第一吸取片2及第二吸取片3，所述第一吸取片2的自由端与所述第二吸取片3的自由端的对应位置上各自开设有一个真空孔4。测试过程中，晶圆被吸附固定在所述吸取部上，位于所述吸取部上方的探针台探针触碰晶圆并对晶圆进行测试。

现有的晶圆真空吸取器存在如下缺陷：(1)第一吸收片与第二吸收片之间的距离固定不变，因此该真空吸取器只能吸取一种尺寸的晶圆，如果晶圆的尺寸过大，则晶圆容易因为受力不均出现翘起，测试过程中容易出现破损，而如果晶圆的尺寸过小，则晶圆的两端无法同时有效覆盖两个真空孔。(2)第一吸收片和第二吸收片上都只开设有一个真空孔，导致真空吸取器的吸附能力较弱，测试过程中，晶圆容易翘起甚至滑落。

技术实现要素：

为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种晶圆真空吸取器，其技术方案如下：

一种晶圆真空吸取器，其包括安装部及与所述安装部连接的吸取部，所述安装部上设有若干个安装孔，所述吸取部包括对称设置的第一吸取片及第二吸取片，所述第一吸取片的固定端与所述第二吸取片的固定端之间保留有较小的第一吸取距离，所述第一吸取片的固定端与所述第二吸取片的固定端的相应位置上分别开设有若干个真空孔；所述第一吸取片的自由端与所述第二吸取片的自由端之间保留有较大的第二吸取距离，所述第一吸取片的自由端与所述第二吸取片的自由端的相应位置上分别开设有若干个真空孔。

其技术效果在于：其能够实现至少两种尺寸的晶圆的真空吸取，当需要吸取较大尺寸的晶圆进行探针台测试时，将晶圆放至第一吸取片及第二吸取片的自由端进行真空吸取；当需要吸取较小尺寸的晶圆进行探针台测试时，将晶圆放至第一吸取片及第二吸取片的固定端进行真空吸取。

进一步的，所述第一吸取片的固定端与所述第二吸取片的固定端的相应位置上分别开设有两个真空孔；所述第一吸取片的自由端与所述第二吸取片的自由端的相应位置上分别开设有两个真空孔。

其技术效果在于：提高可真空吸取器的吸附力，使得晶圆更加牢固地被吸附在真空吸取器上。

进一步的，所述安装部、所述第一吸取片及所述第二吸取片分体成形，所述安装部的端面上设有滑槽，所述第一吸取片及所述第二吸取片的固定端的端部分别嵌入所述滑槽以实现与所述安装部的活动连接，所述第一吸取片及所述第二吸取片能够顺着所述滑槽左右滑动，以调节所述第一吸取距离及所述第二吸取距离的大小。

其技术效果在于：第一吸取距离及所述第二吸取距离的大小可以进行调节，以适应更多不同尺寸的晶圆的真空吸取。

进一步的，所述安装部、所述第一吸取片及所述第二吸取片一体成形。

其技术效果在于：易于加工，具有更好的稳定性及更长的使用寿命。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要实用的附图作简单地介绍、显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。其中，

图1为现有技术中的晶圆真空吸取器的结构示意图；

图2为本实用新型的晶圆真空吸取器的结构示意图。

具体实施方式

为使本实用新型的上述目的、特征和优点、能够更加明显易懂，下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。

如图2所示，在一个具体实施例中，本实用新型的晶圆真空吸取器包括安装部21及吸取部，所述安装部21上设有若干个安装孔。通过所述安装孔将本实用新型安装至探针台。

所述吸取部包括对称设置的第一吸取片22及第二吸取片23，所述第一吸取片22的固定端(靠近所述安装部21的一端)与所述第二吸取片23的固定端(靠近所述安装部21的一端)之间保留有较小的第一吸取距离b，所述第一吸取片22的固定端与所述第二吸取片23的固定端的相应位置上分别开设有两个真空孔24；所述第一吸取片22的自由端(远离所述安装部21的一端)与所述第二吸取片23的自由端(远离所述安装部21的一端)之间保留有较大的第二吸取距离a，所述第一吸取片22的自由端与所述第二吸取片23的自由端的相应位置上分别开设有两个真空孔24。

本实施例中，所述安装部21、所述第一吸取片22及所述第二吸取片23分体成形。所述安装部21的端面上开设有滑槽(未图示)，所述第一吸取片22及所述第二吸取片23的固定端的端部分别嵌入所述滑槽以实现与所述安装部21的活动连接，所述第一吸取片22及所述第二吸取片23能够顺着所述滑槽左右滑动，以调节所述第一吸取距离b及所述第二吸取距离a的大小，以适应更多不同尺寸的晶圆的真空吸取需求。

在另外一些实施例中，所述安装部21、所述第一吸取片22及所述第二吸取片23一体成形，也就是说，所述第一吸取距离b及所述第二吸取距离a的大小是固定的，这些实施例中的本实用新型只能满足两种尺寸的晶圆的真空吸取需求，但是这些实施例中的本实用新型加工更加容易，其稳定性更好、使用寿命更长。

在实际的探针测试过程中，当需要吸取较大尺寸的晶圆进行探针台测试时，将较大尺寸的晶圆放至第一吸取片22及第二吸取片23的自由端进行真空吸取；当需要吸取较小尺寸的晶圆进行探针台测试时，将较小尺寸的晶圆放至第一吸取片22及第二吸取片23的固定端进行真空吸取。

可见，本实用新型可以完成至少两种尺寸的晶圆的真空吸取，其适用场合得到有效拓展。

上文对本实用新型进行了足够详细的具有一定特殊性的描述。所属领域内的普通技术人员应该理解，实施例中的描述仅仅是示例性的，在不偏离本实用新型的真实精神和范围的前提下做出所有改变都应该属于本实用新型的保护范围。本实用新型所要求保护的范围是由所述的权利要求书进行限定的，而不是由实施例中的上述描述来限定的。