1.一种晶圆真空吸取器,其特征在于:其包括安装部及与所述安装部连接的吸取部,所述安装部上设有若干个安装孔,所述吸取部包括对称设置的第一吸取片及第二吸取片,其特征在于:
所述第一吸取片的固定端与所述第二吸取片的固定端之间保留有较小的第一吸取距离,所述第一吸取片的固定端与所述第二吸取片的固定端的相应位置上分别开设有若干个真空孔;
所述第一吸取片的自由端与所述第二吸取片的自由端之间保留有较大的第二吸取距离,所述第一吸取片的自由端与所述第二吸取片的自由端的相应位置上分别开设有若干个真空孔。
2.如权利要求1所述的晶圆真空吸取器,其特征在于:
所述第一吸取片的固定端与所述第二吸取片的固定端的相应位置上分别开设有两个真空孔;
所述第一吸取片的自由端与所述第二吸取片的自由端的相应位置上分别开设有两个真空孔。
3.如权利要求1或2所述的晶圆真空吸取器,其特征在于:所述安装部、所述第一吸取片及所述第二吸取片分体成形,所述安装部的端面上设有滑槽,所述第一吸取片及所述第二吸取片的固定端的端部分别嵌入所述滑槽以实现与所述安装部的活动连接,所述第一吸取片及所述第二吸取片能够顺着所述滑槽左右滑动,以调节所述第一吸取距离及所述第二吸取距离的大小。
4.如权利要求1或2所述的晶圆真空吸取器,其特征在于:所述安装部、所述第一吸取片及所述第二吸取片一体成形。