晶圆固定装置及晶圆盒的制作方法

本发明涉及半导体制造技术领域，特别涉及一种晶圆固定装置及具有所述晶圆固定装置的晶圆盒。

背景技术：

在集成电路生产制造过程中，为了确保晶圆的安全储存、搬运，避免破损和污染，广泛运用晶圆盒作为晶圆的承载及运输工具。

通常，晶圆通过一晶舟存放于晶圆盒内，所述晶舟的内部设置有多个用于承载晶圆的槽位，通过所述槽位可将每一片晶圆单独隔开摆放，避免产生晶圆与晶圆之间的摩擦，造成晶圆表面的磨损，同时减小晶圆在晶圆盒内的晃动，最大程度上保证储存及运输的过程中晶圆是完好无损的。

然而，晶舟的内部虽然设置有槽位，但是晶舟的底部为镂空结构。当晶圆通过晶舟放置于晶圆盒内时，晶舟内的槽位可于晶圆的两侧支撑及固定晶圆，但是晶圆的底部却无任何支撑。在晶圆的运输过程中，由于所采用的晶圆盒对晶圆的固定不佳，很容易发生晶圆晃动，尤其是当发生有撞击或野蛮操作时，常常出现晶圆脱离原来的槽位，甚至发生破片的现象。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种晶圆固定装置，采用所述晶圆固定装置可协助更好的固定住晶圆，防止晶圆发生剧烈晃动。

本实用新型的另一目的在于提供一种具有所述晶圆固定装置的晶圆盒，以解决现有的晶圆盒对晶圆固定不佳，从而导致于晶圆的存放及运输过程中，晶圆盒内的晶圆脱离原来的槽位，甚至发生破片的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种晶圆固定装置，包括框体及设置于所述框体内的多个间隔排列的支撑部，相邻的两个支撑部形成用于固定一晶圆的卡槽。

可选的，在所述的晶圆固定装置中，所述框体包括第一挡板、第二挡板以及连接所述第一挡板和第二挡板的连接部，所述第一挡板和第二挡板与所述连接部限定一容置空间，所述支撑部固定于所述容置空间内。

可选的，在所述的晶圆固定装置中，所述第一挡板包括第一平板部、由所述第一平板部的三边向外延伸形成的第一延伸部以及两个连接所述第一延伸部的支撑条。

可选的，在所述的晶圆固定装置中，所述第二挡板包括第二平板部以及由所述第二平板部向外弯折形成的第二延伸部。

可选的，在所述的晶圆固定装置中，所述连接部为两根平行设置的支撑杆，所述第一挡板和第二挡板连接于所述两根支撑杆的两端。

可选的，在所述的晶圆固定装置中，所述连接部为一平板，所述第一挡板和第二挡板连接于所述平板的两端。

可选的，在所述的晶圆固定装置中，所述支撑部平行设置于所述连接部上并与所述连接部连接。

可选的，在所述的晶圆固定装置中，所述支撑部的形状为梯形框架、三角形框架、椭圆形框架或矩形框架。

可选的，在所述的晶圆固定装置中，所述支撑部的形状为梯形平板、三角形平板、椭圆形平板或矩形平板。

可选的，在所述的晶圆固定装置中，所述框体上还设置有固定卡口。

此外，本实用新型还提供了一种晶圆盒，包括一盒体，还包括如上所述的晶圆固定装置，所述晶圆固定装置放置于所述盒体内。

可选的，在所述的晶圆盒中，所述盒体内部设置有一条状凸起，所述晶圆固定装置通过所述条状凸起固定于所述盒体内。

与现有技术相比，本实用新型提供的晶圆固定装置，包括框体及设置于所述框体内的多个间隔排列的支撑部，相邻的两个支撑部形成用于固定晶圆的卡槽，因此应用所述晶圆固定装置可协助固定晶圆，防止晶圆产生剧烈晃动。同时，所述晶圆固定装置也可应用于晶圆盒内，增加晶圆盒对晶圆的固定强度。将晶圆固定装置放置于晶圆盒底部，当使用所述晶圆盒存放晶圆时，所述晶圆固定装置中的卡槽可有效的固定住晶圆的底部，从而在晶圆的运输过程中，甚至发生撞击时，也可避免晶圆脱离原来的槽位，进而使晶圆的表面造成磨损，甚至破片的现象。

附图说明

图1为本实用新型一实施例的晶圆固定装置的结构示意图；

图2为本实用新型一实施例的晶圆固定装置的框体的结构示意图；

图3为本实用新型一实施例的晶圆固定装置的支撑部的结构示意图；

图4为本实用新型一实施例的晶圆盒的结构示意图；

图5为本实用新型一实施例的晶圆盒中晶圆固定装置的尺寸标示图；

图6为本实用新型一实施例的晶圆固定装置固定晶圆的结构示意图；

图中，

100‐晶圆固定装置；110‐框体；112‐第一挡板；113‐第二挡板；111‐连接部；112a‐第一平板；112b‐第一延伸部；112c、112d‐支撑条；113a‐第二平板部；113b‐第二延伸部；120‐支撑部；114‐固定卡口；

210‐盒体；211‐条状凸起；

300‐晶舟；310‐槽位；

400‐晶圆。

具体实施方式

以下结合附图和具体实施例对本实用新型提出的晶圆盒作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。

实施例一

图1为本实用新型实施例的晶圆固定装置的结构示意图，图2为本实用新型实施例的晶圆固定装置的支撑部的结构示意图，如图1及图2所示，所述晶圆固定装置100包括框体110及设置于所述框体110内的多个间隔排列的支撑部120，相邻的两个所述支撑部120形成用于固定晶圆的卡槽。由于晶圆固定装置100具有用于固定晶圆的卡槽，因此可协助固定晶圆，防止晶圆产生剧烈晃动。

重点参考图2，所述框体110包括第一挡板112、第二挡板113以及连接所述第一挡板112和第二挡板113的连接部111，所述第一挡板112和第二挡板113与所述连接部111限定一容置空间，所述支撑部120固定于所述容置空间内。当将所述晶圆固定装置100放置于晶圆盒中时，所述第一挡板112和第二挡板113可用于固定所述晶圆固定装置100，确保晶圆固定装置100于晶圆盒或其他存放晶圆的结构中不发生晃动。

本实施例中，所述第一挡板112包括第一平板部112a、由所述第一平板部112a的三边向外延伸形成的第一延伸部112b以及两个连接所述第一延伸部112b的支撑条112c、112d。所述第二挡板113包括第二平板部113a以及由所述第二平板部113a向外弯折一定角度形成的第二延伸部113b。在其他实施例中，所述第一挡板112和第二挡板113也可以是其它形状，例如一平板状结构，只要与晶圆盒的形状匹配。

继续参考图2所示，本实施例中，所述连接部111为两个平行的支撑杆，所述第一挡板112和第二挡板113连接于所述两根支撑杆的两端，所述支撑杆用于固定支撑部120。此外，在其他实施例中，所述连接部111也可以为一平板，所述第一挡板112和第二挡板113连接于所述平板的两端。

接着参考图3所示，所述支撑部120平行设置于所述连接部111上并与所述连接部111连接。本实施例中，所述支撑部120为梯形框架。然而本领域技术人员应当认识到，所述支撑部120的形状也可以为其他框架形状，比如三角形框架，椭圆形框架，矩形框架。并且，所述支撑部120的形状也可以为平板状结构，比如梯形平板、三角形平板、椭圆形平板、矩形平板等。

为能够更好的将所述晶圆固定装置100固定于晶圆盒或其他存放晶圆的结构中，优选的，于所述框体110上还设置有固定卡口114，可通过所述固定卡口114将晶圆固定装置100固定于一晶圆盒中，保证晶圆固定装置100的稳固。其中，所述固定卡口114的形状及位置，可根据应用所述晶圆固定装置100的实际物件的结构进行设置。例如，所述固定卡口114设置于所述第一挡板112上。

其中，晶圆固定装置的材料可以与晶圆盒的盒体的材料相同，例如为聚乙烯或聚丙烯。

实施例二

图4为本实用新型实施例的晶圆盒的结构示意图。如图4所示，其包括盒盖及盒体210，并且还包括放置于所述盒体210底部的晶圆固定装置100，所述晶圆固定装置100包括框体110及设置于所述框体110内的多个间隔排列的支撑部120，相邻的两个所述支撑部120形成用于固定晶圆的卡槽。另外，于所述晶圆盒的盒体210上，具有一条状凸起211。对应的，所述固定卡口114可设置于所述第一挡板112上，并且其位置与所述条状凸起211相对应。通过所述固定卡口114与所述条状凸起211相互咬合，可避免所述晶圆固定装置100于盒体210内左右晃动。

利用本实用新型提供的底部具有晶圆固定装置100的晶圆盒来存储及运输晶圆时，由于所述晶圆固定装置100设置有多个卡槽，所述卡槽可有效的固定住晶圆的底部，可增加晶圆盒对晶圆的固定强度，从而于晶圆的运输过程中，可有效防止晶圆发生剧烈晃动，使晶圆产生脱离原来的槽位的现象。并且，本实用新型提供的具有晶圆固定装置的晶圆盒，其中所述晶圆固定装置于晶圆盒内可自由拆卸，从而可充分利用闲置的晶圆盒中的晶圆固定装置，避免造成资源浪费。

所述晶圆固定装置可运用于不同尺寸的晶圆盒中。以8英寸晶圆盒为例，参照图1及图5所示，所述晶圆固定装置100的框体110的长度L优选为180.1～182.1mm，所述晶圆固定装置100的框体110的宽度W优选为111.8～113.8mm，所述晶圆固定装置100中支撑部120的高度H优选为109.3～111.3mm，所述晶圆固定装置300中卡槽区域的长度P为151.4～153.4mm。

图6为晶圆固定装置固定晶圆的结构示意图。以下结合图1至图6所示，对本实用新型提供的晶圆固定装置及具有所述晶圆固定装置的晶圆盒进一步说明。

首先，将晶圆固定装置放置于晶圆盒中。参考图4及图6所示，通过固定卡扣114将晶圆固定装置100固定于晶圆盒中。其中，所述晶舟300上具有多个沿X轴方向排布的槽位310，所述槽位310用于隔离及承载晶圆400。并且，如图6所示，所述晶舟300是通过固定晶圆400的两个边缘位置，以此来承载及固定晶圆400的。

接着，将承载有晶圆的晶舟放置于晶圆盒中。具体参考图6所示，将承载有晶圆300的晶舟400，准确的插入到晶圆固定装置100的卡槽中。具体的，所述晶圆固定装置100中卡槽的位置与所述晶舟300中槽位310的位置相互对应。进一步的，所述卡槽的槽宽度与所述晶舟300的槽位310的槽宽度一致。如此，当将承载有晶圆的晶舟放置于具有晶圆固定装置的晶圆盒中时，所述晶圆可平滑并且准确的放入到各个卡槽中。

如图6所示，所述晶舟300于晶圆400的两侧承载晶圆400，并且于Y轴方向固定晶圆400，同时，X轴方向上分布的多个槽位310可用于隔离晶圆400。但是由于每个槽位310的深度较浅，从而，在晶圆的运输过程中，容易发生晶圆400脱离原来槽位310的问题。因此，本实施例中，使用所述晶圆固定装置100进一步的于X轴方向固定晶圆400，从而可防止晶圆脱离原有槽位的问题，进一步防止刮伤晶圆表面。

综上所述，本实用新型提供了一种可协助固定晶圆的晶圆固定装置，应用所述晶圆固定装置可防止晶圆发生强烈晃动，保证晶圆的安全。将所述晶圆固定装置应用于晶圆盒内，可加强晶圆盒对晶圆的固定强度，从而于晶圆的运输过程中，甚至发生撞击时，也可避免晶圆盒内的晶圆脱离原来的槽位，甚至发生破片的现象。

上述描述仅是对本实用新型较佳实施例的描述，并非对本实用新型范围的任何限定，本实用新型领域的普通技术人员根据上述揭示内容做的任何变更、修饰，均属于权利要求书的保护范围。