一种晶圆烘烤晶周盒的制作方法

本实用新型涉及一种储存晶圆的储存装置，尤其是一种晶圆烘烤晶周盒。

背景技术：

晶圆烘烤晶周盒由铝材料制成，是晶圆烘烤工艺中的常用储存装置。图1示出了现有技术中的晶圆烘烤晶周盒，其包括相对设置的第一侧壁1、第二侧壁2及连接所述第一侧壁1及第二侧壁2的第三侧壁3，所述第一侧壁1与所述第二侧壁2的内壁上竖直设有多条用于插放晶圆的插槽，所述第一侧壁1及所述第二侧壁2的内壁下端分别设置有支撑晶圆下端的晶圆挡杆4。所述第三侧壁3的上端设有把手5。

现有技术中的晶圆烘烤晶周盒存在如下缺陷：(1)、第一侧壁1及第二侧壁2固定连接在所述第三侧壁3的两端，第一侧壁1与第二侧壁2之间的距离是固定的，所以只能满足单一尺寸的晶圆的储存需求；(2)、第一侧壁1及第二侧壁2下端的晶圆挡杆4为直线结构，晶圆烘烤晶周盒装满晶圆后，各个晶圆的上端齐平，从晶圆烘烤晶周盒上取下晶圆时容易触碰到相邻位置的晶圆，造成晶圆的划伤；(3)、只在第三侧壁3上设有一个把手5，移动晶圆烘烤晶周盒，晶周盒容易倾斜，有导致晶圆滑落的隐患。

技术实现要素：

为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种晶圆烘烤晶周盒，其技术方案如下：

一种晶圆烘烤晶周盒，其包括相对设置的第一侧壁、第二侧壁，所述第一侧壁与所述第二侧壁通过可拆卸的第三侧壁连接，所述第一侧壁与所述第二侧壁的内壁上竖直设有多条用于插放晶圆的插槽，所述第一侧壁及所述第二侧壁的内壁下端分别设有支撑晶圆下端的晶圆挡杆，其特征在于：所述第三侧壁的四角上分别设有用于连接所述第一侧壁及所述第二侧壁的第一安装孔及第二安装孔，水平方向的两个所述第一安装孔之间形成较大的第一安装距，水平方向的两个所述第二安装孔之间形成较小的第二安装距。

其技术效果在于：三个侧壁为可拆卸连接关系，起连接作用的第三侧壁上设有第一安装孔和第二安装孔，通过四个第一安装孔连接第一侧壁和第二侧壁后，第一侧壁和第二侧壁之间的安装距离较大，此时晶周盒可以储存尺寸较大的晶圆；而通过四个第二安装孔连接第一侧壁和第二侧壁后，第一侧壁和第二侧壁之间的安装距离较小，此时晶圆周盒可以储存尺寸较小的晶圆。可见，本实用新型能够实现两种尺寸的晶圆的储存，拓展了晶圆周盒的适用场合。

进一步的，所述晶圆挡杆为向上凸起的弧形结构。

其技术效果在于：晶圆烘烤晶周盒装满晶圆后，晶圆的上端呈现中间高两端低的弧状形态，相邻位置上的两个晶圆的上端在竖直方向上相互错开，从晶圆烘烤晶周盒上取下晶圆时不会触碰到相邻位置的晶圆，防止了晶圆在取下过程中被刮伤。

进一步的，所述第一侧壁的上端设有第一把手，所述第二侧壁的上端设有第二把手。

其技术效果在于：使得晶圆烘烤晶周盒在移动中保持平稳，防止晶圆从晶圆烘烤晶周盒中滑落。

进一步的，其还包括有连接所述第一侧壁的自由端和所述第二侧壁的自由端的连接杆。

其技术效果在于：使得所述第一侧壁及所述第二侧壁之间的连接更加稳定。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要实用的附图作简单地介绍、显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。其中，

图1为现有技术中的晶圆烘烤晶周盒的结构示意图；

图2为本实用新型的晶圆烘烤晶周盒的结构示意图；

图3为图2中的第三侧板的结构示意图。

具体实施方式

为使本实用新型的上述目的、特征和优点、能够更加明显易懂，下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。

如图2及图3所示，本实用新型包括相对设置的第一侧壁21、第二侧壁22及连接所述第一侧壁21和所述第二侧壁22的第三侧壁23，所述第三侧壁23的四个角上分别设有用于连接所述第一侧壁21及所述第二侧壁22的第一安装孔23a及第二安装孔23b，水平方向的两个所述第一安装孔23a之间形成较大的第一安装距a，水平方向的两个所述第二安装孔23b之间形成较小的第二安装距b。所述第一侧壁21与所述第二侧壁22的内壁上竖直设有多条用于插放晶圆的插槽。

本实用新型不对所述第一安装距a及所述第二安装距b的具体尺寸作限定，在具体应用中可以进行灵活设置。

例如，在一个具体实施例中，所述第一安装距a设为约26.7cm(适合于8寸晶圆的储存)，所述第二安装距b设为约20cm(适合于6寸晶圆的储存)。当需要对8寸的晶圆进行烘烤时，只需要通过四个第一安装孔23a将所述第一侧壁21和所述第二侧壁22安装至所述第三侧壁23的两端即可，此时所述第一侧壁21与所述第二侧壁22之间的安装距约为26.7cm，8寸晶圆能顺利地插入晶圆烘烤晶周盒的晶圆插槽中。当需要对6寸的晶圆进行烘烤时，只需要通过四个第二安装孔23b将所述第一侧壁21和所述第二侧壁22安装至所述第三侧壁23的两端即可，此时所述第一侧壁21与所述第二侧壁22之间的安装距约为20cm，6寸晶圆能顺利地插入晶圆烘烤晶周盒的晶圆插槽中。

可见，本实用新型能够实现两种不同尺寸的晶圆的储存，有效地提升了晶圆周盒的适用性。

所述第一侧壁21及所述第二侧壁22的内壁下端分别设有支撑晶圆下端的晶圆挡杆24，防止晶圆从晶圆烘烤晶周盒的下端滑漏。

在一个具体实施例中，所述晶圆挡杆24为向上凸起的弧形结构。晶圆烘烤晶周盒放满晶圆时，晶周盒中的各个晶圆的上端不再齐平，而是呈现出中间高两边低的弧状形态，每两个相邻的晶圆在竖直方向上都相互错开，使用夹具能够方便地取出晶圆，并能有效防止夹具触碰到相邻位置的晶圆，造成相邻位置的晶圆被刮伤。

所述第一侧壁21的上端设有第一把手25，所述第二侧壁22的上端设有第二把手26。左右两侧分别设置一个把手，使得晶圆烘烤晶周盒在移动中保持平很，防止晶圆烘烤晶周盒在移动过程中发生倾斜造成晶圆滑落破碎。

所述第一侧壁21与所述第二侧壁22的自由端(远离所述第三侧壁23的一端)之间设有连接杆27。所述连接杆27使得所述第一侧壁21及所述第二侧壁22之间的连接更加稳定、牢固。

上文对本实用新型进行了足够详细的具有一定特殊性的描述。所属领域内的普通技术人员应该理解，实施例中的描述仅仅是示例性的，在不偏离本实用新型的真实精神和范围的前提下做出所有改变都应该属于本实用新型的保护范围。本实用新型所要求保护的范围是由所述的权利要求书进行限定的，而不是由实施例中的上述描述来限定的。