卡盘的吊装机构的制作方法

文档序号:12537693阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种卡盘的吊装机构,所述卡盘用于承载晶片,且在所述卡盘上设置有安装孔,用以安装所述吊装机构,其特征在于,所述吊装机构包括:

吊杆,在所述吊杆的下端设置有限位部,所述限位部与所述安装孔相配合,用以限制所述吊杆在竖直方向上的位移自由度;

固定组件,用于使所述限位部相对于所述卡盘固定不动。

2.根据权利要求1所述的卡盘的吊装机构,其特征在于,所述安装孔包括第一条形孔、第二条形孔和圆形孔,其中,

所述第一条形孔自所述卡盘的上表面贯穿所述卡盘的厚度;

所述圆形孔自所述卡盘的下表面竖直向上延伸,且其深度小于所述卡盘的厚度,并且所述圆形孔的直径不小于所述第一条形孔的长度;

所述第二条形孔自所述第一条形孔的下端面竖直向上延伸,且其上端面低于所述卡盘的上表面,并且所述第二条形孔的长度方向与所述第一条形孔的长度方向之间形成夹角;

所述限位部的结构被设置为:能够竖直向下穿过所述第一条形孔,并通过旋转所述夹角移入所述第二条形孔中。

3.根据权利要求2所述的卡盘的吊装机构,其特征在于,所述第一条形孔、第二条形孔和所述限位部的形状相适配。

4.根据权利要求2所述的卡盘的吊装机构,其特征在于,在所述吊杆的外周壁上,且位于所述限位部的上方设置有环形凸台,所述环形凸台的外周壁具有外螺纹;所述固定组件包括:

压帽,套设在所述吊杆上,且具有与所述外螺纹相配合的螺纹孔;

套筒,套设在所述吊杆上,且位于所述压帽的下方,并与所述压帽固定连接;所述套筒与所述压帽对接形成封闭空间,所述环形凸台位于所述封闭空间内,用以在所述限位部位于所述安装孔中时,通过向下旋紧所述压帽,而使所述套筒与所述卡盘的上表面之间形成预紧力。

5.根据权利要求4所述的卡盘的吊装机构,其特征在于,所述套筒采用树脂材料制作;或者,所述套筒采用金属材料制作,且在所述套筒的外表面包覆有树脂材料。

6.根据权利要求4所述的卡盘的吊装机构,其特征在于,所述套筒由两个半环分体对接而成。

7.根据权利要求1所述的卡盘的吊装机构,其特征在于,所述安装孔包括第一开孔和第二开孔,其中,

所述第一开孔自所述卡盘的上表面竖直向下延伸,且所述第一开孔的长度小于所述卡盘的厚度,所述第一开孔的直径大于所述吊杆的直径;并且,所述第一开孔具有第一槽口,所述第一槽口自所述第一开孔的侧壁水平延伸至所述卡盘的外周壁;

所述第二开孔自所述第一开孔的下端面竖直向下延伸,且所述第二开孔的形状与所述限位部的形状相适配;所述第二开孔具有第二槽口,所述第二槽口自所述第二开孔的侧壁水平延伸至所述卡盘的外周壁,且与所述第一槽口的延伸方向一致;

所述限位部的结构被设置为:能够水平穿过所述第二槽口,并移入所述第二开孔中。

8.根据权利要求7所述的卡盘的吊装机构,其特征在于,所述固定组件包括:

滑套,套设在所述吊杆上,且位于所述限位部上方,并且在所述限位部位于所述第二开孔中时,能够下滑至所述第一开孔中;所述滑套的外径大于所述第一槽口的宽度。

9.根据权利要求8所述的卡盘的吊装机构,其特征在于,所述滑套采用树脂材料制作;或者,所述滑套采用金属材料制作,且在所述滑套的外表面包覆有树脂材料。

10.根据权利要求1-9任意一项所述的卡盘的吊装机构,其特征在于,在所述限位部的外表面包覆有树脂材料。

11.根据权利要求1-9任意一项所述的卡盘的吊装机构,其特征在于,在所述吊杆的上端设置有把手。

12.根据权利要求1-9任意一项所述的卡盘的吊装机构,其特征在于,所述安装孔的数量为多个,且沿所述卡盘的周向对称分布;所述吊装机构的数量与所述安装孔的数量相对应,且各个吊装机构一一对应地安装在各个安装孔中。

13.根据权利要求1-9任意一项所述的卡盘的吊装机构,其特征在于,在所述安装孔的内表面覆盖有绝缘层。

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