一种半导体激光侧面泵浦腔的制作方法

本实用新型涉及半导体固态激光器领域，特别涉及一种半导体激光侧面泵浦腔。

背景技术：

固态紫外激光器广泛应用于FPC(Flexible Printed Circuit柔性电路板)切割、精密微孔加工、非金属材料切割、生物技术和医疗设备、3D打印等领域。其中基于Nd:YAG(Neodymium-doped：Yttrium Aluminium Garnet钇铝石榴石晶体)/Nd:YVO4(掺钕钒酸钇)晶体是DPSS紫外激光器的绝佳选择，以非线性晶体KTP(磷酸钛氧钾)、BBO(偏硼酸钡)、LBO(三硼酸锂)等为基础的三倍频技术也已成熟的应用在半导体固态紫外激光器上。1064nm波长的基频光与532nm波长在腔内或腔外和频产生三次谐波(即三倍频)，是获取高功率355nm紫外激光的主要技术手段。

在现有技术中，固态紫外激光器采用侧面泵浦的方式，虽然基频光转换效率没有端面泵浦高，但却有着容易达成高稳定性和高光斑质量的优点。传统的侧面泵浦方式，由于808nm泵浦光首次进入激光介质光纤时的反射损耗极大，既减少了泵浦光的注入能量又加剧了泵浦光的反射回激光管端面的能量，造成基频光的转化效率不高。

技术实现要素：

本实用新型要解决的技术问题是提供一种基频光转化效率高的半导体激光侧面泵浦腔。

为了解决上述技术问题，本实用新型的技术方案为：

一种半导体激光侧面泵浦腔，包括：侧面泵浦板条模块、介质容置框和设置在介质容置框中的激光介质，在所述介质容置框的侧表面开有通孔，所述侧面泵浦板条模块的输出口与所述通孔相对；其中

在所述激光介质的外表面设置有导光的光学胶，所述光学胶将热沉与所述激光介质紧密贴合。

其中，在所述光学胶和所述介质容置框之间还设置有用于降低激光介质温度的热沉，所述热沉的形状与所述介质容置框的形状相同，在所述热沉的中心开有容置激光介质的柱形槽。

优选的，所述热沉为无氧铜热沉。

其中，在所述侧面泵浦板条模块与所述介质容置框之间还设置有滤光片。

其中，在所述滤光片靠近所述侧面泵浦板条模块的一面设置有第一膜层；

在所述滤光片靠近所述激光介质的一面设置有第二膜层。

优选的，所述第一膜层包括808nm激光增透膜，所述第二膜层包括1064nm激光高反膜和808nm激光增透膜。

优选的，所述侧面泵浦板条模块包括二极管激光侧面泵浦板条模块。

优选的，所述激光介质采用nd3+：YAG晶体。

采用上述技术方案，由于在激光介质和热沉之间加入光学胶，使得首次进入激光介质圆棒反射损耗大大减少，基频光转化效率高。

附图说明

图1为本实用新型半导体激光侧面泵浦腔的结构示意图。

图中，1-侧面泵浦板条模块，2-滤光片，21-第一膜层，22-第二膜层，3-光学胶，4-介质容置框，5-热沉，6-激光介质，7-泵浦光束。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的具体实施方式作进一步说明。在此需要说明的是，对于这些实施方式的说明用于帮助理解本实用新型，但并不构成对本实用新型的限定。此外，下面所描述的本实用新型各个实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互组合。

作为本实用新型的第一实施例，如图1所示，本实用新型提出一种半导体激光侧面泵浦腔，包括：侧面泵浦板条模块1和存放激光介质6的介质容置框4，其中，在介质容置框4内设置有无氧铜材质的热沉5，在热沉的中部开有柱形槽，柱形槽可以容置由nd3+：YAG晶体光纤构成的激光介质6，同时在激光介质6和热沉5之间灌有光学胶3，同时光学胶3有着一定的厚度，使得光学胶3能够将激光介质6和热沉5紧密贴合在一起；在热沉5和介质容置框4靠近侧面泵浦板条模块1的一面开有通孔，通孔与侧面泵浦板条模块1的808nm泵浦光输出口相对，使得侧面泵浦板条模块1输出的808nm泵浦光可以通过通孔进入激光介质6；在通孔外还还设置有贴有808nm激光增透膜的第一膜层21和贴有1064nm激光高反膜和808nm激光增透膜的第二膜层22。

二极管激光侧面泵浦板条模块发出808nm的泵浦光光束通过滤光片的第一膜层21和第二膜层22后进入光学胶3，由于光学胶3的折射率接近激光介质6，光学胶3与激光介质6之间光反射极少，大部分的泵浦光进入nd3+：YAG晶体光纤，由于泵浦光会在nd3+：YAG晶体光纤内壁及热沉5的腔壁内反射，因此808nm泵浦光不断在nd3+：YAG晶体光纤反射，最终被激光介质吸收，从而产生波长为1064nm的基频光，此时会有少部分1064nm基频光被反射到热沉的通孔之中，这些基频光经过滤光片2第二膜层22的1064nm激光高反膜反射后返回到激光介质内，重新参与振荡。

由于泵浦光首次进入激光介质的反射损耗极大，既减少了泵浦光的注入能量又加剧了泵浦光的反射回激光管端面的能量，所以加入光学胶以减少首次进入激光介质中的反射损耗有着很大的意义。

以上结合附图对本实用新型的实施方式作了详细说明，但本实用新型不限于所描述的实施方式。对于本领域的技术人员而言，在不脱离本实用新型原理和精神的情况下，对这些实施方式进行多种变化、修改、替换和变型，仍落入本实用新型的保护范围内。