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MOS晶体管的制作方法
文档序号:12191529
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来源:国知局
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MOS晶体管的制作方法与工艺
技术总结
本实用新型涉及半导体器件,公开了一种MOS晶体管。在本实用新型的MOS晶体管中,在源极与漏极之间的栅极下方的特定位置设置一掺杂区,固定了掺杂位置之后,MOS晶体管性能不再出现沟道区随机掺杂时所带来的波动性,使得MOS晶体管的性能更加稳定并且降低了MOS晶体管的关态漏电流。
技术研发人员:
不公告发明人
受保护的技术使用者:
鸿之微科技(上海)有限公司
文档号码:
201621023609
技术研发日:
2016.08.31
技术公布日:
2017.03.08
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