1.一种石墨行星盘，其特征在于，所述石墨行星盘包括载物平台；
所述载物平台的表面设置有温度补偿区域，靠近所述载物平台的边缘设置有凹槽结构，所述温度补偿区域与所述载物平台的表面具有高度差，所述温度补偿区域的高度低于所述载物平台的表面的高度，所述温度补偿区域与载物平台上生长的衬底的高温区域一一对应。
2.根据权利要求1所述的石墨行星盘，其特征在于，所述温度补偿区域包括第一温度补偿区和第二温度补偿区，所述第一温度补偿区和第二温度补偿区分别靠近所述载物平台两端设置，且所述第一温度补偿区和第二温度补偿区位置对称。
3.根据权利要求2所述的石墨行星盘，其特征在于，所述第一温度补偿区和第二温度补偿区的面积和深度保持一致。
4.根据权利要求3所述的石墨行星盘，其特征在于，所述第一温度补偿区和第二温度补偿区的深度小于所述凹槽结构的深度。
5.根据权利要求1所述的石墨行星盘，其特征在于，所述温度补偿区域包括第三温度补偿区域，所述第三温度补偿区域位于所述载物平台的中心区域。
6.根据权利要求5所述的石墨行星盘，其特征在于，所述第三温度补偿区域的深度大于所述凹槽结构的深度。