技术总结
本实用新型提供一种石墨行星盘，其包括载物平台；所述载物平台的表面设置有温度补偿区域，靠近所述载物平台的边缘设置有凹槽结构，所述温度补偿区域与所述载物平台的表面具有高度差，所述温度补偿区域的高度低于所述载物平台的表面的高度，所述温度补偿区域与载物平台上生长的衬底的高温区域一一对应。本实用新型的石墨行星盘能够优化了外延片波长均匀性，提高了外延片的利用率。具体地，本实用新型的石墨行星盘在反应室气流相对稳定的情况下，通过设置温度补偿区域，对衬底表面不同区域进行温度补偿，以达到生长材料波长的一致性。
技术研发人员：肖啸;赵智德
受保护的技术使用者：苏州长光华芯光电技术有限公司
文档号码：201621276820
技术研发日：2016.11.22
技术公布日：2017.05.31