TFT基板、使用该TFT基板的扫描天线以及TFT基板的制造方法与流程

文档序号:11290131阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
TFT基板(101)具有排列在电介质基板(1)上的多个天线单位区域(U),包含发送接收区域和非发送接收区域,发送接收区域包含多个天线单位区域,非发送接收区域位于发送接收区域以外的区域,多个天线单位区域(U)各自具备:薄膜晶体管(10);第1绝缘层(11),其覆盖薄膜晶体管,且具有将薄膜晶体管(10)的漏极电极(7D)露出的第1开口部(CH1);以及贴片电极(15),其形成在第1绝缘层(11)上和第1开口部(CH1)内,电连接到薄膜晶体管的漏极电极(7D),贴片电极(15)包含金属层,金属层的厚度大于薄膜晶体管的源极电极(7S)和漏极电极(7D)的厚度。

技术研发人员:中泽淳;大类贵俊;森重恭;中野文树;箕浦洁
受保护的技术使用者:夏普株式会社
技术研发日:2016.10.06
技术公布日:2017.09.26
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