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装载端口的制作方法
文档序号:14959529
发布日期:2018-07-18 00:14
阅读:
来源:国知局
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装载端口的制作方法
技术特征:
技术总结
装载端口(1)所具备的映射传感器(30)是用于对收纳于匣(51(52))的FFC(被处理物的一例子)进行映射的传感器。映射传感器(30)具有传感器部(31)和用于使该传感器部(31)升降的升降部(32)。映射传感器(30)配置在装载端口(1)的基座(10)的与输送空间的那一侧相反的一侧。
技术研发人员:
森鼻俊光;大泽真弘;松本祐贵
受保护的技术使用者:
昕芙旎雅有限公司
技术研发日:
2016.11.29
技术公布日:
2018.07.17
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