技术总结
本发明提供一种低关断损耗双栅SOI‑LIGBT器件结构，包括从下至上依次设置的P型衬底、埋氧层二氧化硅、N型漂移区、P型阱区、N‑buffer层、氧化层；P型阱区内部上方设有两个N型源端以及P型接触区；N‑buffer层内部上方设有N型阳极区；在N型漂移区的内部设有N型埋层、和/或P型埋层；本发明使器件结构的导通电阻得到降低；在关断过程中使得VA上升的速率在P型埋层未被耗尽之前更缓慢，在P型层耗尽完全时VA剧增；在耗尽区靠近P型埋层的边界时，给在漂移区储存的空穴提供了一个良好的泄放通道，导致储存的空穴载流子排除速度加快，拖尾时间降低；基于这两个效应，本发明结构的关断损耗得到大幅度的降低。
技术研发人员：乔明;李路;何逸涛;杨文;张波
受保护的技术使用者：电子科技大学;电子科技大学广东电子信息工程研究院
文档号码：201710110599
技术研发日：2017.02.28
技术公布日：2017.06.20