技术特征：
技术总结
本发明公开了一种制备集成电感多元复合磁芯层的方法，涉及微电子与印制电路板领域。本发明能够克服现有技术化学共沉积法难以获得的多元合金磁芯材料，避免了化学共沉积法将所有金属离子的析出电位调整至相近水平实施困难的缺陷；本发明利用Ni或Co的自催化性能，将Ni或Co与磁芯颗粒共沉积到电感的目标沉积区域形成具有双相结构的多元复合磁芯层，制得的磁芯层能够使得电感器的电感增值大，同时本发明的制备方法相比溅射法具有工艺简单、成膜速度快，耗能少的优势。
技术研发人员：周国云;何迪;何为;李永强;王守绪;陈苑明;王翀
受保护的技术使用者：电子科技大学
技术研发日：2017.04.13
技术公布日：2017.07.04