改善生产线上滑片现象的定位器的制作方法

文档序号:11679489阅读:136来源:国知局
改善生产线上滑片现象的定位器的制造方法与工艺

本发明涉及液晶面板加工技术领域,特别地涉及一种改善生产线上滑片现象的定位器。



背景技术:

低温多晶硅(ltpsrta)的制程中需要使用在线(in-line)机台进行活化,在此过程中,由于玻璃基板只是平放于调节器(setter)上,并没有相应固定基板的固定机构,因此在基板的传送过程中,尤其是低温状态时,基板会因突然的加速或减速造成滑动,即基板与支板的相对位置会发生变化,无法保持固定不变,从而导致基板完成制程后无法顺利取出。



技术实现要素:

本发明提供一种改善生产线上滑片现象的定位器,用于解决现有技术中存在的玻璃基板与支板的相对位置无法保持不变的技术问题。

本发明提供一种改善生产线上滑片现象的定位器,包括:

支板,用于传送基板;

所述支板上设置有吸附孔,所述吸附孔位于所述支板的边缘处和中间部位。

在一个实施方式中,所述吸附孔包括位于基板边缘处的边缘孔和位于基板中间部位的中间孔;

所述边缘孔的孔壁与基板的边缘之间的距离为1-3mm。

在一个实施方式中,所述支板上还设置有用于使基板与所述支板分离的销孔,所述销孔为通孔;

所述销孔包括位于基板的长边边缘处的第一销孔、位于基板短边边缘处的第二销孔和位于基板的中间部位的中间销孔;

每个所述第一销孔或每个所述第二销孔的附近均设置有一个或多个所述边缘孔;

所述中间销孔的附近设置有一个或多个中间孔。

在一个实施方式中,所述边缘孔的孔壁与所述第一销孔或所述第二销孔的孔壁之间的距离为1-3mm;所述中间孔的孔壁与所述中间销孔的孔壁之间的距离为1-3mm。

在一个实施方式中,所述边缘孔的中心和所述第一销孔的中心的连线与所述支板的长边平行;或所述边缘孔的中心和所述第二销孔的中心的连线与所述支板的短边平行。

在一个实施方式中,所述吸附定位装置为吸附孔,所述吸附孔为盲孔。

在一个实施方式中,所述吸附孔为圆柱孔或圆锥孔。

在一个实施方式中,所述边缘孔关于所述支板的中心对称分布;所述中间孔关于所述支板的中心对称分布。

在一个实施方式中,所述边缘孔的数量至少为2个;所述中间孔的数量至少为2个。

在一个实施方式中,所述边缘孔的直径为6-8mm;所述边缘孔的深度为1-3mm。

与现有技术相比,本发明的优点在于:

(1)当基板在传送过程中由高温降至低温时,吸附孔内的气体会收缩,因此对基板形成向下的吸附力,从而使基板于支板的相对位置保持不变,避免了低温时滑片的问题,使基板完成制程后能够被顺利取出。

(2)边缘孔位于相应的第一销孔的附近,避免了基板被与支板分离过程中由于边缘孔的吸力较大以及其与第一销孔之间的距离较远而造成玻璃破片的现象。

附图说明

在下文中将基于实施例并参考附图来对本发明进行更详细的描述。

图1是本发明的一个实施例中改善生产线上滑片现象的定位器的示意图;

图2是图1所示吸附孔在a-a处的剖视图。

附图标记:

1-支板;2-吸附定位装置;3-销孔;

31-第一销孔;32-第二销孔;33-中间销孔;

211-边缘孔;212-中间孔。

具体实施方式

下面将结合附图对本发明作进一步说明。

如图1所示,本发明提供一种改善生产线上滑片现象的定位器,其包括支板1,支板1用于传送基板;支板1上设置有吸附孔2,吸附孔2用于将基板吸附在支板1的表面上而使基板与支板1的相对位置保持不变。

吸附孔2位于支板1的边缘处和中间部位。

具体来说,吸附孔2包括位于基板边缘处的边缘孔211和位于基板中间部位的中间孔212;边缘孔211的孔壁与基板的边缘之间的距离为1-3mm。优选地,边缘孔211位于基板的长边边缘处,使基板与支板1的吸附效果更好;且边缘孔211的孔壁与基板的长边之间的距离为1mm,使边缘孔211尽可能的接近基板的边缘,防止基板边缘处发生偏移。

在本发明的一个实施例中,支板1上还设置有销孔3,销孔3为通孔,销孔3用于使基板与支板1分离;销孔3包括位于基板的长边边缘处的第一销孔31、位于基板短边边缘处的第二销孔32和位于基板的中间部位的中间销孔33,每个打一销孔31或每个第二销孔32的附近均设置有一个或多个边缘孔211,中间销孔33的附近设置有一个或多个中间孔212。

如图1所示,边缘孔211位于第一销孔32附近,且每个第一销孔32的附近均设置有一个边缘孔211;类似地,中间孔212位于中间销孔22的附近,由于中间销孔33的数量为4个以上,因此中间孔212可选择性的位于其中两个中间销孔33的附近,例如位于水平方向上的两个中间销孔33的附近。

在本发明的一个实施例中,边缘孔211的孔壁与第一销孔31的孔壁之间的距离为1-3mm;中间孔212的孔壁与中间销孔33的孔壁之间的距离为1-3mm。例如边缘孔211的孔壁与第一销孔31的孔壁之间的距离为2mm,中间孔212的孔壁与中间销孔33的孔壁之间的距离为2mm,使边缘孔211与相应的第一销孔31之间的距离尽可能的小,能够避免基板被与支板分离过程中由于边缘孔211的吸力较大以及其与第一销孔31之间的距离较远而造成玻璃破片的现象,中间孔212与之类似。

在本发明的一个实施例中,边缘孔211的中心和第一销孔31的中心的连线与支板1的长边平行;或边缘孔211的中心和第二销孔32的中心的连线与支板1的短边平行。

即边缘孔211位于第一销孔31附近时,边缘孔211与第一销孔31的圆心的连线平行于支板1的长边;边缘孔211位于第二销孔32附近时,边缘孔211与第二销孔32的圆心的连线平行于支板1的短边,因此能够使兼顾边缘孔211与第一销孔31或第二销孔32之间的距离以及边缘孔211与基板边缘的距离,使边缘孔211处于最佳吸附位置。

在本发明的一个优选实施例中,吸附孔2为盲孔。

即吸附孔2的孔深小于基板的厚度,如图2所示,当基板覆盖在支板1上时,可使吸附孔2内暂时形成一个封闭的腔室,因此当基板发生温度变化时,吸附孔2才会对基板形成一定的吸附力。

在本实施例中,吸附孔2为圆柱孔或圆锥孔。圆柱孔加工更方便,圆锥孔的吸附效果好。

当基板由高温降至低温时,吸附孔2内的气体会被压缩,因此吸附孔2内的压强减小,对基板产生吸附,从而使基板在传送过程中保持与支板1的相对位置不变,以避免低温时滑片现象。

在本实施例中,边缘孔211关于支板1的中心对称分布;中间孔212关于支板1的中心对称分布。

在本实施例中,边缘孔211的数量至少为2个;中间孔212的数量为至少为2个。

例如边缘孔211的数量为8个,中间孔212的数量为2个。如图1所示,带有阴影的孔为边缘孔211和中间孔212,虚线所示的为基板。边缘孔211包括位于基板的上边缘处的第一边缘孔和位于基板的下边缘处的第二边缘孔,第一边缘孔的数量为4个,第二边缘孔的数量为4个,且第一边缘孔与第二边缘孔关于基板左右两条短边中点的连线对称设置;此外,第一边缘孔关于基板上下两条长边重点的连线对称设置,即边缘孔211关于基板的中心对称设置。

中间孔212位于基板的中间部位,能使使支板1对基板的吸附更均匀。

在本发明的一个实施例中,边缘孔211的直径为6-8mm;边缘孔211的深度为1-3mm。例如,边缘孔211的直径为8mm,深度为1.5mm,使其能够达到最佳的吸附效果。

综上所述,本发明提供了一种改善生产线上滑片现象的定位器,通过其上的吸附孔2,将基板吸附在支板1上,使基板在传送过程中与支板1的相对位置保持不变,避免了滑片现象;且当需要将基板与支板1进行分离时,保持基板的完整性,不会使基板搜到损伤。

虽然已经参考优选实施例对本发明进行了描述,但在不脱离本发明的范围的情况下,可以对其进行各种改进并且可以用等效物替换其中的部件。尤其是,只要不存在结构冲突,各个实施例中所提到的各项技术特征均可以任意方式组合起来。本发明并不局限于文中公开的特定实施例,而是包括落入权利要求的范围内的所有技术方案。

当前第1页1 2 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1