药液排出装置的制作方法

本发明涉及一种药液排出装置，尤其涉及一种由于想要减少由活塞的晃动所引起的密封部件的单边磨损、活塞与气缸内壁之间的不均匀摩擦，可防止产品的性能低下及破损的药液排出装置。

背景技术：

在半导体晶片或液晶用玻璃基板等的表面上，借助于图案化工序及蚀刻工序作出微小的电路图案。在图案化工序中，用于向晶片或玻璃基板表面上涂抹光抗蚀液等药液从而使用药液供给装置。

所述药液供给装置的容器中收容的药液借助于泵的抽吸而移动的同时，经过滤波器之后通过喷嘴喷洒涂抹到被涂抹物上。

所述药液供给装置，包括：泵，用于排出药液，及气缸单元，将用于调节从所述泵中排出药液量的非压缩性流体供给到所述泵。此处，所述气缸单元包括活塞及气缸。

但是，在以往的药液供给装置中，由于所述活塞借助于一个支承部件而被支承，导致所述活塞在往返运动的过程中活塞晃动。由此不仅导致了配置在所述活塞及所述气缸内壁之间的密封部件发生单边磨损，还有可能使所述活塞及气缸内壁发生不均匀摩擦的危险。

如果所述密封部件发生单边磨损，非压缩性流体会在所述活塞的往返移动中泄漏，由于不定量的非压缩性流体流入所述腔室，可能发生不能精确地将药液排出的问题。并且，所述活塞及气缸内壁的不均匀摩擦导致药液供给装置的性能低下及寿命减短。

技术实现要素：

(要解决的问题)

本发明要解决的课题在于，为降低由活塞的中心不一致导致的密封部件单边磨损、活塞与气缸内壁之间的不均匀摩擦，提供一种防止产品性能低下及破损的药液排出装置。

为了解决所述课题，本发明提供一种药液排出装置，其特征在于，包括：

泵单元，所述泵单元具有泵外壳，及配置在所述泵外壳的内部，并且借助于外力收缩时将药液排出的弹性软管，在所述泵外壳内侧面及所述弹性软管外侧面之间形成有使用于加压所述弹性软管的非压缩性流体流入的泵腔室；

气缸单元，所述气缸单元具有：利用所述泵单元将所述非压缩性流体供应的活塞；结合在所述活塞下部的气缸杆；以及收容所述活塞的气缸板；

驱动单元，具有用于使所述气缸杆移动的发动机；动力传达单元，用于将所述发动机的旋转力转换为所述气缸杆的直线移动；及

套管单元，一部分紧贴在所述活塞的外侧面并且在支承所述活塞的同时，防止所述活塞的晃动，另外一部分与所述活塞的外侧面一起形成所述非压缩性流体移动的壁面流路。

附图说明

图1是概略式图示根据本发明药液排出装置的侧面附图。

图2是概略式图示图1药液排出装置的纵剖面附图。

图3是图示具备在图1药液排出装置的套管单元的立体图。

图4是关于图3套管单元平面图及部分扩大图。

具体实施方式

以下，参照所述需要解决的课题可具体实现的本发明优选实施例附图进行说明。基于本实施例的说明，相对于同一构成使用同一名称及同一符号并且对其附加的说明下面将省略。

参照图1至图4，对根据本发明的药液排出装置实施例的说明如下。

根据本实施例的药液排出装置包括：泵单元100、气缸单元200、引导套管单元570、驱动单元400、动力传达单元、密封单元及套管单元600。

所述泵单元100，包括：泵外壳110、弹性软管120、入口侧接头140、流入流路150、出口侧接头160及排出流路170。此处，在所述泵外壳110的内侧面及所述弹性软管120的外侧面之间，形成用于加压所述弹性软管120的非压缩性流体流入的泵腔室130。

所述泵外壳110通过连通流路800与所述气缸单元200连通。即，从所述气缸单元200中排出的非压缩性流体通过所述连通流路800流入到所述泵腔室130的内部。

所述弹性软管120配置在所述泵外壳110的内部，如果借助于外力收缩，会排出和收缩的体积相当的药液。即，如果所述非压缩性流体从所述气缸单元200开始向所述泵腔室130流入，则所述非压缩性流体会加压所述弹性软管120，如果加压所述弹性软管120，存在于所述弹性软管120内部的药液则会通过所述排出流路170向外部排出。

所述出口侧接头160起到将所述弹性软管120及所述排出流路170连接的作用，所述入口侧接头140执行将所述弹性软管120及所述流入流路150连接的作用。此处，所述流入流路150与储藏药液的药液箱(未图示)连接。

当然，具备在所述气缸单元200的活塞230，由于其往返移动引起的所述非压缩性流体从所述泵腔室130向所述气缸单元200逆向供给时，所述弹性软管120恢复原状态，此时，残存在所述药液箱中的药液通过所述流入流路150流入到所述弹性软管120的内部。

并且，虽然没有图示，在所述流入流路150及排出流路170上，安装有用于控制药液流向的阀。

另外，所述气缸单元包括活塞230、气缸杆280及气缸板。

所述活塞230与所述气缸杆280结合，并且上下往返移动的同时向所述泵单元100供给所述非压缩性流体或接收供给。

所述气缸杆280的上端结合在所述活塞230的下部，所述气缸杆280的下端与所述动力传达单元的螺母部件550结合。并且，在所述气缸杆280的内部形成供所述动力传达单元的旋转轴520插入的旋转轴插入部281。

在所述气缸杆280的外侧上安装风箱单元590。具体为，所述风箱单元590，包括：上部盖591，支承所述活塞230下端面，及下部盖593，安装在所述气缸板下部区域，及风箱部件592，将所述上部盖591及下部盖593连接。

所述下部盖593结合在所述气缸板的下部区域上而维持固定位置。但与此相反的是，所述上部盖591与所述活塞230的上下移动一起进行上下移动。

所述气缸板形成收容所述活塞230的空间。所述气缸板具体包括：第1气缸板210、第2气缸板220、第3气缸板240及第4气缸板250。

所述第2气缸板220配置在所述第1气缸板210的下部，所述第3气缸板240配置在所述第1气缸板210的上端，所述第4气缸板250配置在所述第2气缸板220的下部，并且抵住所述第2气缸板220的底面。

虽然所述气缸板都可单独制作后再结合在一起，但也可以一体形成。

在所述第1气缸板210的内侧面上，以凹陷形式形成套管收容部211，且收容所述套管单元600至少一部分。即，所述套管收容部211由环形凹陷形成在所述第1气缸板210的内侧面上。

所述第3气缸板240与所述活塞230的上面一起形成所述非压缩性流体移动的主流路260。所述主流路260与所述连通流路800连通的同时，与所述活塞230的外侧面及所述套管单元的外侧面形成的壁面流路270连通。

所述密封单元包括所述第1密封部件720及第2密封部件710。

所述第1密封部件720配置在所述第2气缸板220及所述活塞230之间，并且阻断所述非压缩性流体的泄漏。在所述第2气缸板220上，以凹陷形式形成有第1密封部件收容部221，且收容所述第1密封部件720的至少一部分。

所述第2密封部件710配置在所述第1气缸板210下面及所述第2气缸板220上面之间，这可以防止所述非压缩性流体的泄漏。在所述第2气缸板220的上面，以凹陷形式形成有第2密封部件收容部223，且收容所述第2密封部件710的至少一部分。

本发明不受其限定，所述第2密封部件710可以在所述第1气缸板210的下面一部分被收容，所述第1气缸板210的下面及所述第2气缸板220的上面均同时可以被收容。

另外，所述套管单元600的一部分紧贴在所述活塞230的外侧面上，支承所述活塞230的同时防止所述活塞230的晃动，另外一部分与所述活塞230的外侧面一起形成使所述非压缩性流体移动的所述壁面流路270。

所述套管单元600以所述气缸杆280为基准配置在比所述第1密封部件720高的位置上，所述套管单元600润滑性好，可以由与所述非压缩性流体不发生反应的树脂材质制作。

例如，所述套管单元600的材质可以使用聚四氟乙烯(ptfe:polytetrafluoroethylene)、聚乙烯(pe:polyethylene)、聚对苯二甲酸乙二醇酯(pet:polythyleneterephthalate)等。

所述套管单元600，包括环形的套管主体610，所述套管主体610的内侧面，包括：一个以上的内接部621、622、623，所述内接部向所述活塞230的外侧面方向突出一定长度，并且与所述活塞230的外侧面紧贴接触，及流路形成部631、632、633，所述流路形成部631、632、633对应于在所述套管主体610的内侧面中除所述内接部621、622、623以外的部分。

此处，所述流路形成部631、632、633与所述活塞230的外侧面一起形成所述壁面流路270。

基于本实施例，所述内接部621、622、623有3个，即，由第1内接部621、第2内接部622及第3内接部623构成并且以一定间隔配置，所述流路形成部631、632、633也是3个，即，由第1流路形成部631、第2流路形成部632及第3流路形成部633构成并且以一定间隔配置。

但是，本发明不受其限定，所述内接部具备2个以上，并且所述流路形成部也可以具备2个以上。

所述内接部621、622、623与所述流路形成部631、632、633以台阶方式形成，并且形成所述活塞230及所述壁面流路270的所述流路形成部631、632、633的圆周方向长度，比与所述活塞230接触的所述内接部621、622、623的圆周方向长度长。

借助于所述内接部内侧面的假设延长面从而定义的假设内侧面的直径与所述活塞230的外侧面的直径相同，所述活塞230的外侧面与所述内接部的内侧面匹配啮合。

就结果而言，由于安装所述套管单元600，借助于所述内接部，并且所述活塞230稳定支撑的同时借助于所述流路形成部，从而所述活塞230与气缸板内壁之间存在的所述非压缩性流体的流路流畅。

并且，根据本发明的药液排出装置，还包括：引导套管单元570，结合于气缸板的下面，即，结合在第4气缸板250下面，并且抓持所述气缸杆280从而防止所述活塞230晃动。

所述引导套管单元570上形成供所述气缸杆280贯通的杆贯通槽(未图示)。

就结果而言，当所述动力传达单元的旋转轴520旋转时，所述气缸杆280支承在所述引导套管单元570上，由于所述活塞230借助于所述套管单元600支承，使所述活塞230不晃动的同时使所述活塞做稳定直线往返移动。

由于所述活塞230在所述气缸板内部以不倾斜的状态直线往返移动，所以可以防止所述第1密封部件720的单边磨损，防止由所述活塞230及所述气缸板的内壁之间的不均匀摩擦引起的所述活塞及所述气缸板内壁损伤的现象，使产品的期待寿命及性能提高。

另外，所述驱动单元400包括，用于使所述气缸杆280移动的发动机410。所述发动机410与所述动力转达单元的旋转轴520结合。

所述动力传达单元将所述发动机410的旋转力转换为所述气缸杆280的直线移动。所述动力传达单元，包括：旋转轴520、螺母部件550、第1支承部件540、第2支承部件510及引导部件530。

所述旋转轴520与所述发动机410结合旋转，所述螺母部件550与所述旋转轴520结合并且相对于固定的旋转轴520直线移动。

所述螺母部件550的一侧与所述旋转轴520结合，另一侧与所述气缸杆280结合，当所述旋转轴520旋转时与所述气缸杆280一起直线移动。

所述第1支承部件540与所述螺母部件550结合并且支承所述螺母部件550。当所述旋转轴520旋转时，所述第1支承部件540及所述螺母部件550根据所述引导部件530移动。

所述引导部件530一端固定在第2支承部件510上，另一端固定在所述第4气缸板250上。此处，所述引导部件530贯通所述第1支承部件540而配置。因此，当由于所述旋转轴520的旋转引起的所述螺母部件550上下移动时，与所述螺母部件550结合的所述第1支承部件540与所述螺母部件550一起根据所述引导部件530上下移动。

就结果而言，所述旋转轴520旋转时，即使发生振动所述螺母部件550，也可以相对于水平面一直保持垂直移动，由此引起的所述气缸杆280也可以相对于水平面保持垂直移动。

不仅如此，所述引导部件530起到防止所述第1支承部件540及所述螺母部件550直线移动过程中旋转的作用。即，所述引导部件530贯通所述第1支承部件540的一侧而配置，以防止所述第1支承部件540以所述旋转轴520为中心旋转。

如果没有安装所述引导部件530，则所述第1支承部540与所述螺母部件550及所述旋转轴520一起旋转。如果所述螺母部件550不垂直移动与所述旋转轴520一起旋转，由于所述气缸杆280也不发生垂直移动旋转，这可能会发生所述气缸杆280及所述活塞230的结合部位分离的问题。

即使所述气缸杆280及所述活塞230的结合部位不分离，如果所述气缸杆280旋转，会出现所述风箱单元590受旋转转矩影响产生变形或风箱590寿命减少的问题。

所述第2支承部件510在与所述第1支承部件540的下部且有一定间隔的位置上支承所述旋转轴520。

所述动力传达单元及所述气缸板固定在外壁框架310上，所述外壁框架310上具备第1把手320及第2把手330，使操作者移动药液排出装置时，可以用来抓住。

根据本发明的药液排出装置的效果如下。

第一，由于安装了套管单元，具有稳定抓住活塞的同时使所述活塞及气缸板内壁之间存在的非压缩性流体的流路顺畅的优点。

第二，旋转轴旋转时，气缸杆支承在引导套管单元上，由于活塞借助于套管单元支承，使所述活塞不晃动的同时以稳定直线往返移动。

就结果而言，由于所述活塞在气缸板内部中以不倾斜的状态直线往返移动，可以防止密封部件的单边磨损，防止所述活塞及所述气缸板内壁之间的不均匀摩擦引起的分离现象，并且具有提高产品期待寿命及同时提高性能并且可以排出高精密度药液的优点。

如上所述，本发明不受所述的特定优选实施例所限定，在权利要求中不脱离要求的本发明要旨，借助于属于本发明技术领域中具有通常知识的人，可以多样变形的实施并且这种变形属于本发明的范围。