加速激活药液的装置制造方法
【专利摘要】本实用新型涉及一种加速激活药液的装置，属于晶硅太阳能电池【技术领域】，主要特点是设置存放亚硝酸盐溶液的缓存槽，缓存槽的药液管路插入主槽体，药液管路中串接电磁阀，电磁阀接电脑，缓存槽经管道外接氮气源，缓存槽上设置排风管连接外围排风抽走氮气，主槽体内设置鼓泡机构，鼓泡机构连接氮气。本实用新型实现了在PM之后或者暂停生产之后，再进行生产时添加亚硝酸盐溶液以提高亚硝酸根浓度，加速激活药液，减少由于药液激活所带来的产能浪费问题，也降低了硅片成本；本实用新型结构简单，实用性强，有利于降低由于药液激活所带来的产能浪费问题和降低硅片成本。
【专利说明】加速激活药液的装置
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种加速激活药液的装置，属于晶硅太阳能电池【技术领域】。
【背景技术】
[0002]在常规晶硅太阳能电池工艺中，酸制绒和湿法刻蚀是普遍使用的成熟技术，酸制绒可以减少反射率，去除损伤层，湿法刻蚀可以实现背面抛光，边缘绝缘，均可以提高太阳能电池转换效率。
[0003]各电池厂商采用的酸制绒和湿法刻蚀设备在设计上有一个共同点，即主槽体的工艺原理是类似的:HN03与HF的混合液与硅片反应时，HN03先将硅片氧化，HF再与其氧化产物反应。该工艺过程可以稳定、有效的实现酸制绒和湿法刻蚀设备功能，并且比较容易控制，适合量产使用，但却存在一个问题，即药液激活问题。此反应前序反应(氧化反应)为慢反应，是影响反应速率的主要部分；而在氧化反应中，起氧化作用的并不是HN03，而是HN03在反应过程中的副产物亚硝酸根离子，因此激活药液的主要目的是为了提高药液中的亚硝酸根浓度。因此在PM之后或者暂停生产之后，再进行生产时，需要使用硅片进行长时间试跑，以提高药液中的亚硝酸根浓度，激活药液，保证刻蚀速率稳定可控，这样就会带来2个负面影响:一是需要消耗大量硅片；二是需要消耗2-3小时的时间，极大地影响车间正常生产。
【发明内容】
[0004]本发明的目的是提供一种加速激活药液的装置，解决上述现有设备存在的缺陷，通过本发明使酸制绒和湿法刻蚀设备的药液激活时间大幅减少，减少由于药液激活所带来的产能浪费问题，降低硅片成本。
[0005]本发明的目的是通过以下装置实现的，一种加速激活药液的装置，包括主槽体，其特征是，设置存放亚硝酸盐溶液的缓存槽，缓存槽经药液管路连接主槽体，药液管路中串接电磁阀，电磁阀接电脑，缓存槽经管道外接氮气源，缓存槽上设置排风管连接外围排风抽走氮气，主槽体内设置鼓泡机构，鼓泡机构连接氮气。
[0006]所述鼓泡机构是一根布满气孔的氮气管，氮气管连接氮气。
[0007]本发明有如下优点:1)在现有酸制绒和湿法刻蚀设备的基础上，对槽体的构造进行改善，但配置变动较少，改造成本较小；2)在本发明中，实现了一种加速激活药液的装置，可以在PM之后或者暂停生产之后，再进行生产时添加亚硝酸盐溶液以提高亚硝酸根浓度，加速激活药液，减少由于药液激活所带来的产能浪费问题，也降低了硅片成本；本发明结构简单，实用性强，有利于降低由于药液激活所带来的产能浪费问题和降低硅片成本。
【专利附图】
【附图说明】
[0008]图1为本发明结构示意图；
[0009]图2为本发明中的鼓泡机构结构示意图；
[0010]图中，I缓存槽，2药液管路，3主槽体，4鼓泡机构，5气孔，6管道，7氮气源，8排风管，9电磁阀。
【具体实施方式】
[0011]结合附图和实施例进一步说明本发明，如图1、2所示，本发明是在现有酸制绒和湿法刻蚀设备的基础上进行的改进，硬件配置变动较少，包括存放亚硝酸盐溶液的缓存槽1，缓存槽I经药液管路2连接的主槽体3，药液管路2中串接电磁阀9，电磁阀9接电脑，缓存槽I经管道6外接氮气源7，缓存槽I通过其排风管8连接外围排风抽走氮气，主槽体3内设置鼓泡机构4，鼓泡机构4是一根布满气孔5的氮气管，氮气管连接氮气，在缓存槽I中存有亚硝酸盐溶液，在酸制绒和湿法刻蚀设备PM之后或者暂停生产之后，再进行生产时，可以控制电磁阀9通过药液管路2向主槽体3中添加一定量的亚硝酸盐溶液，然后向鼓泡机构4中通入氮气，在主槽体3产生大量气泡，可以使药液混合均匀；由于本装置可以向主槽体3中添加亚硝酸盐溶液，提高了亚硝酸根浓度，加速激活药液，减少由于药液激活所带来的产能浪费问题，也降低了硅片成本。
[0012]以上所述的具体实施例，对本发明的目的，技术方案，有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述的仅是本发明的具体实施例而已，并不用限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所做的任何修改，等同替换，改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
【权利要求】
1.一种加速激活药液的装置，其特征是，所述装置设置存放亚硝酸盐溶液的缓存槽，缓存槽的药液管路插入主槽体，药液管路中串接电磁阀，电磁阀接电脑，缓存槽经管道外接氮气源，缓存槽上设置排风管连接外围排风抽走氮气，主槽体内设置鼓泡机构，鼓泡机构连接氮气。
2.根据权利要求1所述的加速激活药液的装置，其特征是，所述鼓泡机构是一根布满气孔的氮气管，氮气管连接氮气。
【文档编号】H01L31/18GK203950826SQ201420213693
【公开日】2014年11月19日 申请日期:2014年4月29日 优先权日:2014年4月29日
【发明者】赵建东, 郑飞 申请人:中电电气（扬州）光伏有限公司