引线内穿式多级降压收集极的制作方法

本公开涉及微波电真空器件技术领域，尤其涉及一种小型化、轻重量的引线内穿式多级降压收集极。

背景技术：

行波管作为十分重要的微波功率器件，因其单个器件工作频率宽(可容易获得几个倍频程的带宽，适合于电子战使用)、输出功率大、效率高，因此大量应用于电子对抗、电子战、雷达、气象观测、空间测量及卫星通信等领域。一般来说，各种应用对行波管等器件的要求不尽相同。但是，总的说来，更高的功率和更高的效率是各种应用所呈现出来的共同趋势。特别是对于空间测量及卫星通信用空间行波管，由于能量供应的有限性，提高行波管效率成为行波管研制与生产首先要关注的问题。

行波管的基本原理是电磁波与电子注同步相互作用，将电子注能量转化为微波能量。

行波管一般包括电子枪、磁聚焦系统、慢波结构、输能耦合结构、单级或多级降压收集极五个部分。

从阴极发射出的电子，在电子枪中加速、压缩成电子束，并由周期磁聚焦系统维持成细电子束，穿过螺旋线高频系统；慢波系统把电磁波相速降低，在高频系统中实现电子动能转化为微波能，使信号得到放大；被放大的微波通过输能耦合系统进入天线发射系统；已交出部分能量的电子束，最后进入多级降压收集极，在到达收集极之前被减速，部分能量得到回收；剩余的电子能量在收集极中转化为热能。其中，多级降压收集极的作用是回收经过注-波互作用后的电子注中的剩余动能，从而大大提高器件的总效率。

多级降压收集极可以大大提高行波管等真空电子器件的效率。级数越多，能力回收效果越好。但级数越多，收集极的体积和重量越大。因此，设计易装配、高效率、小型化、轻重量的多级降压收集极是整个行波管设计中的重要环节。

此外，近年来，出现了一种新的集成化、模块化和小型化的微波功率模块的概念，并迅速达到了实用化水平。微波功率模块最主要特点就是小型化。比如，northropgrummancorporation的6-18ghz的微波功率模块的体积仅为175mm×140mm×20mm。这就意味着安装在该微波功率模块内的行波管直径应小于20mm。

而正如本行业所周知的那样，行波管直径最大的部分一般是多级降压收集极部分。因为多级降压收集极的直径越大，越容易实现高效率，因此高效率的多级降压收集极的直径往往达到40mm～60mm。这样的收集极尺寸限制了其在微波毫米波功率模块中的应用。

技术实现要素：

(一)要解决的技术问题

本公开提供了一种小型化、轻重量的引线内穿式多级降压收集极，以至少部分解决以上所提出的技术问题。

(二)技术方案

本公开引线内穿式多级降压收集极包括：依次设置的m级收集极；以及n瓣绝缘瓷瓣，该n瓣绝缘瓷瓣共同围成内筒结构，其内侧形成容置空间，m级收集极容置于该容置空间内。其中，n瓣绝缘瓷瓣中至少其中之一绝缘瓷瓣中具有电极引线孔，m级收集极中其中一级收集极的电极引线通过该电极引线孔连接至引线内穿式多级降压收集极的尾部，m和n均为大于1的整数。

在本公开的一些实施例中，n瓣绝缘瓷瓣呈圆周均布；相邻两绝缘瓷瓣之间有8°-10°的间隙。

在本公开的一些实施例中，n≧m-1，其中，m级收集极中除最末一级收集极外的m-1级收集极分别与m-1瓣的绝缘瓷瓣的其中之一对应，该m-1级收集极的其中之一收集极的电极引线通过对应绝缘瓷瓣中的电极引线孔连接至引线内穿式多级降压收集极的尾部。

在本公开的一些实施例中，n＝m；m级收集极中最末一级收集极的电极引线直接连接至引线内穿式多级降压收集极的尾部。

在本公开的一些实施例中，对于m级收集极中任一收集极，其包括：收集极本体，呈上端收拢的筒状；收集极定位脊，围绕于收集极本体的外侧设置；收集极开放式焊料槽，由收集极定位脊的中间部位凹陷形成；其中，n瓣的绝缘瓷瓣中对应各个收集极的位置开设有定位槽，该定位槽经过金属化处理，收集极通过收集极开放式焊料槽中的焊料焊接于外侧的绝缘瓷瓣上。

在本公开的一些实施例中，对于m-1级收集极中的任一收集极，在收集极开放式焊料槽对应引线的位置开设引线孔，相应电极引线的前端焊接在该引线孔内。

在本公开的一些实施例中，在每一绝缘瓷瓣上，相邻的收集极定位槽之间设置有绝缘槽。

在本公开的一些实施例中，还包括：外筒，套设于内筒结构的外侧；其中，构成内筒结构的n瓣绝缘瓷瓣与外筒的接触面金属化，金属化之后的n瓣绝缘瓷瓣焊接于外筒上。

在本公开的一些实施例中，还包括：尾盖组件，盖设于外筒的尾端；以及输出端盖组件，盖设于外筒的输出端

在本公开的一些实施例中，尾盖组件包括：收集极尾盖本体；以及m个引线柱组件，供m级收集极的电极引线引出外筒，每一引线柱组件包括：外侧金属化的引线瓷柱本体；以及分别焊接于引线瓷柱本体上端和下端的引线瓷柱上封接件和引线瓷柱下封接件。

(三)有益效果

从上述技术方案可以看出，本公开引线内穿式多级降压收集极至少具有以下有益效果其中之一：

(1)采用多瓣绝缘陶瓷夹持各级收集极并装配于收集极外筒之内，该多瓣绝缘陶瓷共同围成绝缘结构，降低了多级降压收集极的装配难度。

(2)相邻的两绝缘瓷瓣之间有8°-10°的间隙。在每瓣绝缘瓷内表面，为每一个收集极电极设置一个定位槽，以便将各级收集极电极依次定位于各自的设计位置。

(3)各级收集极电极引线从绝缘瓷中间引线孔引出，不仅增加了极与极之间、各极与地之间的绝缘性能，而且节省了空间；电极与绝缘瓷之间，绝缘瓷与外筒之间均用焊料焊接，增加了牢固性。

(4)在每瓣绝缘瓷对应于第一、二收集极之间交叠位置设置一个绝缘槽，以增强第一、二极之间的绝缘性能；在每瓣绝缘瓷对应于第二、三极之间交叠位置设置一个绝缘槽，以增强第二、三极之间的绝缘性能；在每瓣绝缘瓷对应于第三、四极之间交叠位置设置一个绝缘槽，以增强第三、四极之间的绝缘性能；在绝缘瓷瓣尾端(即靠近第四收集极)外表设置一圈竖槽，以增加从绝缘瓷瓣中间穿出的电极引线与收集极外筒之间的耐压，竖槽深度视收集极对地最大电压而定。

(5)在每个收集极电极外廓之外，设置各自的定位脊，它们与设置在绝缘陶瓷上的相应定位槽配合，使每个电极能够定位于它们预定的设计位置上。在定位脊中间刻一圈开放式焊料槽以便放置焊料，在绝缘陶瓷上相应定位槽表面进行金属化，这样可使绝缘瓷与电极之间牢固焊接。

(6)收集极各电极引线自绝缘瓷中间引线孔引出，最后一极直接引出，所有引线穿过收集极尾盖对应引线柱组件。尾部由一件尾盖、若干引线密封件和同等数量的引线绝缘瓷组成收集极尾盖组件，引线密封件和引线绝缘瓷的数量与收集极级数相同。

(7)利用适当模具将上述已经装配好的小型化引线内穿式多级降压收集极进行焊接并进行热挤压，最终形成引线内穿式小型化多级降压收集极成品。

附图说明

图1为根据本公开实施例引线内穿式多级降压收集极的剖视图。

图2a、图2b、图2c和图2d分别为图1所示引线内穿式多级降压收集极中收集极组件的第一收集极、第二收集极、第三收集极和第四收集极的剖视图。

图3为图1所示引线内穿式多级降压收集极中绝缘结构组件的示意图。

图4a、图4b、图4c和图4d分别为图1所示引线内穿式多级降压收集极中绝缘结构组件的第一绝缘瓷瓣、第二绝缘瓷瓣、第三绝缘瓷瓣和第四绝缘瓷瓣的示意图。

图5为图1所示引线内穿式多级降压收集极中的绝缘瓷瓣金属化的示意图。

图6a～图6d为图1所示引线内穿式多级降压收集极中收集极与相应的绝缘瓷瓣组装的示意图。

图7为图1所示引线内穿式多级降压收集极中组装好的集电极和绝缘瓷瓣的仰视图。

图8为图1所示多级降压收集极中的收集极组件热挤压装配图。

图9a为图1所示引线内穿式多级降压收集极中收集极引线瓷柱本体金属化的示意图。

图9b为图1所示引线内穿式多级降压收集极中收集极引线瓷柱组件的示意图。

图10为图1所示引线内穿式多级降压收集极中将引线柱组件和收集极尾盖本体进行焊接的示意图。

图11a和图11b分别为图1所示引线内穿式多级降压收集极中焊接后的收集极尾盖组件的底视图和剖视图。

【附图中本公开实施例主要元件符号说明】

100-收集极组件；

110-第一级收集极；

111-第一收集极本体；112-第一收集极入口；

113-第一收集极内腔；114-第一收集极定位脊；

115-第一收集极开放式焊料槽；116-第一电极引线。

120-第二级收集极；

121-第二收集极本体；122-第二收集极入口；

123-第二收集极内腔；124-第二收集极定位脊；

125-第二收集极开放式焊料槽；126-第二电极引线。

130-第三级收集极；

131-第三收集极本体；132-第三收集极入口；

133-第三收集极内腔；134-第三收集极定位脊；

135-第三收集极开放式焊料槽；136-第三电极引线；

137-第三收集极挡板；138-第三收集极尾部。

140-第四级收集极

141-第四收集极本体；142-第四收集极入口；

143-第四收集极内腔；144-第四收集极定位脊；

145-第四收集极开放式焊料槽；147-第四收集极尾盖；

146-第四电极引线。

200-绝缘结构组件；

210-第一绝缘瓷瓣；

211-第一收集极定位槽；212-第一、二收集极之间的绝缘槽；

213-第二收集极定位槽；214-第二、三收集极之间的绝缘槽；

215-第三收集极定位槽；216-第三、四收集极之间的绝缘槽；

217-第四收集极定位槽；218-第四收集极与外筒之间的绝缘槽；

219-绝缘竖槽；p1-第一电极引线孔。

220-第二绝缘瓷瓣；

221-第一收集极定位槽；222-第一、二收集极之间的绝缘槽；

223-第二收集极定位槽；224-第二、三收集极之间的绝缘槽；

225-第三收集极定位槽；226-第三、四收集极之间的绝缘槽；

227-第四收集极定位槽；228-第四收集极与外筒之间的绝缘槽；

229-绝缘竖槽；p2-第二电极引线孔。

230-第三绝缘瓷瓣；

231-第一收集极定位槽；232-第一、二收集极之间的绝缘槽；

233-第二收集极定位槽；234-第二、三收集极之间的绝缘槽；

235-第三收集极定位槽；236-第三、四收集极之间的绝缘槽；

237-第四收集极定位槽；238-第四收集极与外筒之间的绝缘槽；

239-绝缘竖槽；p3-第三电极引线孔。

240-第四绝缘瓷瓣；

241-第一收集极定位槽；242-第一、二收集极之间的绝缘槽；

243-第二收集极定位槽；244-第二、三收集极之间的绝缘槽；

245-第三收集极定位槽；246-第三、四收集极之间的绝缘槽；

247-第四收集极定位槽；248-第四收集极与外筒之间的绝缘槽；

249-绝缘竖槽。

300-外筒；

400-收集极尾盖组件；

410引线柱组件

411-引线瓷柱本体；412-引线柱焊接件；

413-引线柱焊接件；

a1-收集极尾盖组件垫块；a2-和收集极尾盖组件压块。

420-收集极尾盖本体

500-输出端盖组件。

具体实施方式

本公开通过将绝缘瓷设计为多瓣结构，降低了装配难度，进一步地，各级收集极电极引线从绝缘瓷瓣中间小孔引出，不仅增加了绝缘性能而且节省了空间，在相同收集极电极内径情况下最大限度减小收集极外径以实现小型化下的高效率。

为使本公开的目的、技术方案和优点更加清楚明白，以下结合具体实施例，并参照附图，对本公开进一步详细说明。

在本公开的一个示例性实施例中，提供了一种引线内穿式多级降压收集极。图1为根据本公开实施例引线内穿式多级降压收集极的剖视图。如图1所示，本实施例引线内穿式多级降压收集极包括：收集极组件100、绝缘结构组件200、外筒300、收集极尾盖组件400和输出端盖组件500。

其中，绝缘结构组件200包括：n瓣的绝缘瓷瓣，该n瓣的绝缘瓷瓣共同围成内筒结构，其内侧形成容置空间。收集极组件100包括：依次设置的m级收集极，固定于所述容置空间内。外筒300套设于所述内筒结构的外侧。尾盖组件400，盖设于所述外筒的尾端。输出端盖组件500，盖设于所述外筒的输出端。

以下分别对本实施例多级降压收集极的各个组成部分进行详细说明。

本实施例中，m＝4，即收集极组件100包括依次设置的4级收集极，分别为：第一级收集极110、第二级收集极120、第三级收集极130和第四级收集极140。

图2a为图1所示多级降压收集极中收集极组件的第一收集极的剖视图。如图1和图2a所示，该第一收集极110包括：第一收集极本体111，呈上端收拢的筒状；第一收集极入口112，位于所述第一收集极本体的上端；第一收集极内腔113，形成于所述第一收集极本体的内侧；第一收集极定位脊114，围绕于所述第一收集极本体的外侧设置；第一收集极开放式焊料槽115，由第一收集极定位脊的中间部位凹陷形成。在第一收集极开放式焊料槽115对应引线的位置开设引线孔。第一电极引线116通过焊料焊接在该引线孔内。

图2b为图1所示多级降压收集极中收集极组件的第二收集极的剖视图。如图1和图2b所示，该第二收集极120包括：第二收集极本体121，呈上端收拢的筒状；第二收集极入口122，位于所述第二收集极本体的上端；第二收集极内腔123，形成于所述第二收集极本体的内侧；第二收集极定位脊124，围绕于所述第二收集极本体的外侧设置；第二收集极开放式焊料槽125，由第二收集极定位脊的中间部位凹陷形成。在第二收集极开放式焊料槽125对应引线的位置开设引线孔。第二电极引线126，通过焊料焊接在该引线孔内。

图2c为图1所示多级降压收集极中收集极组件的第三收集极的剖视图。如图1和图2c所示，该第三收集极130包括：第三收集极本体131，呈上端收拢的筒状；第三收集极入口132，位于所述第三收集极本体的上端；第三收集极内腔133，形成于所述第三收集极本体的内侧；第三收集极定位脊134，围绕于所述第三收集极本体的外侧设置；第三收集极开放式焊料槽135，由第三收集极定位脊的中间部位凹陷形成；第三收集极挡板137，设置于所述第三收集极内腔的出口侧；第三收集极尾部138，形成于所述第三收集极挡板137的中部。

在第三收集极开放式焊料槽135对应引线的位置开设引线孔。第三电极引线136通过焊料焊接在该引线孔内。

图2d为图1所示多级降压收集极中收集极组件的第三收集极的剖视图。如图1和图2d所示，该第四收集极140包括：第四收集极本体141，呈上端收拢的筒状；第四收集极入口142，位于所述第四收集极本体的上端；第四收集极内腔143，形成于所述第四收集极本体的内侧；第四收集极定位脊144，围绕于所述第四收集极本体的外侧设置；第四收集极开放式焊料槽145，由第四收集极定位脊的中间部位凹陷形成；第四收集极尾盖147，设置于所述第四收集极内腔的出口侧；第四电极引线146，通过焊料焊接在第四收集极尾盖的外侧。

对于四级的收集极而言，均是采用车、铣等方法加工收集极本体、定位脊、开放式焊料槽、内腔等，机加工结束后，检测所获得结构各个尺寸参数是否满足设计要求，而后进行化学清洗以备用。

图3为图1所示多级降压收集极中绝缘结构组件的结构示意图，其视角方向为沿着多级降压收集极的轴向。如图3所示，本实施例中，n＝4，即绝缘结构组件200包括：4瓣的绝缘瓷瓣-第一绝缘瓷瓣210、第二绝缘瓷瓣220、第三绝缘瓷瓣230、第四绝缘瓷瓣240。该4瓣的绝缘瓷瓣呈圆周均布，围成内筒结构，其内侧形成容置空间。相邻的两绝缘瓷瓣之间有8°-10°的间隙。

本领域技术人员应当清楚，n和m的取值并不以此实施例为限。在本公开其他实施例中，n和m也可以取其他值，并且n也并非一定等于m。举例来说，在本公开另一实施例中，n＝3，m＝3。

此外，可以理解的是，在本公开其他实施例中，也可以是一部分的收集极的电极引线通过绝缘瓷中的电极引线孔连接至引线内穿式多级降压收集极的尾部。

请参照图3，在第一绝缘瓷瓣210内，与第一收集极对应的位置，具有供第一电极引线穿过的第一电极引线孔p1。在第二绝缘瓷瓣220内，与第二收集极对应的位置，具有供第二电极引线穿过的第二电极引线孔p2。在第三绝缘瓷瓣230内，与第三收集极对应的位置，具有供第三电极引线穿过的第三电极引线孔p3。

图4a为图1所示多级降压收集极中绝缘结构组件的第一绝缘瓷瓣的示意图。参见图3和图4a，第一绝缘瓷瓣210采用beo99％、al2o399％、aln或bn等材料制造，并在其上依次加工第一收集极定位槽211、第一、二收集极之间的绝缘槽212，第二收集极定位槽213，第二、三收集极之间的绝缘槽214，第三收集极定位槽215，第三、四收集极之间的绝缘槽216，第四收集极定位槽217。此外，在第四收集极与外筒之间的第一绝缘瓷瓣上，还设置有绝缘槽218。各收集极与外筒之间的第一绝缘瓷内，还设置有绝缘竖槽219。

请参照图3和图4a，在第一绝缘瓷瓣210内，与第一收集极对应的位置，具有供第一电极引线穿过的第一电极引线孔p1。

图4b为图1所示多级降压收集极中绝缘结构组件的第二绝缘瓷瓣的示意图。参见图3和图4b，采用beo99％、al2o399％、aln或bn等材料制造第二绝缘瓷瓣220，并在其上加工第一收集极定位槽221、第一、二收集极之间的绝缘槽222，第二收集极定位槽223，第二、三收集极之间的绝缘槽224，第三收集极定位槽225，第三、四收集极之间的绝缘槽226，第四收集极定位槽227，第四收集极与外筒之间的绝缘槽228。此外，在各收集极与外筒之间的第一绝缘瓷内，还设置绝缘竖槽229。

请参照图3和图4b，在第二绝缘瓷瓣220内，与第二收集极对应的位置，具有供第二电极引线穿过的第二电极引线孔p2。

图4c为图1所示多级降压收集极中绝缘结构组件的第三绝缘瓷瓣的示意图，其视角方向为沿垂直于多级降压收集极的轴向。参见图3和图4c，采用beo99％、al2o399％、aln或bn等材料制造第三绝缘瓷瓣230，并在其上加工第一收集极定位槽231；第一、二收集极之间的绝缘槽232；第二收集极定位槽233；第二、三收集极之间的绝缘槽234；第三收集极定位槽235；第三、四收集极之间的绝缘槽236；第四收集极定位槽237；第四收集极与外筒之间的绝缘槽238。此外，各收集极与外筒之间的第三绝缘瓷瓣内还设置有绝缘竖槽239和第三电极引线孔p3。

请参照图3和图4c，在第三绝缘瓷瓣230内，与第三收集极对应的位置，具有供第三电极引线穿过的第三电极引线孔p3。

图4d为图1所示多级降压收集极中绝缘结构组件的第四绝缘瓷瓣的示意图，其视角方向为沿垂直于多级降压收集极的轴向。参见图3和图4d，采用beo99％、al2o399％、aln或bn等材料制造第四绝缘瓷瓣240，并在其上加工第一收集极定位槽241；第一、二收集极之间的绝缘槽242；第二收集极定位槽243；第二、三收集极之间的绝缘槽244；第三收集极定位槽245；第三、四收集极之间的绝缘槽246；第四收集极定位槽247；第四收集极与外筒之间的绝缘槽248；各极与外筒之间的绝缘竖槽249。

请参照图4a～图4d，在第一绝缘瓷瓣210、第二绝缘瓷瓣220、第三绝缘瓷瓣230、第四绝缘瓷瓣240中，第一收集极定位槽211、221、231、241距端面位置和宽度相同，第一、二收集极之间的绝缘槽212、222、232、242距端面位置和宽度相同，第二收集极定位槽213、223、233、243距端面位置和宽度相同，第二、三收集极之间的绝缘槽214、224、234、244距端面位置和宽度相同，第三收集极定位槽215、225、235、245距端面位置和宽度相同，第三、四收集极之间的绝缘槽216、226、236、246距端面位置和宽度相同，第四收集极定位槽217、227、237、247距端面位置和宽度相同，第四收集极与外筒之间的绝缘槽218、228、238、248距端面位置和宽度相同，各极与外筒之间的绝缘竖槽219、229、239、249相同。唯一不同的是第一电极引线孔p1、第二电极引线孔p2、第三电极引线孔p3不同，第一绝缘瓷瓣210沿引线孔竖槽开至第一收集极定位槽211处，以此类推第二绝缘瓷瓣220开至第二收集极定位槽223处，第三绝缘瓷瓣230开至第三收集极定位槽235处。第四绝缘瓷瓣240无引线孔。

在制作各个收集极时，将第一、二、三、四电极引线分别插入第一、二、三、四收集极相应的引线孔，并紧贴各自的引线孔外侧放置一圈aucu焊料圈，焊料圈由φ0.2mm的焊料丝制作，其内半径以能为引线穿过为准。第一收集极110、第二收集极120、第三收集极130相应的引线孔的位置可参见图1、图2a～图2c、图3和图4a～图4c。将插入各自引线并在相应位置放置焊料丝的第一收集极110、第二收集极120、第三收集极130、第四收集极140置入氢炉或真空炉中进行焊接，从而把引线焊接到收集极上。焊接技术为公知技术，此处不再赘述。

参见图5，将第一绝缘瓷瓣210、第二绝缘瓷瓣220、第三绝缘瓷瓣230、第四绝缘瓷瓣240中各收集极定位槽金属化。将绝缘瓷瓣与外筒接触面金属化，金属化技术为公知技术。

参见图6a～图6d，将已定型好的焊料环放入各个开放式焊料槽内，并固定好。取第一绝缘瓷瓣、第二绝缘瓷瓣、第三绝缘瓷瓣、第四绝缘瓷瓣各一件，依次将第一电极引线116从第一绝缘瓷瓣的第一电极引线孔p1中穿出，如图6a所示；第二电极引线126从第二绝缘瓷瓣的第二电极引线孔p2中穿出，如图6b所示；第三电极引线136从第三绝缘瓷瓣的第三电极引线孔p3中穿出，如图6c所示；第四电极引线146焊接在第四收集极尾盖的外侧，向下伸出，如图6d所示。

而后，逆时针将各集电极和绝缘瓷瓣组装好，图7为组装好的集电极和绝缘瓷瓣的仰视图。请参照图7，第一电极引线116、第二电极引线126、第三电极引线136分别通过第一电极引线孔p1、第二电极引线孔p2和第三电极引线孔p3引入至收集极组件的底部。而第四电极引线146直接伸向收集极组件的底部。

参见图8，在绝缘结构组件200外侧金属化部位放置焊料皮，将整个组件放入外筒300，作为热挤压组件。测量第一电极入口距外筒边缘距离并调整至满足要求，将组装好的热挤压组件放入第二热挤压模具上，将具有较高硬度和热膨胀系数的钢、不锈钢等材料制造的六瓣热挤压收集极内模(第三热挤压模具)紧贴外筒300放置，将热膨胀系数较低的钼制造的收集极热挤压外筒(第一热挤压模具)套入六瓣内模外。然后将整个组装好的热挤压组件和热挤压模具放入氢炉或真空炉中进行焊接。焊接技术为公知技术，此处不再赘述。

采用4j29、4j33或4j34等材料之一，采用铣结合车制的工艺加工收集极尾盖本体420、引线瓷柱上封接件412和引线瓷柱下封接件413，检验尺寸合格后，进行化学清洗，表层镀镍3～5μm，备用。

将收集极的引线瓷柱本体411的外侧金属化，金属化技术为公知技术，如图9a所示。金属化后的引线瓷柱411与引线瓷柱上封接件412和引线瓷柱下封接件413在金属化部位放置一圈ag或au焊料丝，利用相关模具放入氢炉或真空炉中进行焊接，所得到的引线柱组件410如图9b所示。所获得的引线柱组件410须经过气密检验。获得满足气密要求的成品备用。

参见图10，将四个引线柱组件410放入收集极尾盖本体420的相应槽内，在引线柱组件410与收集极尾盖本体420连接处分别放置4-φ0.4的agcu或aucu焊料丝，利用相应模具(收集极尾盖组件垫块a1和收集极尾盖组件压块a2)装配并于真空炉或氢炉内焊接，焊接技术为公知技术，制成收集极尾盖组件400。图11a和图11b分别为图1所示引线内穿式多级降压收集极中焊接后的收集极尾盖组件的底视图和剖视图。

将焊接后的收集极热挤压组件(包括：收集极组件100、绝缘结构组件200、外筒300)各极引线一次穿入收集极尾盖引线柱内，在焊缝处固定好一圈agcu/aucu焊料丝，将输出端盖插入收集极外筒内，并在焊缝处固定一圈agcu/aucu焊料丝，将固定好焊料的组件方在模具上，并用收集极尾盖组件压块压好。焊接后的收集极组件如图1所示。

此外，输出端盖组件500是本领域通常的设计，并且不同的收集极也对输出端盖组件有特别的要求，本领域技术人员都能够知晓如何设计，此处不再赘述。

至此，已经结合附图对本公开实施例进行了详细描述。需要说明的是，在附图或说明书正文中，未绘示或描述的实现方式，均为所属技术领域中普通技术人员所知的形式，并未进行详细说明。此外，上述对各元件和方法的定义并不仅限于实施例中提到的各种具体结构、形状或方式，本领域普通技术人员可对其进行简单地更改或替换。

依据以上描述，本领域技术人员应当对本公开引线内穿式多级降压收集极有了清楚的认识。

综上所述，本公开提供一种用于行波管等电真空器件的小型化轻重量的引线内穿式多级降压收集极，其特点是：采用本发明提出的引线内穿式小型化、轻重量多级降压收集极的行波管等电真空器件可以实现小型化和轻重量，能够满足微波功率模块对行波管等电真空器件小型化及集成化的应用需求，具有较强的推广应用前景。

还需要说明的是，实施例中提到的方向用语，例如“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”等，仅是参考附图的方向，并非用来限制本公开的保护范围。贯穿附图，相同的元素由相同或相近的附图标记来表示。在可能导致对本公开的理解造成混淆时，将省略常规结构或构造。

并且图中各部件的形状和尺寸不反映真实大小和比例，而仅示意本公开实施例的内容。另外，在权利要求中，不应将位于括号之间的任何参考符号构造成对权利要求的限制。

除非有所知名为相反之意，本说明书及所附权利要求中的数值参数是近似值，能够根据通过本公开的内容所得的所需特性改变。具体而言，所有使用于说明书及权利要求中表示组成的含量、反应条件等等的数字，应理解为在所有情况中是受到「约」的用语所修饰。一般情况下，其表达的含义是指包含由特定数量在一些实施例中±10％的变化、在一些实施例中±5％的变化、在一些实施例中±1％的变化、在一些实施例中±0.5％的变化。

再者，单词“包含”不排除存在未列在权利要求中的元件或步骤。位于元件之前的单词“一”或“一个”不排除存在多个这样的元件。

说明书与权利要求中所使用的序数例如“第一”、“第二”、“第三”等的用词，以修饰相应的元件，其本身并不意含及代表该元件有任何的序数，也不代表某一元件与另一元件的顺序、或是制造方法上的顺序，该些序数的使用仅用来使具有某命名的一元件得以和另一具有相同命名的元件能做出清楚区分。

以上所述的具体实施例，对本公开的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本公开的具体实施例而已，并不用于限制本公开，凡在本公开的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本公开的保护范围之内。