一种用于高压IGBT芯片的厚片双面划片方法与流程

本发明属于igbt芯片技术领域，涉及高压igbt芯片的加工，尤其是一种用于高压igbt芯片的厚片双面划片方法。

背景技术：

igbt(绝缘栅双极晶体管)具有高频率、高电压、大电流、易于驱动、功耗低的特性，是目前电力电子技术中最最重要的高压、大功率开关器件，主要应用于轨道牵引、电机控制、不间断电源、焊接设备、电能转换等领域。

igbt芯片制造的最后一个环节是划片，就是将晶圆切割成单个的芯片，通常是使用划片机利用旋转的切割刀片进行划片，要求划片后芯片边缘数量越少越好，崩边大小小于10微米。

常规的划片方法是切割刀片一次切割透，主要针对的晶圆厚度为中等以下的厚度，而对于6500v以上的igbt芯片，晶圆厚度通常在600微米以上，不适合现有工艺，会出现划片崩边较大、数量较多的现象。

对于6500v以上的高压igbt芯片，常规划片的过程中，常常出现划片崩边较大。崩边数量多的现象，造成芯片的电特性下降，甚至不合格，导致igbt芯片的可靠性及经济效益降低。

半导体晶圆划片还可以采用激光划片的方式进行划片，其特点是不受晶圆厚度的限制，且划片边缘几乎无崩边。激光划片由于采用高能激光进行划片，所以设备价格较高，且设备故障率较高，影响生产，同时激光划片的效率低，不适合规模生产。

技术实现要素：

本发明的目的在于克服上述现有技术的缺点，提供一种用于高压igbt芯片的厚片双面划片方法。

本发明的目的是通过以下技术方案来实现的：

这种用于高压igbt芯片的厚片双面划片方法，包括以下步骤：

步骤一、从晶圆的正面进行位置对准，进行第一次划片，速度为；

步骤二、完成第一次划片后，在晶圆的边缘再次切割，切割深度为划透整个晶圆，作为背面划片时的对位标记；

步骤三、背面划片，根据步骤二做好的对位标记进行对位及划片；划片深度为晶圆总厚度减去第一次划片的深度再加余量，最后完成双面划片。

进一步，以上步骤一中，将先将晶圆正面向上贴于蓝膜上，根据芯片图形进行划道对准，进行第一次划片。

进一步，以上步骤一中，划片的深度为100～200μm。

进一步，以上步骤二中，在晶圆的边缘再次切割的切割长度为2～3mm。

进一步，以上步骤三中，余量为50μm。

进一步，以上步骤三中，首先将正面划过的晶圆从蓝膜上去下，将背面向上重新进行贴蓝膜，然后进行背面划片操作。

本发明具有以下有益效果：

本发明采用双面划片技术相比较于传统的单面划片技术可以有效的减少芯片划片后的崩边的数量和大小，因此可以减少因崩边引起的芯片性能下降及不合格品的数量，提高了产品合格率和经济效益。

附图说明

图1为本发明的晶圆正面第一次划片示意图；

图2为本发明做背面划片的对位标记示意图；

图3为本发明的背面划片示意图；

图4为晶圆1贴在蓝膜2上的示意图；

图5为本发明实施例的步骤2)的示意图，其中(a)为正视图，(b)为侧视图；

图6为本发明实施例的步骤3)的示意图，其中(a)为正视图，(b)为侧视图；

图7为本发明实施例的步骤5)的示意图，其中(a)为正视图，(b)为侧视图。

具体实施方式

下面结合附图对本发明做进一步详细描述：

本发明用于高压igbt芯片的厚片双面划片方法包括以下步骤：

步骤一：如图1所示，由于芯片的图形都在晶圆1的正面，因此划片是要从晶圆正面进行位置对准，进行第一次划片，划片的深度为100～200μm，推荐速度约为1mm/s。

步骤二：如图2所示，完成第一次划片后，在晶圆1的边缘再次切割，切割深度为划透整个晶圆，长度为2～3mm，作为背面划片时的对位标记，因为晶圆最外围一圈是没有完整芯片的，因此此处因划透而产生的崩边是不会影响到好的芯片的。

步骤三：背面划片，如图3所示，根据前步做好的对位标记进行对位及划片，划片深度为晶圆总厚度减去第一次划片的深度再加上一定的余量，比如50μm，例如：晶圆厚600μm，第一次划片深度200μm，责背面划片深度越为600-200+50＝450μm。

以下结合附图给出本发明的其中一种具体实施例：

实施例

本实施例包括以下步骤：

1)将晶圆1正面向上贴于蓝膜2上(如图4所示)；

2)根据芯片图形，进行划道对准，进行第一次划片，划片深度100～200微米(如图5所示)；

3)在晶圆1的边缘制作对位标记，将边缘2～3mm处切割透，使得背面可以看到边缘的切割后的痕迹(如图6所示)；

4)将正面划过的晶圆1从蓝2上去下，将背面向上重新进行贴蓝膜；

5)背面划片，根据正面划片时在晶圆边缘制作的对位标记进行对位，将晶圆切割成分离的芯片(如图7所示)。

技术特征：

技术总结
本发明公开了一种用于高压IGBT芯片的厚片双面划片方法，其首先从晶圆的正面进行位置对准，进行第一次划片；完成第一次划片后，在晶圆的边缘再次切割，切割深度为划透整个晶圆，作为背面划片时的对位标记；根据步骤二做好的对位标记进行对位及划片；划片深度为晶圆总厚度减去第一次划片的深度再加余量，最后完成双面划片。本发明采用双面划片技术相比较于传统的单面划片技术可以有效的减少芯片划片后的崩边的数量和大小，因此可以减少因崩边引起的芯片性能下降及不合格品的数量，提高了产品合格率和经济效益。

技术研发人员：冯科;杨晓菲;王昭;曹琳;王豹子
受保护的技术使用者：西安中车永电电气有限公司
技术研发日：2017.06.30
技术公布日：2019.01.15