阵列基板及其制作方法和显示面板与流程

文档序号:13140063阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明公开了一种阵列基板及其制作方法和显示面板。阵列基板包括多个薄膜晶体管,薄膜晶体管包括:有源层,有源层包括主体区域和边缘区域;绝缘层,设置于有源层一侧;栅极金属层,设置于绝缘层远离有源层一侧;其中,在垂直于有源层所在平面的第一方向上,边缘区域距离栅极金属层的高度大于主体区域距离栅极金属层的高度。本发明提供的阵列基板及其制作方法和显示面板,避免了薄膜晶体管有源层边缘区域优先开启而产生驼峰效应,提高了阵列基板的可靠性。

技术研发人员:朱在稳;邬可荣;袁永;陈红明
受保护的技术使用者:武汉天马微电子有限公司
技术研发日:2017.07.27
技术公布日:2017.12.08
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