一种阵列基板、其制作方法及显示装置与流程

本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种阵列基板、其制作方法及显示装置。

背景技术：

有机发光二极管(organiclightemittingdisplay,oled)显示面板按照驱动方式可以分为无源矩阵型oled(passivematrixoled,pmoled)显示面板和有源矩阵型oled(activematrixoled,amoled)显示面板两大类。其中，amoled显示面板具有呈阵列式排布的像素单元，属于主动显示类型，具有发光效能高、对比度高、视角宽、响应速度快、可制作大尺寸可挠性面板等诸多优点，在平板显示领域受到科学家和产业界的广泛重视，成为了新一代平板显示的研究热点。

在amoled显示面板的生产过程中，需要在一个晶体管上形成另一晶体管的有源层时，会涉及到形成有源层的多步温度在300℃-500℃之间的退火(aneal)及后烘(oven)等高温处理工艺。

技术实现要素：

发明人发现，在amoled显示面板的生产过程中对膜层进行高温处理环节时，在形成靠近衬底设置的晶体管的层间介质层(interlayerdielectric，ild)时产生的氢可能会进入远离衬底设置的晶体管的有源层中，使得有源层的电性能发生变化，甚至会导致有源层从半导体变为导体，进而影响在上设置的晶体管的特性。有鉴于此，本发明实施例提供一种阵列基板、其制作方法及显示装置，用以解决现有技术中存在的，在形成靠近衬底的晶体管的层间介质层的过程中产生的氢影响在远离衬底设置的晶体管的特性的问题。

因此，本发明实施例提供的一种阵列基板，包括：衬底基板，设置于所述衬底基板上的第一晶体管和第二晶体管；

所述第二晶体管的有源层设置于所述第一晶体管的层间介质层背离所述衬底基板的一侧；

所述第一晶体管的层间介质层与所述第二晶体管的有源层之间设置有绝缘层，所述绝缘层具有阻挡氢的能力。

在一种可能的实现方式中，在本发明实施例提供的上述阵列基板中，所述第一晶体管的有源层的材料为低温多晶硅；所述第二晶体管的有源层的材料为氧化物。

在一种可能的实现方式中，在本发明实施例提供的上述阵列基板中，所述绝缘层的材料为氧化铝、掺铈氧化铝、掺镧氧化铝、掺铈氧化硅、掺镧氧化硅之一或组合。

在一种可能的实现方式中，在本发明实施例提供的上述阵列基板中，所述绝缘层的厚度为

在一种可能的实现方式中，在本发明实施例提供的上述阵列基板中，所述掺铈氧化铝、所述掺镧氧化铝、所述掺铈氧化硅和所述掺镧氧化硅中所掺杂铈或镧的质量分数为0.05％-5％。

在一种可能的实现方式中，在本发明实施例提供的上述阵列基板中，还包括：设置于所述绝缘层面向所述第二晶体管的有源层一侧的氧化硅层。

在一种可能的实现方式中，在本发明实施例提供的上述阵列基板中，还包括：设置于所述绝缘层与所述氧化硅层之间的氮化硅层。

在一种可能的实现方式中，在本发明实施例提供的上述阵列基板中，所述第一晶体管的源漏极位于所述第一晶体管的层间介质层与所述绝缘层之间。

在一种可能的实现方式中，在本发明实施例提供的上述阵列基板中，所述第二晶体管的栅极与所述第一晶体管的源漏极同层设置。

本发明实施例还提供了一种显示装置，包括上述阵列基板。

本发明实施例还提供了一种阵列基板的制作方法，包括：

提供一衬底基板；

在所述衬底基板上形成第一晶体管的层间介质层；

在所述第一晶体管的层间介质层上形成具有阻氢作用的绝缘层；

在所述绝缘层上形成所述第二晶体管的有源层。

在一种可能的实现方式中，在本发明实施例提供的上述制作方法中，在所述衬底基板上形成第一晶体管的层间介质层之前，还包括：在所述衬底基板上依次形成所述第一晶体管的有源层、栅极绝缘层和栅极。

在一种可能的实现方式中，在本发明实施例提供的上述制作方法中，在所述衬底基板上形成第一晶体管的层间介质层之后，且在所述第一晶体管的层间介质层上形成具有阻氢作用的绝缘层之前，还包括：采用一次构图工艺在所述层间介质层上同时形成所述第一晶体管的源漏极与所述第二晶体管的栅极。

本发明有益效果如下：

本发明实施例提供的阵列基板、其制作方法及显示装置，包括：第一晶体管和第二晶体管；第二晶体管的有源层设置于第一晶体管的层间介质层背离衬底基板的一侧；第一晶体管的层间介质层与第二晶体管的有源层之间设置有绝缘层，绝缘层具有阻挡氢的能力。由于绝缘层位于第一晶体管的层间介质层与第二晶体管的有源层之间，并且具有阻挡氢的能力，因此，有效避免了在形成第一晶体管的层间介质层的过程中产生的氢扩散至第二晶体管的有源层，导致第二晶体管性能下降的现象。

附图说明

图1为本发明实施例提供的阵列基板的结构示意图；

图2为本发明实施例提供的阵列基板的制作方法流程图。

具体实施方式

下面结合附图，对本发明实施例提供的阵列基板、其制作方法及显示装置的具体实施方式进行详细的说明。需要说明的是，本文所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

附图中各膜层的形状和大小不反映阵列基板的真实比例，目的只是示意说明本发明内容。

本发明实施例提供的一种阵列基板，如图1所示，包括：衬底基板101、设置于衬底基板101上的第一晶体管和第二晶体管；

第二晶体管的有源层102设置于第一晶体管的层间介质层103背离衬底基板101的一侧；

第一晶体管的层间介质层103与第二晶体管的有源层102之间设置有绝缘层104，绝缘层104具有阻挡氢的能力。

具体地，在本发明实施例提供的上述阵列基板中，第一晶体管的层间介质层103一般由氮化硅层和氧化硅层构成。就形成氮化硅层的原料气体而言，作为氮源气体，可使用nh3、nh2h2n、n2等，优选nh3；作为硅源气体，可使用sih4、si2h6、sicl4、sihcl3、sih2cl2、sih3cl3、sif4等，优选sih4，因此，在形成氮化硅层的过程中会产生较多的氢；而具有阻氢作用的绝缘层104位于第一晶体管的层间介质层103与第二晶体管的有源层102之间，因此，采用绝缘层104可有效避免在形成第一晶体管的层间介质层103的过程中产生的氢扩散至第二晶体管的有源层102，导致第二晶体管性能下降的现象。

低温多晶硅技术(lowtemperaturepoly-silicon，ltps)和氧化物技术(oxide)因其自身的优点分别被用于开发amoled显示面板。具体地，低温多晶硅晶体管有助于实现amoled显示面板的高分辨率、低功耗、高画质等性能；金属氧化物晶体管具有较高的迁移率、薄膜均匀性好、工艺温度低、关态电流(ioff)小等优点，且与非晶硅晶体管的制作工艺过程相兼容，有利于降低amoled显示面板的开发成本。

有鉴于此，在本发明实施例提供的上述阵列基板中，第一晶体管的有源层105的材料优选为低温多晶硅；第二晶体管的有源层102的材料优选为氧化物，具体地，第二晶体管的有源层102的材料可以为in-ga-zn-o、in-ga-o、ga-zn-o、in-hf-zn-o、in-sn-zn-o、in-sn-o、in-zn-o、zn-sn-o和in-al-zn-o中的一种或几种。

在具体实施时，在本发明实施例提供的上述阵列基板中，绝缘层104的材料可以为氧化铝、掺铈氧化铝、掺镧氧化铝、掺铈氧化硅、掺镧氧化硅之一或任意组合，在此不做具体限定。

具体地，因为稀土元素与氢具有较强的化学亲合力可大量吸附和溶解氢,所以当在氧化铝或氧化硅中掺杂的稀土元素与形成第一晶体管的层间介质层103的过程中产生的氢原子相遇时，能迅速形成稳定的氢化物，从而可阻挡氢向第二晶体管的有源层102的扩散。进一步地，这些氢化物熔点较高、比重较大即不轻易扩散,可作为微小质点弥散分布于基体中，并不会影响其他膜层的性质。

进一步地，因稀土元素铈在150℃-300℃时可迅速与氢结合，生成分解温度在1000℃以上的二氢或三氢化物；稀土元素镧在100℃时可迅速与氢结合，生成分解温度在700℃以上的二氢或三氢化物，铈和镧的氢化物在后续温度300℃-500℃的高温处理工艺过程中不会分解，从而可以较好的阻止在形成第一晶体管的层间介质层103的过程中产生的氢扩散至第二晶体管的有源层102，因此，较佳地，可以选择稀土元素铈或稀土元素镧进行掺杂。

此外，氧化铝本身较致密，也可以在一定程度上阻挡在形成第一晶体管的层间介质层103过程中产生的氢扩散至第二晶体管的有源层102。并且，一般晶体管多采用氧化硅层作为栅绝缘层，在本发明实施例中以氧化硅为膜层基底，不会影响第二晶体管的栅绝缘层(gi)的介电常数。

进一步地，在本发明实施例提供的上述阵列基板中，掺铈氧化铝、掺镧氧化铝、掺铈氧化硅和掺镧氧化硅中所掺杂铈或镧的质量分数可以为0.05％-5％。在具体实施时，可根据采用不同设备、不同工艺条件形成第一晶体管的层间介质层103过程中的产氢量，设计所掺杂铈或镧的多少。一般地，产氢越多，所需掺杂铈或镧越多；产氢越少，所需掺杂铈或镧越少。

在具体实施时，在本发明实施例提供的上述阵列基板中，绝缘层104的厚度可以为当然，在具体实施时，还可根据实际需要设置绝缘层的厚度，在此不做具体限定。

在具体实施时，绝缘层104中掺杂的铈或镧离子在将氢完全结合后，若仍有游离的铈或镧，则这些游离的铈或镧可能会进入第二晶体管的有源层102，于是为了阻挡掺杂的铈或镧进入第二晶体管的有源层102，在本发明实施例提供的上述阵列基板中，还可以包括：设置于绝缘层104面向第二晶体管的有源层102一侧的氧化硅层106。并且，氧化硅层106的厚度可以为

具体地，为了进一步阻挡掺杂的铈或镧进入第二晶体管的有源层102，在本发明实施例提供的上述阵列基板中，还可以包括：设置于绝缘层104与氧化硅层106之间的氮化硅层107；且氮化硅层107的厚度可以为此外，氮化硅层107亦可设置于第一晶体管的层间介质层103所在层与绝缘层104之间，在此不做限定。

在具体实施时，在本发明实施例提供的上述阵列基板中，如图1所示，第一晶体管的源漏极108具体可以位于第一晶体管的层间介质层103与绝缘层104之间。

在具体实施时，为了简化制作工艺，在本发明实施例提供的上述阵列基板中，如图1所示，第二晶体管的栅极109可以与第一晶体管的源漏极108同层设置。并且，上述设置于第二晶体管的栅极109所在层与第二晶体管的有源层102之间的绝缘层104、氮化硅层107、氧化硅层106三者可以共同复用为第二晶体管的栅绝缘层。

进一步地，如图1所示，在本发明实施例提供的上述阵列基板中，第一晶体管还可以包括：设置于衬底基板101与第一晶体管的层间介质层103之间的有源层109、栅极绝缘层110和栅极111，其中，第一晶体管的源漏极108通过贯穿第一晶体管的层间介质层103和栅绝缘层110的过孔与有源层109导通连接；第二晶体管还可以包括：位于第二晶体管的有源层102背离衬底基板101一侧表面上的源漏极(图中未示出)。

值得注意的是，在本发明实施例提供的上述阵列基板中，第一晶体管和第二晶体管均可以为底栅型晶体管或顶栅型晶体管，在此不做限定。并且，在第一晶体管和第二晶体管位于阵列基板的显示区域时，二者均可以根据实际需要设置为驱动晶体管或开关晶体管，在此亦不做限定。

相应地，本发明实施例提供了一种阵列基板的制作方法，由于该制作方法解决问题的原理与上述阵列基板解决问题的原理相似，因此，本发明实施例提供的该制作方法的实施可以参见本发明实施例提供的上述阵列基板的实施，重复之处不再赘述。

具体地，本发明实施例提供的一种阵列基板的制作方法，如图2所示，具体可以包括以下步骤：

s201、提供一衬底基板；

s202、在衬底基板上形成第一晶体管的层间介质层；

s203、在第一晶体管的层间介质层上形成具有阻氢作用的绝缘层；

s204、在绝缘层上形成第二晶体管的有源层。

在具体实施时，在本发明实施例提供的上述制作方法中，在执行步骤s202在衬底基板上形成第一晶体管的层间介质层之前，一般还需要执行以下步骤：在衬底基板上依次形成第一晶体管的有源层、栅极绝缘层和栅极。

在具体实施时，为简化制作工艺，还可以设置第一晶体管的源漏极与第二晶体管的栅极同层，也就是说，在本发明实施例提供的上述制作方法中，在执行步骤s202在衬底基板上形成第一晶体管的层间介质层之后，且在执行步骤s203在第一晶体管的层间介质层上形成具有阻氢作用的绝缘层之前，还可以执行以下步骤：采用一次构图工艺在层间介质层上同时形成第一晶体管的源漏极与第二晶体管的栅极。

在具体实施时，为了防止绝缘层中掺杂的铈或镧等稀土离子扩散入第二晶体管的有源层，在本发明实施例提供的上述制作方法中，在执行步骤s203在第一晶体管的层间介质层上形成具有阻氢作用的绝缘层之后，且在执行步骤s204在绝缘层上形成第二晶体管的有源层之前，还可以执行以下步骤：在绝缘层上依次形成氮化硅层和氧化硅层。

在具体实施时，在本发明实施例提供的上述制作方法中，第一晶体管的有源层的材料为低温多晶硅；第二晶体管的有源层的材料为氧化物。

进一步地，在本发明实施例提供的上述制作方法中，在第二晶体管的有源层的材料为氧化物时，步骤s204在绝缘层上形成第二晶体管的有源层，具体可以通过以下方式进行实现：

在绝缘层上依次沉积氧化物半导体层和光刻胶层；

对光刻胶层进行曝光，形成曝光后的光刻胶图形；

对曝光后的光刻胶图形进行显影，以暴露出氧化物半导体层；

将暴露出的氧化物半导体层在300℃-500℃的条件下高温处理0.5h-1h；

对高温处理后的氧化物半导体层进行刻蚀，并去除未曝光光刻胶图形，以形成第二晶体管的有源层。

一般地，在本发明实施例提供的上述制作方法中，在执行步骤s204在绝缘层上形成第二晶体管的有源层之后，还包括以下步骤：

通过构图工艺在第二晶体管的有源层上形成第二晶体管的源漏极。

可以理解的是，在对氧化物半导体层进行高温处理时，由于绝缘层104的存在，其具有阻挡氢的能力，能够与氢结合，防止氧化物半导体层受到影响，保证晶体管器件的性能。

需要说明的是，在本发明实施例提供的上述制作方法中，形成各膜层结构涉及到的构图工艺，不仅可以包括沉积、光刻胶涂覆、掩模板掩模、曝光、显影、刻蚀、光刻胶剥离等部分或全部的工艺过程，还可以包括其他工艺过程，具体以实际制作过程中形成所需构图的图形为准，在此不做限定。例如，在显影之后和刻蚀之前还可以包括后烘工艺。

其中，沉积工艺可以为化学气相沉积法、热气相沉积法、等离子体增强化学气相沉积法或物理气相沉积法，在此不做限定；掩膜工艺中所用的掩膜板可以为半色调掩膜板、单缝衍射掩模板或灰色调掩模板，在此不做限定；刻蚀可以为干法刻蚀或者湿法刻蚀，在此不做限定。

基于同一发明构思，本发明实施例还提供了一种显示装置，包括本发明实施例提供的上述阵列基板，该显示装置可以为：手机、平板电脑、电视机、显示器、笔记本电脑、数码相框、导航仪、智能手表、健身腕带、个人数字助理等任何具有显示功能的产品或部件。该显示装置的实施可以参见上述阵列基板的实施例，重复之处不再赘述。

本发明实施例提供的上述阵列基板、其制作方法及显示装置，包括：第一晶体管和第二晶体管；第二晶体管的有源层设置于第一晶体管的层间介质层背离衬底基板的一侧；第一晶体管的层间介质层与第二晶体管的有源层之间设置有绝缘层，绝缘层具有阻挡氢的能力。由于绝缘层位于第一晶体管的层间介质层与第二晶体管的有源层之间，并且具有阻挡氢的能力，因此，有效避免了在形成第一晶体管的层间介质层过程中产生的氢扩散至第二晶体管的有源层，导致第二晶体管性能下降的现象。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二之类的关系术语仅仅用来将一个实体或操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。

显然，本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。