技术特征：
技术总结
本文提供了光学传感器器件及制造光学传感器器件的方法。一种光学传感器器件包括：包括用于将电磁信号转换为光生电荷载流子的转换区域的半导体衬底；被配置为读出光生电荷载流子的第一部分的读出节点；形成在延伸到半导体衬底中的沟槽中的控制电极；以及在半导体衬底中的掺杂区域，其中掺杂区域邻近于沟槽，并且其中掺杂区域的掺杂类型不同于读出节点，其中掺杂区域的掺杂浓度使得掺杂区在操作期间保持耗尽。
技术研发人员：R·罗斯勒;H·菲克;M·弗兰克;D·奥芬贝格;S·帕拉斯坎德拉;J·普里玛
受保护的技术使用者：英飞凌科技股份有限公司;PMD科技股份有限公司
技术研发日：2017.10.13
技术公布日：2018.04.24