柔性显示面板及其制造方法、柔性显示装置与流程

本发明涉及终端显示领域，特别是涉及一种柔性显示面板及其制造方法、柔性显示装置。

背景技术：

柔性显示面板是采用柔性材料制成的任意弯曲变形的显示面板，由于其重量轻、体积小、薄型化，携带方便；耐高低温、耐冲击、抗震能力更强，能适应不同的工作环境；可卷曲，外形更具有艺术设计的美感等优点，近年来成为国内外高校和研究机构研究的热点。现有的柔性显示装置通常采用柔性材料作为衬底，比如包括聚酰亚胺，由于柔性衬底的可弯折性，加上制作在柔性衬底上的有机发光器件，以及在有机发光器件上作为阻水阻氧的薄膜封装层，通过这些层叠结构制得的柔性显示屏能够实现很好的弯折，从而实现显示屏的可弯折功能。

但是，发光单元中的阳极层主要采用氧化铟锡材料，由于氧化铟锡材料本身较脆及柔韧性差，所以在柔性显示装置弯折过程中易发生断裂，造成阳极层线路断裂，柔性显示画面出现异常等不良。

因此，有必要对现有技术的柔性显示面板进行改进以提高使用稳定性和延长使用寿命。

技术实现要素：

因此，本发明的目的在于提供一种柔性显示面板及其制造方法、柔性显示装置，能够有效提高柔性显示面板的使用稳定性，并延长柔性显示面板的使用寿命。

为解决上述技术问题，本发明采用的一个技术方案是：提供一种柔性显示面板，所述柔性显示面板包括器件层，形成在所述器件层上的有机平坦层，以及形成在所述平坦层上的发光单元，所述有机平坦层与所述发光单元的阳极层相邻接触；其中，所述有机平坦化层上包括至少一个第一连接孔以及至少一个第二连接孔；所述器件层的输出端通过所述第一连接孔与所述阳极层连接；所述第二连接孔的深度小于所述有机平坦层的厚度，所述发光单元的阳极层还通过所述第二连接孔与所述有机平坦层连接。

为解决上述技术问题，本发明采用的另一个技术方案是：提供一种显示装置，包括上述任意一种的柔性显示面板。

为解决上述技术问题，本发明采用的另一个技术方案是：提供一种柔性显示面板的制作方法，所述制作方法包括：制备器件层；在所述器件层上形成有机平坦层，并在所述有机平坦化层上形成至少一个第一连接孔以及至少一个第二连接孔，所述第二连接孔的深度小于所述有机平坦层的厚度；在所述有机平坦层生形成发光单元，其中，发光单元的阳极层通过所述第二连接孔与所述有机平坦层相邻接触，通过所述第一连接孔连通所述器件层的输出端。

本发明的有益效果是：通过在有机平坦层上设置至少一个第一连接孔以及至少一个第二连接孔，让发光单元的阳极还通过所述第二连接孔与所述有机平坦层连接，可以保护柔性显示装置的阳极层在弯折过程中不易因柔韧性较差而发生断裂，提高柔性显示装置的质量。

附图说明

图1是本发明柔性显示面板一实施例的剖面示意图；

图2是本发明柔性显示面板制作方法一实施例的流程示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明进行详细说明。

参见图1，图1是本发明柔性显示面板一实施例的剖面示意图。

如图1所述，在本实施例中，柔性显示面板包括器件层2，形成在器件层2上的有机平坦层110，以及形成在所述平坦层110上的发光单元112，有机平坦层110与发光单元112的阳极层111相邻接触。

其中，器件层2第一基板100，依次叠置在所述第一基板100上的有机薄膜层101、缓冲层102、有源层103、栅极绝缘层104、栅极金属层105、第二绝缘层106、第二金属层107、层间绝缘层108以及和有源层103邻接的源漏极金属层109。

其中，第一基板100包括玻璃基板以及石英基板，在其他实施方式中还可以为其他基板，在此不做限定。

栅极绝缘层104包括氮化硅sinx，非晶氧化硅siox中的至少一种，在其他实施方式中，也可以为其他绝缘物质，在此不做限定。

栅极金属层105是通过先在第一基板上通过沉积的方式形成金属膜层，经过第一道光罩对金属膜层进行曝光，将金属膜层刻蚀而成的。其中，第一道光罩为只能刻蚀一层的普通光罩。

金属膜层包括铝al、钼mo、铜cu以及银ag中的至少一种，在其他实施方式中也可以为其他金属，在此也不做限定。

另外，涂覆在第一基板100上的有机薄膜层101为柔性材料，如主要成分为聚酰亚胺。在其他实施方式中，还可以为其他柔性材料，在此不再限定。且，为了保证柔性显示面板的柔韧度，同时又不会造成柔性显示面板厚度负担，在一个优选的实施方式中，所述有机薄膜层101的厚度为10微米～20微米，在其他实施方式中，也可以根据实际需求另外设定有机薄膜层101的厚度，在此不做限定。

另外，在本实施方式中，缓冲层102其厚度为200纳米～300纳米。有源层103的厚度为40纳米～50纳米。所述栅极绝缘层104的厚度为50纳米～200纳米。栅极金属层105的厚度为150纳米～250纳米。

具体的，在栅极金属层105上依次形成的第二绝缘层106和第二金属层107。第二绝缘层106厚度为50纳米～200纳米。第二金属层107厚度为150纳米～250纳米。第二绝缘层106和第二金属层107均可利用光刻和干法刻蚀技术将其图案化。第二金属层107的材料包括铝al、钼mo、铜cu以及银ag中的至少一种，在其他实施方式中也可以为其他金属，在此也不做限定。

具体的，第二金属层107上依次形成层间绝缘层108和源漏极金属层109，其中，该源漏极金属层109上的源极和漏极通过一沟道相分隔开。层间绝缘层108其厚度为500纳米～700纳米。源漏极金属层109其厚度为400纳米～600纳米，其包括钛和铝，在其他实施方式中，也可以为其他金属物质，在此不做限定。层间绝缘层108和源漏极金属层109都是通过半色调光罩及显影技术将其图案化形成。

具体的，形成在器件层2上的有机平坦层110的厚度为1.5微米～3微米，主要成分为聚酰亚胺。有机平坦层110也是通过半色调光罩及显影技术将其图案化形成。

具体的，与有机平坦层110相邻接触所述发光单元112的阳极层111主要采用氧化铟锡材料。但由于氧化铟锡材料本身较脆及柔韧性差，所以在柔性显示装置弯折过程中易发生断裂，造成阳极层线路断裂，柔性显示画面出现异常。在本实施例中，为了更好的减少由于阳极层111柔韧性差带来的影响将其厚度设为100纳米～250纳米。

在本实施例中，有机平坦化层110上包括至少一个第一连接孔1101以及至少一个第二连接孔1102。器件层2的输出端通过所述第一连接孔与所述阳极层111连接。

在一个具体的实施场景中，器件层2的输出端为显示面板中源漏极金属层109中的源极端或者漏极端。由于器件层2的输出端通过第一连接孔1101与阳极层111连接，可以理解为第一连接孔1101钻穿有机平坦化层110。第一连接孔1101的深度大于或者等于所述有机平坦层的厚度。

在本实施例中，第二连接孔1102的深度小于有机平坦层110的厚度，发光单元112的阳极层111还通过所述第二连接孔1102与所述有机平坦层110连接。

在一个具体的实施场景中，阳极层111一部分进入所述第二连接孔1102，另一部分重叠在有机平坦层110上。通过这种方式可以增加阳极层111与有机平坦层110的接触面。如此，在弯折柔性显示面板时，阳极层111不再是简单的平面受力，通过将受力多角度的分散可以减少阳极层111因柔韧性差而造成阳极层线路断裂问题。

在一个可选的实施方式中，第一连接孔1101或/和所述第二连接孔1102通过半色调光罩曝光以及显影图案化而形成。

其中，第一连接孔1101或/和第二连接孔1102的横截面为圆形或方形，在其他实施方式中，该第一连接孔1101或/和第二连接孔1102的横截面也可以为其他规则或不规则图形，只要与其连接的其他部分形状相对应即可，在此不做限定。

例如，在一个具体的实施场景中，可以根据有机平坦化层110和阳极层111的厚度，改变第一连接孔1101和第二连接孔1102横截面的形状、大小以及连接孔的倾斜角度、深度等。例如，当阳极层111对的厚度偏小为100纳米时，可以适当的减小第二连接孔1102的深度以保持阳极层111的整体性。

通过上述描述可知，区别于现有技术，本发明提供的柔性显示面板通过在有机平坦层上设施至少一个第一连接孔以及至少一个第二连接孔，让发光单元的阳极还通过第二连接孔与所述有机平坦层连接，可以保护柔性显示装置的阳极层在弯折过程中不易因柔韧性较差而发生断裂，提高柔性显示装置的质量，延长显示装置的使用寿命。

本发明还提供一种柔性显示装置，所述柔性显示装置包括上述任一实施方式的柔性显示面板，具体请参阅图1以及相关文字描述，在此不再赘述。

通过上述描述可知，区别于现有技术，本发明提供的柔性显示装置通过在有机平坦层上设施至少一个第一连接孔以及至少一个第二连接孔，让发光单元的阳极还通过第二连接孔与有机平坦层连接，可以保护柔性显示装置的阳极层在弯折过程中不易因柔韧性较差而发生断裂，提高柔性显示装置的质量，延长显示装置的使用寿命。

本发明还提供一种柔性显示面板的制作方法，如图2所示，所述制作方法包括以下步骤：

步骤201：制备器件层。

在一个具体实施场景中，先在第一基板上涂覆机薄膜层，然后依次在机薄膜层上形成缓冲层、有源层、栅极绝缘层、栅极金属层、第二绝缘层、第二金属层、层间绝缘层以及和所述有源层邻接的源漏极金属层。

其中，有机薄膜层的厚度为10微米～20微米。缓冲层其厚度为200纳米～300纳米。有源层的厚度为40纳米～50纳米。栅极绝缘层的厚度为50纳米～200纳米。栅极金属层的厚度为150纳米～250纳米。第二绝缘层厚度为50纳米～200纳米。第二金属层厚度为150纳米～250纳米，其材料包括铝al、钼mo、铜cu以及银ag中的至少一种，在其他实施方式中也可以为其他金属，在此也不做限定。层间绝缘层其厚度为500纳米～700纳米。源漏极金属层其厚度为400纳米～600纳米，其包括钛和铝，在其他实施方式中，也可以为其他金属物质，在此不做限定。

步骤202：在器件层上形成有机平坦层，并在有机平坦化层上形成至少一个第一连接孔以及至少一个第二连接孔，第二连接孔的深度小于所述有机平坦层的厚度。

其中，有机平坦层的厚度为1.5微米～3微米。

在一个具体实施场景中，通过半色调光罩曝光以及显影图案化而形成第一连接孔或/和所述第二连接孔，且所述第一连接孔或/和所述第二连接孔的横截面为圆形或方形。在其他实施方式中，该第一连接孔或/和第二连接孔的横截面也可以为其他规则或不规则图形，只要与其连接的其他部分形状相对应即可，在此不做限定。

步骤203：在有机平坦层生形成发光单元，其中，发光单元的阳极层通过第二连接孔与所述有机平坦层相邻接触，通过第一连接孔连通所述器件层的输出端。

其中，与有机平坦层相邻接触所述发光单元的阳极层主要采用氧化铟锡材料。但由于氧化铟锡材料本身较脆及柔韧性差，所以在柔性显示装置弯折过程中易发生断裂，造成阳极层线路断裂，柔性显示画面出现异常。在本实施例中，为了更好的减少由于阳极层柔韧性差带来的影响将其厚度设为100纳米～250纳米。

在一个具体实施场景中，在形成阳极层时，使得阳极层通过所述第一连接孔连通所述器件层的源漏极金属层，通过第二连接孔与所述有机平坦层相邻接触。

通过上述描述可知，区别于现有技术，本发明提供的柔性显示面板的制作方法通过在有机平坦层上设施至少一个第一连接孔以及至少一个第二连接孔，让发光单元的阳极还通过所述第二连接孔与所述有机平坦层连接，可以保护柔性显示装置的阳极层在弯折过程中不易因柔韧性较差而发生断裂，提高柔性显示装置的质量，延长显示装置的使用寿命。

以上所述，对于本领域的普通技术人员来说，可以根据本发明的技术方案和技术构思作出其他各种相应的改变和变形，而所有这些改变和变形都应属于本发明后附的权利要求的保护范围。