运载装置的制作方法

本实用新型涉及一种运载装置，尤其涉及一种用以运载片状物的运载装置。

背景技术：

一般易碎型片状物，例如半导体或光电产业所使用的晶圆、光罩、玻璃基板等，若要由甲地运送至乙地，必须避免片状物受到碰撞，否则容易产生碎裂。而且像是晶圆、光罩等容易因为微粒污染而影响品质的物品，还需要避免在运送过程中附着灰尘，因此包装该等物品通常不能使用纸类或泡棉类等容易产生细屑的缓冲材料。

以晶圆为例说明，目前业界常见用以装载多片晶圆的前开式晶圆容器(Front Opening Unified Pod,FOUP)通常包含一盒体及一可重置地盖合于盒体的盖体，两者共同形成一容置空间，并在盒体内设有承载组件用以承载多片晶圆，其中盖体的内侧设有固持组件，用以固持盒体内的晶圆。若晶圆为圆形，则固持组件可内嵌于盖体内侧板的凹陷部内而不需凸露出凹陷部之外，只要晶圆的凸弧状边缘可伸入凹陷部内至固持组件处就可被固持组件固持。然而，若欲承装的片状物为方形，如方形的硅晶片等，则会因为方形片状物不具有可伸至内嵌于盖体内侧板凹陷部内的固持组件处的凸弧状边缘，导致固持组件无法对该方形片状物进行固持。

技术实现要素：

本实用新型提供一种运载装置，其盖体的固持组件可有效对盒体内的片状物进行固持。

本实用新型的运载装置适于容纳至少一片状物且包括一盒体及一盖体。盒体具有一开口，片状物适于通过开口而进入盒体的内部。盖体具有相对的一外侧板及一内侧板，且外侧板及内侧板间于该盖体覆盖该开口时系呈使外侧气体无法通过该盖体而进入该盒体内。盖体适于覆盖开口而使内侧板朝向盒体的内部。盖体在内侧板朝向盒体内部的一侧具有一固持组件，盖体具有一闩锁机构，闩锁机构包括一操作部，操作部适于由盖体的外侧进行操作，且操作部连接于固持组件。当盖体覆盖开口时，操作部适于旋转而使闩锁机构成为干涉于盒体的一闩锁状态，且适于旋转而使闩锁机构成为分离于盒体的一解锁状态。当操作部旋转而使闩锁机构成为闩锁状态时，操作部带动固持组件从盖体的内侧板往盒体的内部移动或凸伸而固持位于盒体内的片状物。当操作部旋转而使闩锁机构成为解锁状态时，通过操作部的带动或一复位组件的驱动而使固持组件往盖体的内侧板移动或收缩而收合于盖体。

在本实用新型的一实施例中，上述的盖体具有至少一推动件，推动件穿过内侧板而连接固持组件与操作部，操作部适于旋转而通过推动件带动固持组件。

在本实用新型的一实施例中，上述的内侧板的至少一侧设有一密封元件，以使内侧板的推动件穿过处的两侧维持气密。

在本实用新型的一实施例中，上述的推动件包括一杆部及一推动部，推动部抵靠于固持组件，杆部穿过内侧板而连接推动部与操作部。

在本实用新型的一实施例中，上述的推动部具有一斜面，推动部适于沿一推动方向移动而通过斜面推动固持组件沿一移动方向从盖体的内侧板往盒体的内部移动或凸伸，其中推动方向垂直于移动方向，斜面倾斜于推动方向及移动方向。

在本实用新型的一实施例中，上述的盖体在内侧板具有一连动机构，连动机构包括设于内侧板上的至少一连动杆，连动杆具有一枢接部，枢接部枢接于盖体的内侧板，且连动杆一端连接于固持组件，操作部适于旋转并通过第二端带动连动杆枢转，进而驱动固持组件动作。

在本实用新型的一实施例中，上述的盖体具有一连动机构，连动机构包括设于内侧板上的至少一连动杆，连动杆具有一枢接部，枢接部枢接于盖体的内侧板，且连动杆一端连接于固持组件，另一端则与推动件连接，操作部适于旋转并带动推动件推动连动杆枢转，进而驱动固持组件动作。

在本实用新型的一实施例中，上述的固持组件适于沿一移动方向从盖体的内侧板往盒体的内部移动或凸伸，连动杆沿一枢转轴线枢接于盖体的内侧板，枢转轴线垂直于移动方向。

在本实用新型的一实施例中，上述的操作部具有一斜面且适于旋转而通过斜面推动推动件，斜面倾斜于固持组件移动或凸伸的方向。

在本实用新型的一实施例中，上述的闩锁机构包括至少一插销，操作部连接插销，当盖体覆盖开口时，操作部适于旋转而带动插销从盖体的外缘突伸出以干涉于盒体，且适于旋转而带动插销移至盖体内以分离于盒体。

基于上述，在本实用新型的运载结构中，盖体上的闩锁机构除了用以使盖体闩锁或解锁于盒体，更可带动盖体的内侧板的固持组件往盒体的内部移动或凸伸。藉此，固持组件可有效地对盒体内的片状物进行固持。

为让本实用新型的上述特征和优点能更明显易懂，下文特举实施例，并配合附图作详细说明如下。

附图说明

图1是本实用新型一实施例的运载装置的外观立体图。

图2是图1的盒体的立体图。

图3是图1的盖体的立体图。

图4是图3的盖体于另一视角的立体图。

图5是图3的盖体的部分结构立体图。

图6A是图4的盖体的部分结构立体图。

图6B示出图6A的推动件推动时的状态。

图7A示出图4的固持组件收合于盖体的内侧板。

图7B示出图4的固持组件移动出盖体内侧板的状态。

图8是图4的固持组件的立体图。

图9是图5的操作部及推动件的立体图。

图10是本实用新型另一实施例的盖体的立体图。

图11是图10的盖体的局部结构示意图。

附图标号说明

100：运载装置

110：盒体

110a：开口

110b：插槽

114：承载组件

120、220：盖体

120a：外侧板

120b、220b：内侧板

122：闩锁机构

122a、222a：操作部

122b、222b：插销

124、224：固持组件

124a、224a：固持件

127、227：密封元件

129、229：推动件

129a：杆部

129b：推动部

226：连动机构

226a：连动杆

230：复位弹簧

A：枢转轴线

D1、D3：移动/凸伸方向

D2：推动方向

E1：第一端

E2：第二端

P：枢接部

S1、S2、S3：斜面

T：导槽

具体实施方式

图1是本实用新型一实施例的运载装置的外观立体图。图2是图1的盒体的立体图。图3是图1的盖体的立体图。请参考图1至图3，本实施例的运载装置100包括一盒体110及一盖体120。盒体110具有一开口110a，如晶圆或方形的基板等的片状物(图未示)适于通过开口110a而进入盒体110的内部。盒体110的内部具有一承载组件114，承载组件114适于承载这些片状物。

图4是图3的盖体于另一视角的立体图。请参考图3及图4，盖体120具有相对的一外侧板120a及一内侧板120b，且外侧板120a及内侧板120b间于盖体120覆盖开口110a时系呈使外侧气体无法通过盖体120而进入盒体110内的结构。盖体120适于覆盖图2所示的盒体110的开口110a而使内侧板120b朝向盒体110的内部。

也就是说：在盖合状态下，盒体110外部的气体无法由盖体120的外侧经由外侧板120a及内侧板120b进入盒体110内部，因此可以确保盖体120覆盖于开口110a后，外界的各种污染物不会随着环境气体进入盒体110内污染其中所放置的晶圆或方形的基板等片状物。

盖体120在内侧板120b如图4所示具有一固持组件124，用以在盖合于盒体110的开口110a时通过其上的多个固持件124a分别固持盒体110内的多个片状物的前缘。

请参考图1及图3，盖体120具有至少一闩锁机构122(示出为两个)，各闩锁机构122包括一操作部122a及至少一插销122b(示出为两个)，操作部122a适于由盖体120的外侧进行操作，且操作部122a连接插销122b。当盖体120覆盖盒体110的开口110a时，操作部122a适于通过制程系统中的机械手臂或其他驱动单元的驱动而旋转，以带动插销122b从盖体120的外缘突伸出(如图3所示)而干涉于盒体110的插槽110b，使闩锁机构122成为干涉于盒体110的闩锁状态。此外，当盖体120覆盖盒体110的开口110a时，操作部122a适于通过制程系统中的机械手臂或其他驱动单元的驱动而反向旋转，以带动插销122b移至盖体120内而分离于盒体110，使闩锁机构122成为分离于盒体110的解锁状态。

图5是图3的盖体的部分结构立体图。请参考图5，在本实施例中，操作部122a可为一具有连接于插销122b内侧板端的滑槽的转盘或其他适当种类的连动机构来将操作部122a的旋转动作转变为插销122b的平移动作，本实用新型不对此加以限制。

操作部122a可直接或间接连接于固持组件124。在本实施例中，盖体120如图4及图5所示具有一至少一推动件129(示出为两个)，操作部122a是通过穿过内侧板120b的推动件129而连接于固持组件124的。

当操作部122a旋转而使闩锁机构122成为所述闩锁状态时，操作部122a通过推动件129带动固持组件124从盖体120的内侧板120b往盒体110的内部移动或凸伸而接触并固持位于盒体110内的片状物前缘。当操作部122a反向旋转而使闩锁机构122成为所述解锁状态时，通过操作部122a的推动件129的带动或一组如复位弹簧等的复位组件(图未示)的驱动，固持组件124往盖体120的内侧板120b移动或收缩而收合于盖体120。

通过上述配置与作动方式，固持组件124可有效地对盒体110内的片状物进行固持，特别是方形的片状物。另一方面，当盖体120分离于盒体110时，固持组件124如上述般收合于盖体120，如此可降低盖体120的整体厚度，以减少盖体120在制程系统中所占据的空间，从而节省制程系统的空间成本，也可避免凸出的固持组件124在取放盖体120的过程中与附近的设备或人员发生擦撞。

如图5所示，本实施例的内侧板120b的至少一侧设有至少一密封元件127(示出为两个)，密封元件127例如为具有一封闭端的伸缩套管，其连接于操作部122a与内侧板120b之间，并套设于推动件129的位于操作部122a与内侧板120b之间的区段。藉此，可使内侧板120b的推动件129穿过处的两侧维持气密，而可避免外界环境中的污染物随着环境中的气体经由操作部122a等部位渗入盒体110内。

图6A是图4的盖体的部分结构立体图。图6B示出图6A的推动件推动时的状态。请参考图6A及图6B，详细而言，本实施例的推动件129包括一杆部129a及一推动部129b，推动部129b抵靠于图4所示的固持组件124，杆部129a穿过内侧板120b而连接推动部129b与图5所示的操作部122a。推动部129b具有一斜面S1，推动部129b适于沿推动方向D2从图6A所示位置移动至图6B所示位置而通过斜面S1推动固持组件124沿移动/凸伸方向D1(标示于图2)从盖体120的内侧板120b往盒体110的内部移动或凸伸，其中推动方向D2垂直于移动/凸伸方向D1，斜面S1倾斜于推动方向D2及移动/凸伸方向D1。图7A示出图4的固持组件收合于盖体的内侧。

图7B示出图4的固持组件移动出盖体内侧的状态。当推动部129b为图6A所示状态时，固持组件124未被推动部129b推出而为图7A所示的收合状态。当推动部129b为图6B所示状态时，固持组件124被推动部129b推出而为图7B所示的非收合状态且适于固持盒体110内的所述片状物。

图8是图4的固持组件的立体图。在本实施例中，固持组件124可具有抵靠于推动部129b的斜面S1(绘适于图6A及图6B)的斜面S3，而能够平稳地被推动部129b的斜面S1推动。

图9是图5的操作部及推动件的立体图。请参考图9，本实施例的操作部122a例如是藉其上的导槽T来带动推动件129移动。具体而言，导槽T的不同区段与操作部122a的旋转中心的距离不同，且推动件129具有凸部位于导槽T内。随着操作部122a的旋转，推动件129的所述凸部会沿着导槽T移动而改变其与操作部122a的旋转中心的距离，从而带动推动件129移动。在其他实施例中，操作部122a可通过其他适当结构来将操作部122a的旋转量转化为推动件129的平移量，本实用新型不对此加以限制。

本实用新型不限制操作部带动固持组件的方式，以下通过图式对此举例说明。图10是本实用新型另一实施例的盖体的立体图。对应于图10所示实施例的盒体的设计方式相同于图1的盒体110的设计方式。图10所示实施例的不同处在于，盖体220在内侧板220b具有一连动机构226，连动机构226包括设于内侧板至少一连动杆226a(示出为四个)，各连动杆226a具有一第一端E1、一第二端E2及一枢接部P。枢接部P位于第一端E1与第二端E2之间且枢接于盖体220的内侧板220b，第一端E1连接于固持组件224，第二端E2则与推动件229连接，操作部222a(相当于图1所示的操作部122a)适于旋转并通过第二端E2带动推动件229推动连动杆226a枢转，以通过连动机构226的各连动杆226a带动固持组件224从盖体220的内侧板220b往盒体(如图1所示的盒体110)的内部移动而固持位于盒体内的片状物。

详细而言，本实施例的固持组件224适于沿移动/凸伸方向D3(相当于图2所示的移动/凸伸方向D1)从盖体220的内侧板220b往盒体(如图1所示的盒体110)的内部移动或凸伸，而各连动杆226a沿垂直于所述移动方向的枢转轴线A枢接于盖体220的内侧板220b。此外，第一端E1与枢接部P之间的距离与第二端E2与枢接部P之间的距离的比例是以可使操作部222a可带动第一端E1产生适当的位移量，以带动固持组件224移动恰当的距离来固持所述片状物而设计的。

图11是图10的盖体的局部结构示意图。请参考图11，本实施例的操作部222a(相当于图1所示的操作部122a)可具有倾斜于所述移动/凸伸方向D3(相当于图2所示的移动/凸伸方向D1)的一斜面S2，且适于旋转而通过斜面S2推动推动件229沿移动/凸伸方向D3移动，以带动连动杆226a转动。当推动件229随着操作部122a的反向转动而沿反向于移动/凸伸方向D3的方向复位时，连动杆226a例如是通过设置于第二端E2处的复位组件(如复位弹簧230)而复位。在其他实施例中，操作部可通过其他适当结构来带动连动杆转动，本实用新型不对此加以限制。此外，图11所示的设于斜面S2处的密封元件227的作用相似于图5的密封元件127，用以使盖体220的推动件229穿过处的两侧维持气密。

虽然本实用新型已以实施例揭示如上，然其并非用以限定本实用新型，任何所属技术领域中技术人员，在不脱离本实用新型的精神和范围内，当可作些许的更动与润饰，故本实用新型的保护范围当视权利要求所界定者为准。