一种新型雪崩二级管光电探测器的制作方法

文档序号:14621514发布日期:2018-06-06 01:00阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型提供了一种新型雪崩二级管光电探测器,包括由下往上依次层叠的N型电极、N型重掺杂层、单晶衬底、金属多功能层、InGaAs吸收层、P型重掺杂InGaAs层和P型电极。该新型雪崩二级管光电探测器适用范围广,可以在多种衬底上实现新型雪崩二级管光电探测器(APD)的可控生长,衬底可以采用多种材料,通过更换不同的衬底可实现可见光APD和红外APD,有利于降低生产成本;单晶衬底具有非常好的晶格完整性,更容易产生晶格碰撞,激发出更多的雪崩电子,提高APD的效率;结构更加简单,金属多功能层可以同时起到外延缓冲层、电荷控制层、反射层和降低电子进入倍增层势垒的作用,反射层可将吸收层没有吸收完全的光再次反射到吸收层中,提高吸收效率。

技术研发人员:杨为家;刘均炎;刘铭全;刘俊杰;沈耿哲;何鑫;曾庆光
受保护的技术使用者:五邑大学
技术研发日:2017.10.18
技术公布日:2018.06.05

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