自动测方阻设备的制作方法

技术特征：

1.一种自动测方阻设备，其特征在于：包括上料部分、测试部分、下料部分和控制部分，所述上料部分包括上料区(1)、下片区(2)、第一缓存区(3)和校正区(4)，所述测试部分包括测试区(5)，所述下料部分包括第二缓存区(6)、分片区(7)、上片区(8)和下料区(9)，所述上料区(1)、下片区(2)、第一缓存区(3)、校正区(4)、测试区(5)、第二缓存区(6)、分片区(7)、上片区(8)和下料区(9)呈流水线依次设置，所述控制部分分别控制上料区(1)、下片区(2)、第一缓存区(3)、校正区(4)、测试区(5)、第二缓存区(6)、分片区(7)、上片区(8)和下料区(9)。

2.如权利要求1所述的自动测方阻设备，其特征在于：所述上料区(1)包括传输装置，两组所述传输装置上下间隔设置，所述传输装置的右侧固定安装有右光电传感器，所述右光电传感器与所述控制部分电连接。

3.如权利要求1所述的自动测方阻设备，其特征在于：所述下片区(2)包括下片装置、夹紧装置和输送装置，所述下片装置包括联动装置和固定台(2-1)，所述联动装置驱动所述固定台(2-1)实现升降，所述夹紧装置固定安装在所述固定台(2-1)的上方，所述输送装置包括传输装置和活动运输装置，所述传输装置固定安装在所述固定台(2-1)上，并位于所述夹紧装置的正下方，所述活动运输装置位于夹紧装置与传输装置之间。

4.如权利要求1所述的自动测方阻设备，其特征在于：所述第一缓存区(3)和第二缓存区(6)均包括联动装置、传输装置和储物篮，所述储物篮罩设所述传输装置，所述联动装置驱动所述储物篮实现升降。

5.如权利要求4所述的自动测方阻设备，其特征在于：所述储物篮包括卡板(3-1)，两个所述卡板(3-1)平行且间隔设置，所述传输装置位于两个所述卡板(3-1)之间，所述卡板(3-1)上开设有若干缓存槽(3-2)，两个所述卡板(3-1)上的缓存槽(3-2)一一对应设置，所述卡板(3-1)上固定安装有左、右光电传感器，所述左、右光电传感器分别位于缓存槽(3-2)的两端。

6.如权利要求1所述的自动测方阻设备，其特征在于：所述校正区(4)包括传输装置、左、右光电传感器和校准装置，所述校准装置包括呈排排列的滑轮组(4-1)和驱动装置，两组所述滑轮组(4-1)分别位于传输装置的两侧，并与所述传输装置平行设置，所述滑轮组(4-1)由驱动装置驱动靠近或远离传输装置，所述左、右光电传感器分别位于传输装置的两端。

7.如权利要求2所述的自动测方阻设备，其特征在于：所述测试区(5)包括传输装置、测试平台(5-1)、测试四探针面板和升降装置，所述测试四探针面板固定安装在所述测试平台(5-1)上，所述测试平台(5-1)位于所述传输装置的正上方，所述升降装置位于所述传输装置的正下方，所述升降装置上固定安装有用于放置硅片的载物台(5-2)，所述升降装置驱动载物台(5-2)上的硅片靠近或远离测试平台(5-1)，所述测试区(5)的左、右两侧分别固定安装有左、右光电传感器，所述左、右光电传感器均与所述控制部分电连接。

8.如权利要求2所述的自动测方阻设备，其特征在于：所述分片区(7)包括传输装置和运动装置，所述传输装置的左侧固定安装有左光电传感器，所述左光电传感器与所述控制部分电连接，所述运动装置包括联动装置、升降装置和吸盘(7-1)，所述联动装置位于所述传输装置的正上方，用于驱动升降装置向传输装置的前方或后方移动，所述升降装置滑动安装在所述联动装置上，所述吸盘(7-1)固定安装在所述升降装置上。

9.如权利要求3所述的自动测方阻设备，其特征在于：所述上片区(8)包括上片装置、夹紧装置和输送装置，所述上片装置包括联动装置和固定台(2-1)，所述联动装置驱动所述固定台(2-1)实现升降，所述夹紧装置固定安装在所述固定台(2-1)的上方，所述输送装置包括传输装置和活动运输装置，所述传输装置固定安装在所述固定台(2-1)上，并位于所述夹紧装置的正下方，所述活动运输装置位于夹紧装置与传输装置之间。

10.如权利要求1所述的自动测方阻设备，其特征在于：所述下料区(9)包括传输装置，两组所述传输装置上、下间隔设置，所述传输装置的右侧固定安装有右光电传感器，所述右光电传感器与所述控制部分电连接。

11.如权利要求3或9所述的自动测方阻设备，其特征在于：所述夹紧装置包括驱动装置，所述驱动装置固定安装在所述固定台(2-1)的上方，所述驱动装置上固定安装有夹紧板(8-1)，所述夹紧板(8-1)位于所述传输装置的正上方，所述驱动装置驱动夹紧板(8-1)靠近或远离传输装置。

12.如权利要求3或9所述的自动测方阻设备，其特征在于：所述活动运输装置包括机架和皮带(8-2)，所述机架上固定安装有第一转轴(8-3)和第二转轴(8-4)，所述机架上滑动安装有第三转轴(8-5)和第四转轴(8-6)，所述第一转轴(8-3)与所述第四转轴(8-6)位于同一水平面上，所述第一转轴(8-3)、第二转轴(8-4)、第三转轴(8-5)和第四转轴(8-6)上均固定安装有皮带轮(8-7)，所述皮带(8-2)依次绕过第一转轴(8-3)、第二转轴(8-4)、第三转轴(8-5)和第四转轴(8-6)上的皮带轮(8-7)，所述机架上固定安装有推动缸，两个所述推动缸的伸出端分别与第三转轴(8-5)和第四转轴(8-6)固定连接，两个所述推动缸分别带动第三转轴(8-5)和第四转轴(8-6)在机架上左右移动，所述机架上固定安装有压力传感器，所述压力传感器位于第四转轴(8-6)的左侧，所述压力传感器与所述控制部分电连接。

13.如权利要求2或3或4或6或7或8或9所述的自动测方阻设备，其特征在于：所述传输装置为皮带传输机(10)。

14.如权利要求3或4或8或9所述的自动测方阻设备，其特征在于：所述联动装置为丝杆传动装置(11)。

15.如权利要求1所述的自动测方阻设备，其特征在于：所述控制部分为可编程逻辑控制器。

16.如权利要求8所述的自动测方阻设备，其特征在：所述分片区(7)还包括第一容纳盒(7-2)和第二容纳盒(7-3)，所述第一容纳盒(7-2)和第二容纳盒(7-3)，所述第一容纳盒(7-2)和第二容纳盒(7-3)分别位于传输装置的前后两侧。