硅片刻蚀清洗下片机的制作方法

文档序号:15526670发布日期:2018-09-25 20:42阅读:268来源:国知局

本实用新型涉及一种硅片运载技术领域,具体涉及一种硅片刻蚀清洗下片机。



背景技术:

在生产太阳能电池板的过程中,由于在扩散过程中即使采用背靠背扩散,硅片的所有表面包括边缘都将不可避免地扩散上磷,PN结的正面所收集到的光生电子会沿着边缘扩散有磷的区域流到PN结的背面,从而造成短路,因此,必须对太阳能电池板周边的掺杂硅进行刻蚀,以去除电池板边缘的PN结,通常采用等离子刻蚀技术完成这一工艺。

现有技术中,一般直接采用等离子刻蚀技术对太阳能电池板进行刻蚀,但是目前的刻蚀下料机在下料过程十分麻烦,无法对经过刻蚀下料机的传送装置传送下来的电池板直接进行堆叠整理,通常需要人工进行收取,浪费人力,且人工操作非常容易造成对电池板的破坏。



技术实现要素:

本实用新型要解决的技术问题是解决上述现有技术的不足,提供可以机械化程度高的硅片刻蚀清洗下片机。

为了解决上述技术问题,本实用新型采用的技术方案是:一种硅片刻蚀清洗下片机,包括若干硅片下料输送皮带,还包括与下料输送皮带垂直设置的汇流皮带,在相邻输送皮带之间还设置有用于将下料输送皮带上硅片运送至汇流皮带上的转向装置,在汇流皮带的端部设置有升降收料盒用于收集汇流皮带上的硅片,在汇流皮带的端部还设置有上下两层轨道,上层的轨道用于运输装满硅片的升降收料盒,下层的轨道运输空的升降收料盒。

进一步的,所述轨道与汇流皮带垂直设置。

进一步的,所述转向装置包括升降气缸以及固定板,在固定板上设置导向轮和驱动轮,固定板由升降气缸带动上下位移,在导向轮以及驱动轮上设置有皮带用于运输硅片,驱动轮带动皮带转动,皮带与的运动方向与硅片下料输送皮带的运动方向垂直。

进一步的,所述汇流皮带上还设置有可升降收料的缓存料盒。

进一步的,所述下料输送皮带的端部还设置有缓存盒。

进一步的,所述下料输送皮带为平行设置的两组,每组均对应设置有转向装置、汇流皮带、可升降的缓存料盒以及缓存盒,且两组长度不同,两者之间的长度差值大于硅片长度与缓和盒的宽度之和。

从上述技术方案可以看出本实用新型具有以下优点:本实用新型可以实现硅片刻蚀后自动下料,机械化程度高,提高效率。且设置了转向装置,通过改变运载轨道的方便可以减少设备的占地面积,结构更加紧凑。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图;

图2为本实用新型的俯视图;

图3为本实用新型中转向装置的结构示意图。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细说明。

如图1、2所示,本实用新型的硅片刻蚀清洗下片机,包括若干硅片下料输送皮带4、与下料输送皮带4垂直设置的汇流皮带5,在相邻输送皮带之间还设置有用于将下料输送皮带4上硅片运送至汇流皮带5上的转向装置3,在汇流皮带5的端部设置有升降收料盒7用于收集汇流皮带上的硅片,在汇流皮带5的端部还设置有上下两层轨道1,上层的轨道用于运输装满硅片的升降收料盒7,下层的轨道运输空的升降收料盒。所述轨道1与汇流皮带5垂直设置。

如图3所示,所述转向装置3包括升降气缸以及固定板32,在固定板32上设置导向轮31和驱动轮33,固定板32由升降气缸34带动上下位移,在导向轮和驱动轮上设置有皮带35用于运输硅片,驱动轮带动皮带转动,驱动轮可以由电机驱动。皮带与35的运动方向与硅片下料输送皮带4的运动方向垂直,当料片需要转向移动到汇流轨道时,气缸带动固定板上升,从而带动皮带上升进而伸出硅片下料输送皮带4的表面,将硅片运载至汇流皮带5上。

所述汇流轨皮带上还设置有可升降收料的缓存料盒6。所述下料输送皮带的端部还设置有缓存盒2。可升降收料的缓存料盒6中设置由若干个料槽。每个料槽中可以放置一个硅片,缓存料盒可以设置个一个滑块上,且滑块配置竖直设置的滑轨,滑块可由电机驱动带动上下以为,每储存一个硅片,移动一个料槽的距离,当汇流皮带出现故障时,缓存盒可以进行周转,持续进行下料。

下料输送皮带为平行设置的两组,每组均对应设置有转向装置、汇流皮带、可升降的缓存料盒以及缓存盒,且两组长度不同,两者之间的长度差值大于硅片长度与缓和盒的宽度之和,即在较短的的下料输送皮带的端部设置还可以设置汇流皮带,从而减少真个设备系统的占地面积,使结构更加紧凑。

当前第1页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1