半导体装置的制作方法

文档序号:17118741发布日期:2019-03-15 23:35阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
半导体装置具备多个开关元件、和半导体基板。多个开关元件并联地连接而被驱动,多个开关元件形成于半导体基板。在半导体基板的平面视图下,多个开关元件分别具有:单元区域(111),形成有被施加栅极电压的有源沟槽栅极(G1),作为IGBT发挥功能;外周区域(112),形成芯片外形;以及非单元区域(113),形成为将单元区域和外周区域分离,设置有对向单元区域的电连接进行中继的焊盘(114)。在半导体基板的平面视图下,有源沟槽栅极在非单元区域中还形成在不与焊盘重叠的位置。

技术研发人员:河野宪司
受保护的技术使用者:株式会社电装
技术研发日:2017.06.29
技术公布日:2019.03.15
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