1.一种图像传感器,其特征在于,包括:
半导体衬底;
像素器件,位于所述半导体衬底内;
滤光器矩阵,位于所述半导体衬底的表面,每个所述滤光器矩阵包括多个最小重复单元,所述最小重复单元至少包含第一绿色滤光器以及第二绿色滤光器,所述第一绿色滤光器与所述第二绿色滤光器的厚度不同。
2.根据权利要求1所述的图像传感器,其特征在于,所述最小重复单元还包括红色滤光器和蓝色滤光器。
3.根据权利要求2所述的图像传感器,其特征在于,所述第一绿色滤光器的厚度大于所述第二绿色滤光器的厚度,所述第二绿色滤光器的厚度与所述红色滤光器、蓝色滤光器的厚度相同。
4.根据权利要求3所述的图像传感器,其特征在于,所述第一绿色滤光器的厚度为750nm至850nm。
5.根据权利要求2所述的图像传感器,其特征在于,所述第一绿色滤光器的厚度大于所述红色滤光器、蓝色滤光器的厚度,所述第二绿色滤光器的厚度小于所述红色滤光器、蓝色滤光器的厚度。
6.根据权利要求5所述的图像传感器,其特征在于,所述第一绿色滤光器的厚度为750nm至850nm,所述第二绿色滤光器的厚度为550nm至650nm。
7.一种图像传感器的形成方法,其特征在于,包括:
提供半导体衬底,所述半导体衬底内具有像素器件;
在所述半导体衬底的表面形成滤光器矩阵,每个所述滤光器矩阵包括多个最小重复单元,所述最小重复单元至少包含第一绿色滤光器以及第二绿色滤光器,所述第一绿色滤光器与所述第二绿色滤光器的厚度不同。
8.根据权利要求7所述的图像传感器的形成方法,其特征在于,所述最小重复单元还包括红色滤光器和蓝色滤光器。
9.根据权利要求8所述的图像传感器的形成方法,其特征在于,所述第一绿色滤光器的厚度大于所述第二绿色滤光器的厚度,所述第二绿色滤光器的厚度与所述红色滤光器、蓝色滤光器的厚度相同。
10.根据权利要求8所述的图像传感器的形成方法,其特征在于,所述第一绿色滤光器的厚度大于所述红色滤光器、蓝色滤光器的厚度,所述第二绿色滤光器的厚度小于所述红色滤光器、蓝色滤光器的厚度。