图像传感器及其形成方法与流程

文档序号:15097625发布日期:2018-08-04 14:57阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种图像传感器,其特征在于,包括:

半导体衬底;

像素器件,位于所述半导体衬底内;

滤光器矩阵,位于所述半导体衬底的表面,每个所述滤光器矩阵包括多个最小重复单元,所述最小重复单元至少包含第一绿色滤光器以及第二绿色滤光器,所述第一绿色滤光器与所述第二绿色滤光器的厚度不同。

2.根据权利要求1所述的图像传感器,其特征在于,所述最小重复单元还包括红色滤光器和蓝色滤光器。

3.根据权利要求2所述的图像传感器,其特征在于,所述第一绿色滤光器的厚度大于所述第二绿色滤光器的厚度,所述第二绿色滤光器的厚度与所述红色滤光器、蓝色滤光器的厚度相同。

4.根据权利要求3所述的图像传感器,其特征在于,所述第一绿色滤光器的厚度为750nm至850nm。

5.根据权利要求2所述的图像传感器,其特征在于,所述第一绿色滤光器的厚度大于所述红色滤光器、蓝色滤光器的厚度,所述第二绿色滤光器的厚度小于所述红色滤光器、蓝色滤光器的厚度。

6.根据权利要求5所述的图像传感器,其特征在于,所述第一绿色滤光器的厚度为750nm至850nm,所述第二绿色滤光器的厚度为550nm至650nm。

7.一种图像传感器的形成方法,其特征在于,包括:

提供半导体衬底,所述半导体衬底内具有像素器件;

在所述半导体衬底的表面形成滤光器矩阵,每个所述滤光器矩阵包括多个最小重复单元,所述最小重复单元至少包含第一绿色滤光器以及第二绿色滤光器,所述第一绿色滤光器与所述第二绿色滤光器的厚度不同。

8.根据权利要求7所述的图像传感器的形成方法,其特征在于,所述最小重复单元还包括红色滤光器和蓝色滤光器。

9.根据权利要求8所述的图像传感器的形成方法,其特征在于,所述第一绿色滤光器的厚度大于所述第二绿色滤光器的厚度,所述第二绿色滤光器的厚度与所述红色滤光器、蓝色滤光器的厚度相同。

10.根据权利要求8所述的图像传感器的形成方法,其特征在于,所述第一绿色滤光器的厚度大于所述红色滤光器、蓝色滤光器的厚度,所述第二绿色滤光器的厚度小于所述红色滤光器、蓝色滤光器的厚度。

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