刮膜装置及刮膜方法与流程

技术特征：

技术总结
一种刮膜装置，包括一承载机构、一传动机构以及一刮膜机构。传动机构耦接承载机构以带动承载机构旋转。刮膜机构配置于承载机构的一侧。当具有一残胶的一晶圆置放于承载机构上，且刮膜机构抵接残胶时，传动机构带动承载机构旋转，以使刮膜机构与晶圆相对移动而刮除残胶。

技术研发人员：卢芳万
受保护的技术使用者：奇景光电股份有限公司
技术研发日：2018.02.07
技术公布日：2019.08.13