加工装置的制作方法

本发明涉及加工装置，其具有显示输入画面的操作面板。

背景技术：

通常公知有如下的加工装置，利用卡盘工作台对各种半导体晶片、封装基板、陶瓷基板等板状的被加工物进行保持，并使用切削刀具、磨削磨具或激光束等对被加工物进行加工。这种加工装置中，为了对加工速度及加工区域等各种加工条件进行设定而具有操作面板，该操作面板具有触摸面板式的输入画面(例如，参照专利文献1)。

专利文献1：日本特开2009-117776号公报

此外，在加工条件(数值、选项等)中，存在如下的条件：当变更条件时无法按照预期实施加工，例如产生导致晶片破损等的致命的加工不良。因此，设想了如下的构成：为了在通常的生产(加工)时抑制操作者错误地变更加工条件，设置成能够设定所谓的屏幕保护(screensaver)那样的锁定画面，使操作者无法对输入画面整体进行输入。

但是，在生产(加工)时，虽然较少但仍需要对输入画面的输入操作，因此在设定上述锁定画面的构成中，每当需要进行输入操作时，要解除锁定画面的设定，因此存在无法可靠地防止错误的输入操作的问题。

技术实现要素：

本发明是鉴于上述情况而完成的，其目的在于提供加工装置，能够可靠地防止操作者的错误的输入操作。

为了解决上述课题并实现目的，本发明是加工装置，其具有：卡盘工作台，其对被加工物进行保持；加工单元，其对该卡盘工作台所保持的被加工物进行加工；操作面板，其显示输入该被加工物的加工条件的输入画面；以及控制单元，其对各构成要素进行控制，该加工装置的特征在于，该控制单元具有：输入画面登记部，其登记有多个该输入画面；以及蒙版登记部，其按照每个该输入画面而登记蒙版，该蒙版将该输入画面的规定的区域覆盖而使操作者的输入无法实现，当对该蒙版登记部登记该蒙版时，对该输入画面的要用该蒙版覆盖的区域进行指定而进行登记。

根据该构成，能够在各输入画面的期望的区域分别设定蒙版，因此能够可靠地防止操作者的错误的输入操作。另外，利用输入画面中的未设定蒙版的区域能够实现所需最低限度的输入操作，能够实现操作者的作业性的提高。

在该构成中，也可以是，当对该输入画面的要用该蒙版覆盖的区域或要去除该蒙版的区域进行指定时，对该输入画面的要用该蒙版覆盖的区域或要去除该蒙版的区域的角部进行指定而进行登记。

另外，也可以是，当指定该输入画面中的预先确定的特定区域作为要用该蒙版覆盖的区域或要去除该蒙版的区域时，对该特定区域内的一部分进行指定而进行登记。

另外，也可以是，在该输入画面中显示切换按钮，该切换按钮将显示切换成蒙遮画面或标准画面，其中，该蒙遮画面在该输入画面上重叠显示该蒙版，该标准画面不在该输入画面上重叠显示该蒙版。

另外，也可以是，对该蒙版的颜色的浓淡进行调整，从而设定隔着该蒙版而显示的该输入画面的视觉辨认性。

根据本发明，能够在各输入画面的期望的区域分别设定蒙版，因此能够可靠地防止操作者的错误的输入操作。另外，利用输入画面中的未设定蒙版的区域能够实现所需最低限度的输入操作，能够实现操作者的作业性的提高。

附图说明

图1是示出本实施方式的激光加工装置的构成例的图。

图2是示出显示面板的构成例的图。

图3是控制单元的功能框图。

图4是示出输入画面的一例的图。

图5是对设定蒙版时的动作顺序进行说明的图。

图6是对设定蒙版时的动作顺序进行说明的图。

图7是对设定蒙版时的动作顺序进行说明的图。

图8是对设定蒙版时的动作顺序进行说明的图。

图9是对设定蒙版时的动作顺序进行说明的图。

图10是对调整蒙版的浓度时的动作顺序进行说明的图。

图11是对解除蒙版时的动作顺序进行说明的图。

标号说明

1：激光加工装置(加工装置)；10：卡盘工作台；20：激光光线照射部(加工单元)；60：控制单元；61：控制部；62：输入画面登记部；63：显示控制部；64：触摸面板控制部；65：蒙版登记部；66a～66c：输入画面；67a～67c：蒙版；70：操作面板；71：显示面板；73：液晶驱动电路基板；74：液晶面板；75：触摸面板；82a：enter键(特定区域)；82b：exit键(特定区域)；83a：设定/解除键；83b：切换键(切换按钮)；85：蒙版区域(要用蒙版覆盖的区域)；85a、85b：角部；86：要去除蒙版的区域；86a、86b：角部；88：密码输入框；90：蒙遮画面；91：标准画面；100：晶片(被加工物)。

具体实施方式

参照附图，对用于实施本发明的方式(实施方式)进行详细的说明。本发明并不被以下实施方式所记载的内容限定。另外，在以下所记载的构成要素中包含本领域技术人员能够容易想到的内容、实质上相同的内容。另外，以下所记载的构成可以适当组合。另外，可以在不脱离本发明的主旨的范围内进行构成的各种省略、置换或变更。

图1是示出本实施方式的激光加工装置的构成例的图。图2是示出显示面板的构成例的图。图3是控制单元的功能框图。如图1所示，激光加工装置(加工装置)1具有卡盘工作台10和激光光线照射部(加工单元)20。激光加工装置1进行激光加工，例如从激光光线照射部20对卡盘工作台10所保持的晶片(被加工物)100照射激光光线，将晶片100分割成规定的大小的器件芯片(未图示)。晶片100例如是半导体晶片或光器件晶片。在晶片100的正面上呈格子状形成有多条间隔道(分割预定线)，在由这些间隔道划分的各区域分别形成有器件。另外，晶片100以通过粘接带101保持于环状的框架102的晶片单元103的形态进行加工和搬送。

激光加工装置1具有：x轴移动单元(加工进给单元)30，其使卡盘工作台10沿着x轴方向(加工进给方向)移动；以及y轴移动部(分度进给单元)40，其使卡盘工作台10沿着y轴方向(分度进给方向)移动。由此，构成为能够使卡盘工作台10和激光光线照射部20在上述的x轴方向和y轴方向上分别相对移动。

激光加工装置1具有盒载置台51，其载置对激光加工前后的晶片100(晶片单元103)进行收纳的盒50。另外，激光加工装置1具有保护膜形成兼清洗部52，该保护膜形成兼清洗部52在激光加工前的晶片100上形成保护膜，并且将保护膜从激光加工后的晶片100去除。另外，激光加工装置1具有：搬送单元53，其将晶片单元103搬送至上述的各部位；控制单元60，其对激光加工装置1的动作整体进行控制；以及操作面板70，其对该控制单元60进行各种信息的输入操作。该操作面板70具有：显示面板71，其能够输入各种信息，并且显示各种信息；以及框架72，其对该显示面板71进行保持。

在对晶片100进行激光加工时，卡盘工作台10对晶片单元103进行保持。卡盘工作台10具有：保持面11，其对晶片单元103进行载置并进行吸引；以及夹持部12，在该保持面11的外周侧配置有多个该夹持部12而对框架102进行固定。

激光光线照射部20固定于装置主体2的壁部3，朝向卡盘工作台10所保持的晶片100(晶片单元103)照射激光光线。激光光线照射部20具有：振荡器(未图示)，其振荡出激光光线；聚光器(未图示)，其对该振荡器所振荡出的激光光线进行会聚；以及照射头21，其将所会聚的激光光线朝向晶片100照射。振荡器根据晶片100的种类、加工方式等，按照预先设定的加工条件对要振荡的激光光线的波长(频率)、输出、重复频率进行适当调整。照射头21能够通过聚光器等光学系统在z轴方向(铅垂方向)上对激光光线的会聚位置(焦点位置)进行调整。

聚光器构成为包含：全反射镜，其对振荡器所振荡出的激光光线的行进方向进行变更；以及聚光透镜，其对激光光线进行会聚；等等。另外，在本实施方式中，激光光线照射部20具有拍摄部22，该拍摄部22与照射头21并排配置在x轴方向上。该拍摄部22是对卡盘工作台10上的晶片100的配置状况以及晶片100的加工状况等进行拍摄的相机。

x轴移动单元30具有：滚珠丝杠31，其在x轴方向上延伸；导轨32，其与滚珠丝杠31平行地配设；脉冲电动机33，其与滚珠丝杠31的一端连结而使滚珠丝杠31转动；以及滑动板34，其下部与导轨32滑动连接，并且在内部具有与滚珠丝杠31螺合的螺母(未图示)。随着滚珠丝杠31的转动，滑动板34被导轨32引导而在x轴方向上移动。另外，在滑动板34上固定有旋转驱动部35，其在内部具有脉冲电动机(未图示)，旋转驱动部35能够使卡盘工作台10旋转规定的角度。在本实施方式中，例如根据拍摄部22所拍摄的晶片100的图像使卡盘工作台10(晶片100)旋转，以便使相互交叉的间隔道分别朝向x轴方向和y轴方向。

另外，y轴移动单元40具有：滚珠丝杠41，其在y轴方向上延伸；导轨42，其与滚珠丝杠41平行地配设；脉冲电动机43，其与滚珠丝杠41的一端连结而使滚珠丝杠41转动；以及滑动板44，其下部与导轨42滑动连接，并且在内部具有与滚珠丝杠41螺合的螺母(未图示)，随着滚珠丝杠41的转动，滑动板44被导轨42引导而在y轴方向上移动。在滑动板44上配设有上述的x轴移动单元30，随着滑动板44的y轴方向的移动，x轴移动单元30也在同方向上移动。盒50能够收纳多张上述的晶片单元103。盒载置台51以在z轴方向上升降自如的方式设置于装置主体2。

如图2所示，操作面板70所具有的显示面板71具有液晶驱动电路基板73、液晶面板74以及触摸面板75，它们按照该顺序层叠配置。触摸面板75例如使用电阻膜方式的触摸面板，其透明度(光透过度)高，从而能够隔着触摸面板75而视觉辨认液晶面板74的显示。因此，当在液晶面板74上显示有用于设定各种加工条件的输入画面及操作画面时，通过用指尖等对触摸面板75触摸操作(例如点击、滑动(swipe)等)，从而能够进行各种操作。另外，也可以代替上述的液晶面板74，使用例如有机el(electro-luminescence：电致发光)面板等。

如图3所示，控制单元60具有控制部61和输入画面登记部62。控制部61具有：显示控制部63，其借助液晶驱动电路基板73对液晶面板74进行控制；以及触摸面板控制部64，其根据触摸面板75的触摸操作，对各部的动作进行控制。显示控制部63使多个图层重叠于液晶面板74而进行显示。在本实施方式中，显示控制部63使蒙版的图层(蒙版)重叠在示出各种输入画面的图像的输入画面的图层上而进行显示，其中，所述蒙版的图层示出将输入画面的规定的区域覆盖的图像。蒙版的图层与输入画面的图层相比位于上方，对于操作者而言，在输入画面的图层的近前侧看到该蒙版的图层。因此，通过蒙版将输入画面的规定的区域覆盖。

显示控制部63构成为能够对与输入画面的图层重叠的蒙版的图层的颜色浓淡进行调整而进行显示。据此，当使蒙版的图层的颜色较浓时，能够容易识别出设置有蒙版的区域和未设置蒙版的区域。另外，当使蒙版的图层的颜色较淡时，能够提高隔着蒙版而显示的输入画面的视觉辨认性。另外，显示控制部63能够对使蒙版的图层与输入画面的图层重叠而显示的蒙遮画面与仅显示输入画面的图层的标准画面进行切换显示。在标准画面中，显示控制部63通过使蒙版的图层显示为透明而能够容易地确认输入画面。

触摸面板控制部64根据对显示于输入画面的操作按钮及数值输入部的触摸或输入操作，对各部进行控制。表示触摸面板75的面上的触摸部位的坐标信息作为触摸信息而传递至触摸面板控制部64，能够识别触摸面板75上的触摸部位。在本构成中，触摸面板控制部64不接受对设置有蒙版的区域的操作，从而使操作者的输入无法实现。

输入画面登记部62登记有用于输入对晶片100进行激光加工时的加工条件的输入画面66a、66b、66c。在本实施方式中，为了便于说明，使输入画面66a、66b、66c的数量为三个，但当然可以根据加工条件的数量进行适当变更。按照各加工工序中的每个加工条件(1、2、3)登记有多个输入画面66a～66c。显示控制部63将与所执行的加工条件对应的输入画面66a～66c的输入画面图层显示在液晶面板74上。

输入画面登记部62具有蒙版登记部65。该蒙版登记部65登记有与多个输入画面66a～66c相关联地指定的蒙版67a～67c。这些蒙版67a～67c与输入画面66a～66c一一对应，能够按照每个输入画面进行设定。在登记有与输入画面66a～66c对应的蒙版67a～67c的情况下，显示控制部63使所对应的蒙版67a～67c的图层重叠在输入画面的图层上而进行显示。蒙版67a～67c防止操作者错误地对输入画面进行输入操作，例如由生产管理部门的蒙版设定者进行设定。

接着，对蒙版的设定动作进行说明。图4是示出输入画面的一例的图。图5～图9是对设定蒙版时的动作顺序进行说明的图。在图4中，输入画面66a被划分为：数据输入区域80，其位于中央部，用于输入加工数据；输入键区域81，其位于数据输入区域80的下方；操作键区域82，其设置于数据输入区域80的一部分(右角)；以及非蒙遮区域83，其位于数据输入区域80的上方。这些区域的划分仅为一例，各区域的位置、大小、种类等可以适当变更。

数据输入区域80是用于输入进行激光加工的加工条件的区域，是被设定蒙版的优先级较高的区域。数据输入区域80例如能够设定id、工件尺寸、加工进给速度、激光输出等。输入键区域81是用于输入各种信息的键(开关)，设置有数字、字母等。操作键区域82是需要在生产(加工)中进行操作的键(开关)，例如设置有用于输入操作者的指示的enter(进入)键82a和用于从目前的显示页面退出到上层页面的exit(退出)键82b。在本实施方式中，操作键区域82是被设定蒙版的优先级最低的区域。非蒙遮区域83是不被设定蒙版的区域，在该非蒙遮区域83例如设置有：用于转至蒙版的设定或解除模式的设定/解除键83a；以及用于在设定有蒙版的状态下切换上述的蒙遮画面和标准画面的切换键(切换按钮)83b。不对非蒙遮区域83设定蒙版，因此即使在对除了非蒙遮区域83以外的各区域80～82设定有蒙版的状态下，也能够对设定/解除键83a和切换键83b进行操作。

在本实施方式中，对在数据输入区域80和输入键区域81设定蒙版的动作进行说明。在要设定蒙版的情况下，蒙版设定者(例如生产管理部门)触摸设置在输入画面66a的非蒙遮区域83的设定/解除键83a。于是，如图5所示，在输入画面66a中显示选择标签84，因此蒙版设定者触摸该选择标签84中的蒙版设定标签84a。由此，蒙版登记部65转至登记对输入画面66a所指定的蒙版区域的蒙版设定模式。在蒙版设定模式中，在蒙版的图层的下方依次重叠有透明的图层和输入画面的图层。透明的图层具有在蒙版设定模式中保护对输入画面的图层的操作的功能，当蒙版设定模式结束时，将透明的图层删除。

接着，对蒙版区域进行指定。蒙版区域的指定是通过指定希望进行蒙遮的区域的角部来进行的。具体而言，如图6所示，蒙版设定者触摸希望进行蒙遮的区域的左上方的角部85a，然后朝向右下方的角部85b滑动。由此，如图7所示，指定出在对角具有角部85a、85b的长方形的蒙版区域85。蒙版区域的指定并不限于滑动操作，也可以点击上述的角部85a、85b，还可以分别点击希望指定的区域(例如长方形)的四个角部(四角)。

接着，对要去除蒙版的区域进行指定。对要去除蒙版的区域的指定与对蒙版区域的指定同样地，是通过指定希望去除蒙版的区域的角部来进行的。具体而言，如图8所示，蒙版设定者在蒙版区域85上触摸希望去除蒙版的区域的左上方的角部86a，然后朝向右下方的角部86b滑动。由此，如图9所示，指定出在对角具有角部86a、86b的长方形的要去除蒙版的区域86(与操作键区域82等同的区域)，并指定出从蒙版区域85将要去除蒙版的区域86去除而得的蒙版67a。最后，触摸设置于输入画面66a的非蒙遮区域83的设定/解除键83a，由此蒙版设定模式结束。蒙版登记部65登记有与输入画面66a对应的蒙版67a。该蒙版67a与输入画面66a重叠地进行显示，使对除了未设定蒙版67a的操作键区域82以外的触摸操作无法进行。另外，在设定有蒙版67a的状态下，通过触摸设置于输入画面66a的非蒙遮区域83的切换键83b，从而能够对重叠显示蒙版67a的蒙遮画面90(参照图9)和使蒙版67a成为透明而仅显示输入画面66a的标准画面91(参照图4)进行切换。在该情况下，通过使蒙版67a成为透明，能够快速且容易地确认设定在输入画面的加工条件。

根据本实施方式，能够在输入画面66a的期望的区域设定蒙版67a，因此能够禁止对设定有该蒙版67a的区域的触摸操作，能够可靠地防止操作者的错误的输入操作。另外，利用输入画面66a中的未设定蒙版67a的操作键区域82，能够实现所需最低限度的输入操作，因此能够实现操作者的作业性的提高。

接着，对蒙版的浓度调整动作进行说明。图10是对调整蒙版的浓度时的动作顺序进行说明的图。蒙版的浓度调整可以由操作者来执行。当操作者触摸设置在输入画面66a的非蒙遮区域83的设定/解除键83a时，如图5所示，在输入画面66a显示出选择标签84。操作者触摸该选择标签84中的蒙版浓淡调整标签84c。由此，蒙版登记部65转至调整对输入画面66a所登记的蒙版67a的浓淡的浓淡调整模式。

当转至浓淡调整模式时，如图10所示，在非蒙遮区域83显示用于调整蒙版透过性(浓淡)的调整条87。在该例中形成为：当将调整点87a向调整条87的右侧移动时，蒙版透过性变高(蒙版67a的颜色变淡)；当将调整点87a向调整条87的左侧移动时，蒙版透过性变低(蒙版67a的颜色变浓)。当使蒙版67a的颜色变浓时，能够容易识别设置有蒙版67a的区域和未设置蒙版67a的区域。另外，当使蒙版67a的颜色变淡时，能够提高隔着蒙版67a而显示的输入画面66a的视觉辨认性。在将蒙版67a的浓淡调整为期望值之后，操作者再次触摸设定/解除键83a，从而能够结束浓淡调整模式。

接着，对蒙版的解除动作进行说明。图11是对解除蒙版时的动作顺序进行说明的图。蒙版的解除优选由蒙版解除者(例如生产管理部门)等具有权限的人员来执行。当蒙版解除者触摸设置在输入画面66a的非蒙遮区域83的设定/解除键83a时，如图5所示，在输入画面66a显示出选择标签84。蒙版解除者触摸该选择标签84中的蒙版解除标签84b。由此，蒙版登记部65转至蒙版解除模式，解除对输入画面66a所登记的蒙版67a。

当转至蒙版解除模式时，如图11所示，在蒙版67a上显示出解除用的密码输入框88。在该情况下，与输入键区域81相当的蒙版被临时解除，从而能够使用输入键来输入密码。另外，在能够使用其他输入单元输入密码的情况下，无需临时解除与输入键区域81相当的蒙版。另外，也可以如下构成：不仅在蒙版的解除动作时，而且在蒙版的设定动作时也需要输入密码。

当在密码输入框88中输入正规的密码时，蒙版登记部65将所登记的与输入画面66a对应的蒙版67a的登记解除。蒙版解除者(例如生产管理部门)再次触摸设定/解除键83a，从而能够结束蒙版解除模式。由此，能够自由进行对输入画面66a的输入。

如以上所说明的那样，本实施方式的激光加工装置1具有：卡盘工作台10，其对晶片100进行保持；激光光线照射部20，其对该卡盘工作台10所保持的晶片100进行加工；操作面板70，其显示输入晶片100的加工条件的输入画面66a～66b；以及控制单元60，其对各构成要素进行控制，控制单元60具有：输入画面登记部62，其登记有多个输入画面66a～66c；以及蒙版登记部65，其按照每个输入画面66a～66c登记有蒙版67a～67c，该蒙版67a～67c将输入画面66a～66c的规定的区域覆盖，使操作者的输入无法进行，当对蒙版登记部65登记该蒙版67a时，对输入画面66a的要用蒙版覆盖的区域85和要去除蒙版的区域86进行指定并进行登记。根据该构成，使用装置的顾客能够根据其用途在输入画面66a的期望的区域设定蒙版67a，因此能够适当且可靠地防止操作者的错误的输入操作。另外，利用输入画面66a中的未设定蒙版67a的操作键区域82，能够实现所需最低限度的输入操作，能够实现操作者的作业性的提高。

另外，根据本实施方式，当要对输入画面66a的蒙版区域85或要去除蒙版的区域86进行指定时，对输入画面66a的蒙版区域85或要去除蒙版的区域86的角部进行指定并进行登记，因此能够容易地指定蒙版区域85或要去除蒙版的区域86，能够容易执行该区域的指定操作。

另外，根据本实施方式，在输入画面66a中显示切换键83b，该切换键83b将显示切换成蒙遮画面90或标准画面91，该蒙遮画面90在输入画面66a上重叠显示蒙版67a，该标准画面91不在输入画面66a上重叠显示蒙版67a，因此通过该切换键83b的操作，能够快速且容易地确认设定在输入画面66a中的加工条件。

另外，根据本实施方式，能够对蒙版67a的颜色的浓淡进行调整来设定隔着蒙版67a而显示的输入画面66a的视觉辨认性，因此当使蒙版67a的颜色较浓时，能够容易地识别出设置有蒙版67a的区域和未设置蒙版67a的区域。另外，当使蒙版67a的颜色较淡时，能够提高隔着蒙版67a而显示的输入画面66a的视觉辨认性。

以上，对本实施方式进行了说明，但本实施方式是作为例子而提示的，并不对发明的范围进行限定。在本实施方式中，在对蒙版区域85或要去除蒙版的区域86进行指定的情况下，通过分别指定这些区域85、86的角部85a、85b、86a、86b来进行，但并不限于此。例如在对要去除蒙版的区域86进行指定的情况下，作为特定区域决定出enter键82a和exit键82b、图4所示的加工模式及进给速度等比较小的输入框等区域。然后，蒙版设定者通过点击等来指定作为该特定区域的enter键82a和exit键82b内的一部分，从而可以指定要去除蒙版的区域86。enter键82a及exit键82b那样的按钮部分由于面积小，因此通过对其内部进行指定(点击)的构成，能够容易地进行区域指定。另外，不仅是对要去除蒙版的区域86的指定，而且对蒙版区域85的指定也可以采用对特定区域内进行指定的方法。本发明也能够应用于切削装置或磨削装置。

另外，在本实施方式中，作为具有显示输入画面的操作面板70的加工装置，例示出激光加工装置进行了说明，但并不限于此，在利用旋转的切削刀具对被加工物进行切削的切削装置、利用旋转的磨削磨具对被加工物进行磨削的磨削装置中也可以应用本发明。