一种晶圆外观检测机的制作方法

本发明属于晶圆检测技术领域，具体涉及一种晶圆外观检测机。

背景技术：

圆晶是指硅半导体集成电路制作所用的硅芯片，由于其形状为圆形，故称为圆晶，晶圆一般被做成直径6英寸，8英寸或者12英寸的圆柱形棒，在对晶圆进行生产时，为了保证晶圆的生产质量，大多会通过检测机对晶圆外观进行检测。

现有的晶圆检测机不使用时，检测台上会占有灰尘，需要对检测台进行清理，防止灰尘粘附在晶圆表面上，在检测时，会影响检测的效果，现有的检测机大多为安装清理装置，清理时比较麻烦的问题，为此我们提出一种晶圆外观检测机。

技术实现要素：

本发明的目的在于提供一种晶圆外观检测机，以解决上述背景技术中提出的现有的晶圆检测机不使用时，检测台上会占有灰尘，需要对检测台进行清理，防止灰尘粘附在晶圆表面上，在检测时，会影响检测的效果，现有的检测机大多为安装清理装置，清理时比较麻烦的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种晶圆外观检测机，包括清理装置，所述清理装置包括固定台、底座、固定板、吹尘枪本体和气泵，所述固定台的上表面开设置有固定滑槽，所述固定板的底端设置有固定卡块，所述固定板和固定台通过卡合连接，所述固定板的顶端设置有活动板，所述活动板的内部开设有固定槽，所述固定槽的一侧设置有吹尘枪本体，所述吹尘枪本体的一侧设置有安装卡块，且所述吹尘枪本体的另一侧设置有吹尘枪枪头，所述底座的上表面设置有气泵，所述气泵和吹尘枪本体通过气管连接。

优选的，所述固定台和底座之间通过支撑柱进行连接，所述固定台的上表面设置有固定架。

优选的，所述固定台的一侧设置有支撑杆，所述支撑杆的外部设置有滑套，所述滑套的内部贯穿设置有拉伸杆，所述拉伸杆的一侧设置有观察镜头。

优选的，所述底座上表面中间位置设置有检测台，所述检测台和固定架为紧密连接结构。

优选的，所述活动板和固定板通过轴承进行连接，活动板在固定板上可以自由旋转。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：本发明通过安装气泵和吹尘枪，通过气泵压缩的空气将气体输送到吹尘枪中，从而对检测台进行清理，吹尘枪通过卡合固定在活动板上，可以将吹尘枪卸下手动进行清理，安装拆卸更加方便，通过转动活动板来改变吹尘枪的清理方向，使得清理效果更好。

附图说明

图1为本发明的结构示意图；

图2为本发明的侧视结构示意图；

图3为本发明的固定板结构示意图；

图4为本发明的吹尘枪枪头结构示意图；

图5为本发明的吹尘枪枪头和固定板连接结构示意图；

图中：1、拉伸杆；2、固定台；3、支撑柱；4、底座；5、支撑杆；6、滑套；7、观察镜头；8、吹尘枪本体；9、固定板；10、固定架；11、检测台；12、吹尘枪枪头；13、固定滑槽；14、气泵；15、活动板；16、固定槽；17、固定卡块；18、安装卡块。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

实施例1

请参阅图1至图5，本发明提供一种技术方案：一种晶圆外观检测机，包括清理装置，清理装置包括固定台2、底座4、固定板9、吹尘枪本体8和气泵14，固定台2的上表面开设置有固定滑槽13，固定板9的底端通过焊接固定有固定卡块17，固定板9和固定台2通过卡合连接，固定板9的顶端通过转轴连接有活动板15，活动板15的内部开设有固定槽16，固定槽16的一侧通过卡合连接吹尘枪本体8，吹尘枪本体8的一侧通过焊接固定安装卡块18，且吹尘枪本体8的另一侧通过转轴连接有吹尘枪枪头12，底座4的上表面通过螺栓固定有气泵14，气泵14和吹尘枪本体8通过气管连接。

为了对晶圆进行固定，本实施例中，优选的，固定台2和底座4之间通过支撑柱3进行连接，固定台2的上表面通过卡合连接有固定架10。

为了方便进行检测，本实施例中，优选的，固定台2的一侧通过螺栓固定有支撑杆5，支撑杆5的外部通过卡合连接有滑套6，滑套6的内部贯穿设置有拉伸杆1，拉伸杆1的一侧通过螺栓固定有观察镜头7。

为了使检测效果更好，本实施例中，优选的，底座4上表面中间位置通过螺栓固定有检测台11，检测台11和固定架10为紧密连接结构。

为了可以控制吹尘枪本体8清理方向，本实施例中，优选的，活动板15和固定板9通过轴承进行连接，活动板15在固定板9上可以自由旋转。

实施例2

请参阅图1至图5，本发明提供一种技术方案：一种晶圆外观检测机，包括清理装置，清理装置包括固定台2、底座4、固定板9、吹尘枪本体8和气泵14，固定台2的上表面开设置有固定滑槽13，固定板9的底端通过焊接固定有固定卡块17，固定板9和固定台2通过卡合连接，固定板9的顶端通过转轴连接有活动板15，活动板15的内部开设有固定槽16，固定槽16的一侧通过卡合连接吹尘枪本体8，吹尘枪本体8的一侧通过焊接固定安装卡块18，且吹尘枪本体8的另一侧通过转轴连接有吹尘枪枪头12，底座4的上表面通过焊接固定有气泵14，气泵14和吹尘枪本体8通过气管连接。

为了对晶圆进行固定，本实施例中，优选的，固定台2和底座4之间通过支撑柱3进行连接，固定台2的上表面通过卡合连接有固定架10。

为了方便进行检测，本实施例中，优选的，固定台2的一侧通过焊接固定有支撑杆5，支撑杆5的外部通过卡合连接有滑套6，滑套6的内部贯穿设置有拉伸杆1，拉伸杆1的一侧通过焊接固定有观察镜头7。

为了使检测效果更好，本实施例中，优选的，底座4上表面中间位置通过焊接固定有检测台11，检测台11和固定架10为紧密连接结构。

为了可以控制吹尘枪本体8清理方向，本实施例中，优选的，活动板15和固定板9通过轴承进行连接，活动板15在固定板9上可以自由旋转。

本发明中的气泵14型号为fky8006。

本发明的工作原理及使用流程：该装置安装后，在对晶圆进行检测前，先对检测台11的表面进行清理，防止检测台11上灰尘影响可晶圆的检测效果，清理时，打开气泵14，气泵14通过电力不停压缩空气，产生气压，从而将气体通过气管输送到吹尘枪本体8中，吹尘枪本体8和活动板15通过卡合连接，且活动板15和固定板9通过轴承连接，可以通过旋转活动板15来改变吹尘枪本体8的吹尘的方向，固定板9可以在固定台2可以水平滑动，可以根据清理的位置对固定板9的位置进行调整，同时也可以将吹尘枪本体8卸下，通过手拿对检测台11进行清理，操作起来非常方便。

尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

技术特征：

技术总结
本发明公开了一种晶圆外观检测机，包括清理装置，所述清理装置包括固定台、底座、固定板、吹尘枪本体和气泵，所述固定台的上表面开设置有固定滑槽，所述固定板的底端设置有固定卡块，所述固定板和固定台通过卡合连接，所述固定板的顶端设置有活动板，所述活动板的内部开设有固定槽，所述固定槽的一侧设置有吹尘枪本体，所述吹尘枪本体的一侧设置有安装卡块；本发明通过安装气泵和吹尘枪，通过气泵压缩的空气将气体输送到吹尘枪中，从而对检测台进行清理，吹尘枪通过卡合固定在活动板上，可以将吹尘枪卸下手动进行清理，安装拆卸更加方便，通过转动活动板来改变吹尘枪的清理方向，使得清理效果更好。

技术研发人员：张乔栋;孙健;陈业;李锋
受保护的技术使用者：江苏纳沛斯半导体有限公司
技术研发日：2018.07.06
技术公布日：2018.12.18