一种刻蚀液回收利用的装置的制作方法

本发明涉及刻蚀工艺槽中废液的二次利用技术领域，具体而言，涉及一种刻蚀液回收利用的装置。

背景技术

多晶硅电池的制造过程中，其中电池片制作工艺中刻蚀清洗设备的工艺槽的药液主要有hf、hno3、h2[sif6]，刻蚀工艺完成以后，多数药液被当成废液进行处理排放，药液利用率较小，增加了电池片的生产成本，且对环境污染严重。

技术实现要素：

本发明的目的在于提供一种刻蚀液回收利用的装置，能够对产生的刻蚀液进行利用，避免资料的浪费，更加环保。

本发明是采用以下技术方案实现的：

一种刻蚀液回收利用的装置，包括刻蚀工艺槽、刻蚀液供应储存箱、hf供应储存箱、纯水供应储存箱和制绒工艺槽；

刻蚀工艺槽与刻蚀液供应储存箱连通，刻蚀液供应储存箱、hf供应储存箱和纯水供应储存箱均与制绒工艺槽连通。

进一步地，本发明较佳的实施例中，上述装置还包括刻蚀液储液槽，刻蚀工艺槽的上端上连接第一溢流管，第一溢流管的远离刻蚀工艺槽的一端连通刻蚀液储液槽，刻蚀工艺槽的下端连接第一管路，第一管路的远离刻蚀工艺槽的一端连通刻蚀液储液槽，第一管路上设置有第一气动隔膜阀，刻蚀液储液槽与刻蚀液供应储存箱连通。

进一步地，本发明较佳的实施例中，上述装置还包括第一排液槽，第一溢流管和第一管路均通过第一排液管与第一排液槽连通，第一溢流管和第一管路均通过第一进液管与刻蚀液储液槽连通，第一进液管上设置有第一手动球阀，第一排液管上设置有第二手动球阀。

进一步地，本发明较佳的实施例中，上述刻蚀液储液槽的上端与第一排液槽通过第二溢流管连通，刻蚀液储液槽的下端与第一排液槽通过第二排液管连通，第二排液管上设置有第二气动隔膜阀。

进一步地，本发明较佳的实施例中，上述刻蚀液储液槽的下端通过抽液管与刻蚀液供应储存箱连通，抽液管上设置有抽液泵。

进一步地，本发明较佳的实施例中，上述刻蚀液供应储存箱通过第二进液管与制绒工艺槽连通，hf供应储存箱通过第三进液管与制绒工艺槽连通，纯水供应储存箱通过第四进液管与制绒工艺槽连通。

进一步地，本发明较佳的实施例中，上述第二进液管上设置有第三气动隔膜阀，第三进液管上设置有第四气动隔膜阀，第四进液管上设置有第五气动隔膜阀。

进一步地，本发明较佳的实施例中，上述装置还包括浓度测试仪，浓度测试仪设置于制绒工艺槽。

进一步地，本发明较佳的实施例中，上述装置还包括第二排液槽，第二排液槽与刻蚀液供应储存箱和制绒工艺槽均连通。

进一步地，本发明较佳的实施例中，上述刻蚀液供应储存箱通过第三排液管与第二排液槽连通，制绒工艺槽的上端通过第三溢流管与第二排液槽连通，制绒工艺槽的下端通过第四排液管与第二排液槽连通。

与现有技术相比，本发明的较佳实施例提供的刻蚀液回收利用的装置的有益效果包括：

刻蚀液包括hf、hno3、h2[sif6]，刻蚀液进入刻蚀液供应储存箱内备用，在刻蚀液中，hf的量相对较少，所以，在制绒工艺的生产过程中，需要补充hf进入制绒工艺槽内，并将刻蚀液供应储存箱内的刻蚀液通入制绒工艺槽内，并加入纯水调节制绒工艺槽内的溶液的浓度，从而进行刻蚀液的回收利用，避免酸溶液的浪费，也能够更加环保。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本发明的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图也属于本发明的保护范围。

图1为本发明实施例提供的刻蚀液回收利用的装置的结构示意图；

图2为本发明实施例提供的刻蚀液回收利用的装置中刻蚀工艺槽、刻蚀液储液槽和第一排液槽的连接结构示意图；

图3为本发明实施例提供的刻蚀液回收利用的装置中刻蚀液储液槽和刻蚀液供应储存箱的连接结构示意图；

图4为本发明实施例提供的刻蚀液回收利用的装置中刻蚀液供应储存箱、hf供应储存箱、纯水供应储存箱、制绒工艺槽和第二排液槽的连接结构示意图。

图标：110－刻蚀工艺槽；120－刻蚀液供应储存箱；130－hf供应储存箱；140－纯水供应储存箱；150－制绒工艺槽；160－刻蚀液储液槽；170－第一排液槽；180－浓度测试仪；190－第二排液槽；121－上液位感应器；122－下液位感应器；111－第一溢流管；112－第一管路；113－第一气动隔膜阀；114－第一耐酸滤芯；115－第一排液管；116－第一进液管；117－第一手动球阀；118－第二手动球阀；171－第二溢流管；172－第二排液管；173－第二气动隔膜阀；174－第二耐酸滤芯；161－抽液管；162－抽液泵；163－第三耐酸滤芯；123－第二进液管；131－第三进液管；141－第四进液管；124－第三气动隔膜阀；132－第四气动隔膜阀；142－第五气动隔膜阀；191－第三排液管；192－第三溢流管；193－第四排液管；194－第六气动隔膜阀；195－第七气动隔膜阀。

具体实施方式

为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本发明实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本发明的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本发明的范围，而是仅仅表示本发明的选定实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。

实施例

请参阅图1，刻蚀液回收利用的装置包括刻蚀工艺槽110、刻蚀液供应储存箱120、hf供应储存箱130、纯水供应储存箱140、制绒工艺槽150、刻蚀液储液槽160、第一排液槽170、浓度测试仪180和第二排液槽190。

本实施例中，在刻蚀工艺槽110内进行刻蚀工艺以后，刻蚀工艺槽110内存在刻蚀液，刻蚀液中含有hf、hno3、h2[sif6]，现有技术中通常对刻蚀液进行处理排放，浪费资源，污染环境。

由于制绒工艺的工艺原理为：si+4hno3+6hf＝h2[sif6]+4no3+4h2o，即刻蚀液中的hf和hno3为制绒工艺的反应原料，所以，将刻蚀液进行二次利用，刻蚀液通过制绒工艺槽150中，进行制绒工艺操作，避免酸溶液的浪费，也有利于环保。

可选地，刻蚀工艺槽110与刻蚀液供应储存箱120连通，刻蚀液供应储存箱120、hf供应储存箱130和纯水供应储存箱140均与制绒工艺槽150连通。

刻蚀液进入刻蚀液供应储存箱120内备用，在刻蚀液中，hf的量相对较少，所以，在制绒工艺的生产过程中，需要补充hf进入制绒工艺槽150内，并将刻蚀液供应储存箱120内的刻蚀液通入制绒工艺槽150内，并加入纯水调节制绒工艺槽150内的溶液的浓度，从而进行刻蚀液的回收利用，避免酸溶液的浪费，也能够更加环保。

可选地，刻蚀液供应储存箱120上设置有上液位感应器121和下液位感应器122，刻蚀工艺槽110内的刻蚀液通入刻蚀液供应储存箱120内，当上液位感应器121感应到刻蚀液到达上液位处时，停止通入刻蚀液到刻蚀液供应储存箱120内，当下液位感应器122感应到刻蚀液到达下液位处时，开始通入刻蚀液到刻蚀液供应储存箱120内。

需要说明的是：上液位感应器121和下液位感应器122为现有的液位感应器，感应刻蚀液供应储存箱120内液位的原理与现有技术相同，本实施例未对其进行改进。

请参阅图2，刻蚀工艺槽110的上端上连接第一溢流管111，第一溢流管111的远离刻蚀工艺槽110的一端连通刻蚀液储液槽160，刻蚀工艺槽110的下端连接第一管路112，第一管路112的远离刻蚀工艺槽110的一端连通刻蚀液储液槽160，第一管路112上设置有第一气动隔膜阀113，刻蚀液储液槽160与刻蚀液供应储存箱120连通。

在刻蚀工艺槽110正常生产的过程中，刻蚀工艺槽110内的刻蚀液溢流进入刻蚀液储液槽160内，以便其进行利用。在刻蚀工艺槽110停止运行的时候，第一气动隔膜阀113开启，刻蚀工艺槽110内的刻蚀液通过第一管路112流进刻蚀液储液槽160内。可选地，第一管路112的靠近刻蚀工艺槽110的一端设置有第一耐酸滤芯114，使刻蚀液经过过滤以后进入第一管路112内。

刻蚀工艺槽110内的刻蚀液通过第一管路112流进刻蚀液储液槽160内。可选地，第一管路112的靠近刻蚀工艺槽110的一端设置有第一耐酸滤芯114，使刻蚀液经过过滤以后进入第一管路112内。

第一溢流管111和第一管路112均通过第一排液管115与第一排液槽170连通，第一溢流管111和第一管路112均通过第一进液管116与刻蚀液储液槽160连通，第一进液管116上设置有第一手动球阀117，第一排液管115上设置有第二手动球阀118。

在刻蚀工艺槽110正常生产的过程中，第二手动球阀118关闭，第一手动球阀117打开，刻蚀工艺槽110内的刻蚀液溢流进入第一溢流管111内，经过第一进液管116进入刻蚀液储液槽160内。第一进液管116的靠近刻蚀液储液槽160的一端设置有第二耐酸滤芯174。刻蚀液储液槽160内的液体足够的时候，打开第二手动球阀118，关闭第一手动球阀117，使刻蚀液进入第一排液槽170内。

在刻蚀工艺槽110停止运行的时候，第一气动隔膜阀113开启，第二手动球阀118关闭，第一手动球阀117打开，刻蚀工艺槽110内的刻蚀液流入第一管路112，经过第一进液管116进入刻蚀液储液槽160内。刻蚀液储液槽160内的液体足够的时候，打开第二手动球阀118，关闭第一手动球阀117，使刻蚀液进入第一排液槽170内。

刻蚀液储液槽160的上端与第一排液槽170通过第二溢流管171连通，刻蚀液储液槽160的下端与第一排液槽170通过第二排液管172连通，第二排液管172上设置有第二气动隔膜阀173。

刻蚀液储液槽160内的液体较多时，会通过第二溢流管171溢流进入第二排液槽190内，或者开启第二气动隔膜阀173，通过第二排液管172将刻蚀液储液槽160内的液体排入第二排液槽190内。

请参阅图3，刻蚀液储液槽160的下端通过抽液管161与刻蚀液供应储存箱120连通，抽液管161上设置有抽液泵162。

在需要将刻蚀液储液槽160内的刻蚀液转入刻蚀液供应储存箱120内进行制绒工艺生产的时候，启动抽液泵162，刻蚀液储液槽160内将刻蚀液抽入刻蚀液供应储存箱120内。可选地，抽液管161的靠近刻蚀液储液槽160的一端设置有第三耐酸滤芯163。

请参阅图4，刻蚀液供应储存箱120通过第二进液管123与制绒工艺槽150连通，hf供应储存箱130通过第三进液管131与制绒工艺槽150连通，纯水供应储存箱140通过第四进液管141与制绒工艺槽150连通。第二进液管123上设置有第三气动隔膜阀124，第三进液管131上设置有第四气动隔膜阀132，第四进液管141上设置有第五气动隔膜阀142。

在进行制绒工艺生产的时候，打开第三气动隔膜阀124、第四气动隔膜阀132和第五气动隔膜阀142，将刻蚀液供应储存箱120内的刻蚀液，hf供应储存箱130内的hf和纯水供应储存箱140内的纯水通入制绒工艺槽150内进行制绒工艺的生产。可选地，纯水供应储存箱140为纯水供应储存箱，通入纯水进行制绒工艺的生产。

浓度测试仪180设置于制绒工艺槽150，能够检测制绒工艺槽150内的hf和hno3的浓度，hf的浓度过高，则关闭第四气动隔膜阀132，打开第五气动隔膜阀142和第三气动隔膜阀124，进行浓度的调节，如果hno3的浓度过高，则关闭第三气动隔膜阀124，打开第四气动隔膜阀132和第五气动隔膜阀142，进行浓度的调节。

需要说明的是：浓度测试仪180为现有的浓度测试仪180，浓度测试仪180的工作原理与现有技术相同，本实施例未对其进行改进。

第二排液槽190与刻蚀液供应储存箱120和制绒工艺槽150均连通。刻蚀液供应储存箱120内多余的刻蚀液和制绒工艺槽150内反应以后的液体都能够进入第二排液槽190内进行排液。

可选地，刻蚀液供应储存箱120通过第三排液管191与第二排液槽190连通，制绒工艺槽150的上端通过第三溢流管192与第二排液槽190连通，制绒工艺槽150的下端通过第四排液管193与第二排液槽190连通。

第三排液管191上设置有第六气动隔膜阀194，第四排液管193上设置有第七气动隔膜阀195，刻蚀液供应储存箱120内刻蚀液过多，则开启第六气动隔膜阀194，将刻蚀液供应储存箱120内刻蚀液排入第二排液槽190内；若制绒工艺槽150正常生产的过程中，制绒工艺槽150内的液体过多，则通过第三溢流管192溢流进入第二排液槽190内，若制绒工艺槽150停止生产，则打开第七气动隔膜阀195，制绒工艺槽150内的液体通过第四排液管193排入第二排液槽190内。

本实施例中，刻蚀液回收利用的装置还包括控制系统，控制系统与上液位感应器121、下液位感应器122、抽液泵162、浓度测试仪180、第三气动隔膜阀124、第四气动隔膜阀132和第五气动隔膜阀142均电连接。

当上液位感应器121感应到刻蚀液供应储存箱120内的液体到达上液位液面时，将信号传递给控制系统，控制系统发送第一控制信号给抽液泵162，控制抽液泵162停止工作；当下液位感应器122感应到刻蚀液供应储存箱120内的液体到达下液位液面时，将信号传递给控制系统，控制系统发送第二控制信号给抽液泵162，控制抽液泵162启动。

当浓度测试仪180检测到hf的浓度信号，将信号传递给控制系统，控制系统接收到hf的浓度信号，与控制系统的预留信号值进行比较，判断hf的浓度过高或过低，如果浓度过高，则发出第三控制信号给第三气动隔膜阀124、第四气动隔膜阀132和第五气动隔膜阀142，关闭第四气动隔膜阀132，打开第五气动隔膜阀142和第三气动隔膜阀124，降低hf的浓度；如果浓度过低，则发出第四控制信号给第三气动隔膜阀124、第四气动隔膜阀132和第五气动隔膜阀142，关闭第三气动隔膜阀124和第五气动隔膜阀142，打开第四气动隔膜阀132，增加hf的浓度。

当浓度测试仪180检测到hno3的浓度信号，将信号传递给控制系统，控制系统接收到hno3的浓度信号，与控制系统的预留信号值进行比较，判断hno3的浓度过高或过低，如果浓度过高，则发出第五控制信号给第三气动隔膜阀124、第四气动隔膜阀132和第五气动隔膜阀142，关闭第三气动隔膜阀124，打开第四气动隔膜阀132和第五气动隔膜阀142，降低hno3的浓度；如果浓度过低，则发出第六控制信号给第三气动隔膜阀124、第四气动隔膜阀132和第五气动隔膜阀142，打开第三气动隔膜阀124，关闭第四气动隔膜阀132和第五气动隔膜阀142，增加hno3的浓度。

以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。