技术特征:
技术总结
一种BSI图像传感器及其形成方法,所述BSI图像传感器包括:半导体衬底,所述半导体衬底的正面形成有逻辑器件;多个光电转换块,位于所述半导体衬底的背面,每个光电转换块包括堆叠的至少三层光电转换结构,每层光电转换结构均包括光电转换层以及连接结构,其中,不同的光电转换层经由所述连接结构电连接至不同的逻辑器件。本发明方案可以形成更多的光生载流子,减少对半导体衬底的损伤,降低生产成本,减少工艺复杂度。
技术研发人员:吴明;吴孝哲;林宗贤;吴龙江;熊建锋;薛超
受保护的技术使用者:德淮半导体有限公司
技术研发日:2018.09.13
技术公布日:2019.01.18