液滴排出装置、液滴排出方法、程序和计算机存储介质与流程

本发明涉及对工件排出功能液的液滴来进行描绘的液滴排出装置、使用该液滴排出装置的液滴排出方法、程序和计算机存储介质。

背景技术：

一直以来，作为使用功能液对工件进行描绘的装置，已知使该功能液成为液滴而排出的喷墨方式的液滴排出装置。液滴排出装置广泛用于例如在制造有机el装置、彩色过滤器、液晶显示装置、等离子体显示器(pdp装置)、电子发射装置(fed装置、sed装置)等电光装置(flatpaneldisplay(平板显示器)，fpd)时等。

在液滴排出装置中，从液滴排出头向工件排出功能液的液滴，但是，为了恰当地对工件的进行描绘，要求排出液滴的正确性。因此，在进行描绘前，检查液滴排出头的各排出嘴的排出状态是否优良。具体而言，从液滴排出头向检查用的载置媒介上为检查而排出液滴，由拍摄装置(摄像机)拍摄该为检查而排出的液滴。通过对该拍摄图像进行图像处理，测定液滴的面积或者液滴着液位置，检测排出嘴的排出状态是否优良。

另外，在液滴排出装置中，通常来自液滴排出头的各排出嘴的排出量存在偏差。因此，为了无偏差而均匀地涂敷功能液，预先测定液滴排出头的各排出嘴的排出量偏差，根据该检查数据来控制排出量。该排出量测定检查中，也使用与上述排出状态是否优良的检查相同的液滴检查装置和检查方法。

在这样的液滴检查中，例如专利文献1中提出了一种检查台，其在检查用载置媒介为长条状的检查片的情况下，用于平坦(无起伏)地载置该检查片。即，检查台包括：吸附的方式载置检查片的多孔板；在上部水平的保持多孔板的框形架；与多孔板的下表面相对形成在框形架的内侧，并且与真空吸引机构连通的气室。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2007-237123号公报

技术实现要素：

发明要解决的技术问题

然而，在液滴检查中，摄像机的数量存在限制，因此在从液滴排出头向检查用的载置媒介上为检查而排出液滴后，难以一次性将摄像机应拍摄的区域拍摄全。因此，将应拍摄的区域分割为多个，1个摄像机移动，在每个上述被分割的区域拍摄液滴(以下，将该拍摄称为分割拍摄)。在如上述方式进行分割拍摄的情况下，在拍摄一个区域的期间，在其他区域中存在液滴干燥的情况。在该情况下，根据拍摄图像测定的液滴的面积发生变化，因此，无法正确地测定液滴量。

但是，在包括上述的专利文献1的现有的检查方法中，未考如上那样液滴随时间而干燥的情况，无法正确地测定液滴量。特别是液滴的易干性根据功能液的种类不同而不同，因此，在使用某些功能液的情况下，液滴不干燥就能够进行检查，但是在使用其他功能液的情况下，液滴干燥而无法恰当地进行检查，产生这样的偏差。因此，现有的液滴检查中存在改善的余地。

本发明是鉴于上述情况而完成的，其目的在于抑制为检查而排出到检查用载置媒介的液滴干燥，恰当地进行液滴检查。

用于解决技术问题的技术手段

用于解决上述课题的本发明为一种向工件排出功能液的液滴以进行描绘的液滴排出装置，其特征在于，包括：向上述工件排出液滴的液滴排出头；检查用载置媒介，其承接来自上述液滴排出头的检查排出物；检查用盖，其覆盖为检查而排出到上述检查用载置媒介的液滴；和拍摄部，其透过上述检查用盖，来拍摄为检查而排出到上述检查用载置媒介的液滴。

根据本发明，在从液滴排出头向检查用载置媒介为检查而排出液滴之后，以覆盖为检查而排出到检查用载置媒介的液滴的方式配置检查用盖。这样一来，通过该检查用盖能够抑制液滴蒸发，能够抑制液滴干燥。之后，透过检查用盖，利用拍摄部来拍摄为检查而排出到检查用载置媒介的液滴。由于在检查用盖覆盖液滴的状态下进行该拍摄，因此如预想那样能够抑制液滴干燥，能够抑制拍摄图像中的液滴的面积的变化。因此，能够根据拍摄图像来正确地测定液滴的面积，进而能够根据该液滴的面积正确地换算液滴量，其结果，能够恰当地进行液滴检查。

也可以为在上述液滴排出装置中，上述检查用盖为透明的材质，是能够降低或防止光的反射的盖。

也可以为在上述液滴排出装置中，还包括支承上述检查用盖的盖支承部，上述检查用盖、上述盖支承部和上述检查用载置媒介形成用于收纳为检查而排出到上述检查用载置媒介的液滴的密闭空间。

也可以为在上述液滴排出装置中，上述密闭空间被划分为多个。

也可以为在上述液滴排出装置中，从上述液滴排出头为检查而排出的液滴渗透到上述检查用载置媒介中，上述检查用盖配置在渗透了液滴的上述检查用载置媒介上。

也可以为在上述液滴排出装置中，还包括支承上述拍摄部的拍摄支承部，在从上述液滴排出头进行检查排出时，上述检查用盖由上述拍摄支承部保持。

也可以为在上述液滴排出装置中，还包括使上述检查用载置媒介在水平方向移动的载置媒介移动机构，在从上述液滴排出头进行检查排出时，上述检查用盖由上述载置媒介移动机构保持。

根据本发明的另一方面，提供一种从液滴排出头向工件排出功能液的液滴以进行描绘的液滴排出方法，其特征在于，包括：检查排出步骤，其从上述液滴排出头向检查用载置媒介为检查而排出液滴；盖配置步骤，其以覆盖为检查而排出到上述检查用载置媒介的液滴的方式配置检查用盖；拍摄步骤，其透过上述检查用盖，利用拍摄部来拍摄为检查而排出到上述检查用载置媒介的液滴；和检查步骤，其根据上述拍摄部拍摄的图像，来检查上述液滴。

也可以为在上述液滴排出方法中，上述检查用盖为透明的材质，是能够降低或防止光的反射的盖。

也可以为在上述液滴排出方法中，在上述盖配置步骤中，由上述检查用盖、支承上述检查用盖的盖支承部和上述检查用载置媒介，形成用于收纳为检查而排出到上述检查用载置媒介的液滴的密闭空间。

也可以为在上述液滴排出方法中，上述密闭空间被划分为多个。

也可以为在上述液滴排出方法中，在上述检查排出步骤中，从上述液滴排出头为检查而排出的液滴渗透到上述检查用载置媒介中，在上述盖配置步骤中，上述检查用盖配置在渗透了液滴的上述检查用载置媒介上。

也可以为在上述液滴排出方法中，在上述检查排出步骤中，上述检查用盖由支承上述拍摄部的拍摄支承部保持。

也可以为在上述液滴排出方法中，在上述检查排出步骤中，上述检查用盖由使上述检查用载置媒介在水平方向移动的载置媒介移动机构保持。

也可以为在上述液滴排出方法中，还包括排出量调整步骤，其根据上述检查步骤中的检查结果，调整来自上述液滴排出头的液滴的排出量。

根据本发明的另一方面，提供一种程序，其在该液滴排出装置的计算机上运行，使得通过液滴排出装置执行上述液滴排出方法。

另外，根据本发明的另一方面，提供一种计算机可读取的存储介质，其存储有上述程序。

发明效果

根据本发明，能够抑制检查排出到检查用载置媒介的液滴的干燥，恰当地进行液滴检查。

附图说明

图1是示意性地表示第一实施方式的液滴排出装置的概略结构的侧面图。

图2是示意性地表示第一实施方式的液滴排出装置的概略结构的平面图。

图3是示意性地表示第一实施方式的拍摄单元的概略结构的侧面图。

图4(a)～图4(c)是表示使用第一实施方式的拍摄单元来拍摄液滴的状态的说明图。

图5是表示第一实施方式的工件处理的主要的步骤的流程图。

图6是第一实施方式的液滴排出装置的处理动作的说明图。

图7是第一实施方式的液滴排出装置在处理位置的处理动作的说明图。

图8是第一实施方式的液滴排出装置的处理动作的说明图。

图9是第一实施方式的液滴排出装置在处理位置的处理动作的说明图。

图10是表示在第一实施方式中在载置介质上配置有罩体的状态的说明图。

图11是第一实施方式的液滴排出装置的处理动作的说明图。

图12是第一实施方式的液滴排出装置的处理动作的说明图。

图13是表示用于实际验证第一实施方式的效果的实验结果的图表。

图14(a)和图14(b)是示意性地表示第一实施方式的变形例1的罩体的概略结构的侧面图。

图15是示意性地表示第一实施方式的变形例2的拍摄单元的概略结构的侧面图。

图16是示意性地表示第二实施方式的拍摄单元的概略结构的侧面图。

附图标记说明

1液滴排出装置

20载运单元

23载运件

24液滴排出头

30拍摄单元

31摄像机

32、200盖

33盖支承部

33a支架

34罩体

35摄像机支承部

36移动机构

40工件台

50排出检查单元

51载置介质

52载置介质保持部

60第二x轴滑动件

70维护单元

80擦拭单元

90吸引单元

100控制部

a载运区域

d液滴

s密闭空间

w工件。

具体实施方式

以下，参照附图说明本发明的实施方式。此外，在本说明书和附图中，对实质上具有相同的功能结构的要素，标注相同的附图标记，而省略重复的说明。

<1.第一实施方式>

首先，参照图1和图2，说明本发明的第一实施方式的液滴排出装置的结构。图1是示意性地表示本实施方式的液滴排出装置1的概略结构的侧面图。图2是示意性地表示本实施方式的液滴排出装置1的概略结构的平面图。此外，在以下述说中，将工件w的主扫描方向设为x轴方向，将与主扫描方向正交的副扫描方向设为y轴方向，将与x轴方向和y轴方向正交的铅垂方向设为z轴方向，将绕z轴方向转动的转动方向设为θ方向。

液滴排出装置1具有：在主扫描方向(x轴方向)延伸，使工件w在主扫描方向移动的x轴台10；和跨x轴台10地架设，在副扫描方向(y轴方向)延伸的一对y轴台11、11。在x轴台10的上表面，一对x轴导轨12、12在x轴方向延伸地设置，在各x轴导轨12设置有x轴线性电机(未图示)。各y轴台11的上表面，y轴导轨13在y轴方向延伸地设置，在该y轴导轨13设置有y轴线性电机(未图示)。

在一对y轴台11、11设置有载运单元20和拍摄单元30。在x轴台10上设置有工件台40和排出检查单元50。在x轴台10的外侧(y轴负向侧)，在一对y轴台11、11之间设置有维护单元70。

(载运单元)

在y轴台11中设置有多个(例如10个)载运单元20。各载运单元20包括载运板21、载运转动机构22、载运件23、液滴排出头24。

载运板21安装在y轴导轨13上，通过设置于该y轴导轨13的y轴线性电机，而能够在y轴方向移动。此外，能够使多个载运板21一体地在y轴方向移动。

在载运板21的下表面的中央，设置有载运转动机构22，在该载运转动机构22的下端部可拆卸地安装有载运件23。载运件23通过载运转动机构22，而在θ方向可转动。此外，在工件台40设置有拍摄载运件23的载运对位摄像机(未图示)。而且，根据由载运对位摄像机拍摄的图像，通过载运转动机构22来校正载运件23的θ方向的位置。

在载运件23的下表面，设置有多个液滴排出头24。在本实施方式中，例如在x轴方向设置有3个液滴排出头24，在y轴方向设置有2个液滴排出头24，即共计6个液滴排出头24。在液滴排出头24的下表面，即喷嘴面形成多个排出嘴(未图示)，从该排出嘴排出功能液的液滴。

(拍摄单元)

拍摄单元30拍摄为检查而排出到排出检查单元50的后述的载置介质51的液滴。图3是示意性地表示拍摄单元30的概略结构的侧面图。图4(a)～图4(c)是表示使用拍摄单元30拍摄液滴的状态的说明图。

拍摄单元30包括：作为拍摄部的摄像机31；作为检查用盖的盖32；和支承盖32的盖支承部33。盖32与盖支承部33形成为一体，在以下的说明中，有时将上述盖32和盖支承部33称为罩体34。

如图1所示，摄像机31和罩体34被作为拍摄支承部的摄像机支承部35支承，上述摄像机支承部35设置于一对y轴台11、11中x轴正向侧的y轴台11的侧面。在摄像机支承部35设置有使摄像机31移动的移动机构(未图示)，摄像机31能够在y轴方向移动。另外，如图3所示，在摄像机支承部35设置有使罩体34移动的移动机构36。移动机构36设有载置并保持盖支承部33的外周部的保持部36a，通过移动机构36在x轴方向上移动，可进行罩体34的保持和释放。另外，罩体34通过移动机构36而能够在铅垂方向移动。

摄像机31例如与载运单元20(载运件23)对应设置，例如设置10个。另外，罩体34例如也与载运单元20和摄像机31对应设置，例如设置10个。

而且，如图4(a)～图4(c)所示，当利用拍摄单元30拍摄为检查而排出到后述的载置介质51的液滴d时，以覆盖该液滴d的方式将罩体34配置在载置介质51上。具体而言，罩体34覆盖一个载运件23排出液滴d的区域a(以下称为载运区域a)。而且，利用摄像机31从盖32的上方透过该盖32来拍摄载运区域a的液滴d。此外，在利用摄像机31进行拍摄时，来自照明器具(未图示)的照明光照射到液滴d。在本实施方式中，例如作为照明器具的光源能够使用例如同轴式的led。

在该情况下，对于盖32，要求能够利用摄像机31进行拍摄，可以使用透明的材质。另外，为了抑制由反射光的干涉而引起的牛顿环，盖32也可以使用能够减少或防止照明光的反射的盖。本实施方式中，作为盖32，例如能够使用低反射玻璃。低反射玻璃中，在玻璃表面施有多层涂层，能够减少照明光的反射。但是，盖32只要具有上述的功能即可，可以使用任意的盖，例如也可以使用防反射玻璃(无反射玻璃)。防反射玻璃在玻璃表面形成有极小的凹凸，能够使反射光扩散，防止照明光的反射。另外，作为盖32，例如还可以在透明的玻璃或者石英等基板上粘贴防反射膜。

盖支承部33具有俯视时包围载运区域a的液滴d的大致矩形形状。而且，在将罩体34配置在载置介质51上方时，由盖32、盖支承部33和载置介质51形成密闭空间e。此外，为了提高密闭空间e的气密性，优选使盖支承部33与载置介质51密接，盖支承部33优选使用例如具有弹性的材质。

此外，从如后述那样抑制液滴d干燥的观点出发，密闭空间e优选尽可能小。因此，在考虑液滴d不与盖32干涉或者液滴d收纳于摄像机31的动作距离内等各种装置的限制的基础上，盖支承部33(盖32)的高度被设定得尽可能小。

(工件台)

如图1和图2所示，工件台40例如是真空吸附台，用于吸附并载置工件w。工件台40通过设置在该工件台40的下表面侧的台转动机构41，以在θ方向可转动的方式被支承。此外，在y轴台11的x轴负向侧，即工件台40的上方设置有工件对位摄像机(未图示)，其用于拍摄工件台40上的工件w的对位标记。并且，根据由工件对位摄像机拍摄的图像，通过台转动机构41来校正载置在工件台40的工件w的θ方向的位置。

工件台40和台转动机构41由设置在台转动机构41的下表面侧的第一x轴滑动件42支承。第一x轴滑动件42安装在x轴导轨12上，通过设置在该x轴导轨12的x轴线性电机，而能够在x轴方向移动。而且，工件台40(工件w)通过第一x轴滑动件42，也沿x轴导轨12而能够在x轴方向移动。

(排出检查单元)

排出检查单元50是承接来自液滴排出头24的检查排出物的单元。排出检查单元50包括：在y轴方向延伸的作为检查用载置媒介的载置介质51；和同样在y轴方向延伸，吸附并保持载置介质51的载置介质保持部52。本实施方式中，载置介质51能够使用在表面(上表面)施有具有拨液性的涂膜(filmcoating)的拨液膜。载置介质51用于在载置介质保持部52被引导到液滴排出头24的正下方时，使得从液滴排出头24排出的液滴d着液其上。另外，载置介质保持部52平坦地吸附并保持膜状的载置介质51。

排出检查单元50搭载于作为载置媒介移动机构的第二x轴滑动件60。第二x轴滑动件60安装在x轴导轨12上，通过设置在该x轴导轨12的x轴线性电机，而能够在x轴方向移动。而且，排出检查单元50通过第二x轴滑动件60，也能够沿x轴导轨12而在x轴方向移动。

(维护单元)

维护单元70进行液滴排出头24的维护，消除该液滴排出头24的不良排出状态。维护单元70包括擦拭单元80和吸引单元90。擦拭单元80和吸引单元90从x轴台10侧依次在y轴方向排列配置。另外，擦拭单元80和吸引单元90以位于载运件23的下方的方式配置。

(擦拭单元)

擦拭单元80是对在液滴排出头24中形成有多个排出嘴的喷嘴面进行拂拭的单元。擦拭单元80具有拂拭辊81。而且，当载运件23被引导到擦拭单元80的上方时，拂拭辊81与载运件23的液滴排出头24的喷嘴面接触，以对该喷嘴面进行拂拭。

(吸引单元)

吸引单元90是从液滴排出头24吸引功能液的单元。在吸引单元90，在y轴方向排列设置多个(例如10个)分割吸引组件91。该分割吸引组件91的数量与载运件23的数量相同。各分割吸引组件91吸引对应的载运件23的液滴排出头24，并将功能液强制性地从该液滴排出头24的排出嘴排出。另外，各分割吸引组件91在液滴排出装置1为休止状态时，与液滴排出头24的喷嘴面密接来抑制功能液干燥。

以上的液滴排出装置1中设置有控制部100。控制部100例如是计算机，并设有数据存储部(未图示)。数据存储部中存储有例如描绘数据(位图数据)等，上述描绘数据用于控制排出到工件w的液滴d，在该工件w上描绘规定的图案。另外，控制部100设有程序存储部(未图示)。在程序存储部中存储有用于控制液滴排出装置1中的各种处理的程序和控制驱动系统的动作的程序等。

此外，上述数据和上述程序存储在例如计算机可读取的硬盘(hd)、软盘(fd)、光盘(cd)、磁盘(mo)、存储卡等的计算机可读取的存储介质中，也可以从该存储介质安装到控制部100。

接着，说明使用如以上方式构成的液滴排出装置1进行的工件处理。图5是表示该工件处理的主要的步骤的例子的流程图。在以下的说明中，在x轴台10上，将比y轴台11更靠x轴负向侧的位置称为运入运出位置p1，将一对y轴台11、11间的位置称为处理位置p2，将比y轴台11更靠x轴正向侧的位置称为待机位置p3。另外，将x轴台10的y轴负向侧，即一对y轴台11、11间的位置称为维护位置p4。

首先，如图6所示，通过第二x轴滑动件60使排出检查单元50从待机位置p3向处理位置p2移动。如图7所示，在处理位置p2，将排出检查单元50的载置介质51配置在液滴排出头24的下方，从液滴排出头24向该载置介质51为检查而排出液滴d(图5的步骤s1)。此时，载置介质51可以使用拨液膜，因此，液滴d以维持其形状的状态存在。此外，在步骤s1中，罩体34由移动机构36(摄像机支承部35)保持。

之后，如图8所示，使排出检查单元50向x轴正向侧移动，将排出检查单元50的载置介质51配置在摄像机31的下方。接着，如图9所示，通过移动机构36使罩体34下降，配置在载置介质51上(图5的步骤s2)。在该步骤s2中，罩体34以覆盖载运区域a的液滴d的方式配置。而且，罩体34和载置介质51形成收纳该载运区域a的液滴d的密闭空间e。在该密闭空间e中，能够使液滴d成为饱和状态，能够使液滴d不蒸发并抑制干燥。

而且，使摄像机31相对于密闭空间e在y轴方向适当地移动，如图9所示，通过摄像机31拍摄为检查而排出到载置介质51的液滴d(图5的步骤s3)。在该步骤s3中，摄像机31透过盖32来拍摄载运区域a的液滴d。该拍摄时，盖32是透明的，因此摄像机31能够恰当地拍摄液滴d。另外，在摄像机31拍摄液滴d时，来自照明器具的照明光照射到液滴d。此处，盖32可以使用低反射玻璃，因此能够抑制由照明光与反射光的干涉而导致的牛顿环。

在此，如图10所示，在步骤s1中，从一个载运件23向载运区域a为检查而排出液滴d。如上所述，在本实施方式中，载运件23、摄像机31、罩体34的数量各自对应，为相同的数量，因此在步骤s2中，以覆盖一个载运区域a的方式配置一个罩体34。另外，在步骤s3中，通过使摄像机31移动，在由载运区域a分割而成的多个分割区域的每一个中，拍摄(分割拍摄)液滴d。

另外，在摄像机31移动来拍摄液滴d的分割拍摄中，一直以来，如上所述，在拍摄一个分割区域期间，在其他分割区域中液滴干燥。在这一点上，在本实施方式中，由罩体34和载置介质51形成密闭空间e。这样一来，如上所述，能够为在密闭空间e中使液滴d成为饱和状态，液滴d不蒸发。因此，能够抑制液滴d干燥，能够在载运区域a恰当拍摄多个分割区域的液滴d。

此外，在分割区域中，可以向实际描绘使用的液滴d的外周部排出替代液滴。在该情况下，排出到外周部的替代液滴与排出到其内侧的液滴d相比容易干燥，因此能够进一步抑制该内侧的液滴d干燥。

在步骤s3中，拍摄的图像被输出到控制部100。在控制部100中，根据拍摄的图像，检查液滴排出头24中的排出嘴的排出量(图5的步骤s4)。具体而言，在控制部100中，通过对拍摄图像进行图像处理，掌握液滴d的轮廓以测定该液滴d的面积，然后根据测定的液滴d的面积来换算液滴量，求出排出嘴的排出量的相对比。

之后，根据步骤s4的检查结果，调整液滴排出头24中的排出嘴的排出量(图5的步骤s5)。在此，工件w例如是有机el装置、彩色滤波器、液晶显示装置、等离子体显示器、平板显示器等，在该工件w中形成有作为发光元件的像素。而且，在步骤s5中，例如根据在步骤s4中求出的来自各排出嘴的相对排出量，与对工件w的各像素进行描绘的喷嘴编号和描绘液滴数量，来计算出对各像素进行描绘的排出量，根据该结果对来自液滴排出头24的排出嘴的排出量进行反馈控制。

此外，在步骤s5中，使排出检查单元50从处理位置p2向待机位置p3移动。

如上所述，在进行步骤s1～s5的排出检查和排出量调整的期间，在运入运出位置p1配置工件台40，通过运送机构(未图示)将运入液滴排出装置1的工件w载置到该工件台40。接着，通过工件对位摄像机拍摄工件台40上的工件w的对位标记。然后，根据该拍摄的图像，通过台转动机构41来校正载置在工件台40的工件w的θ方向的位置，进行工件w的对位(图5的步骤s6)。

之后，如图11所示，通过第一x轴滑动件42使工件台40从运入运出位置p1向处理位置p2移动。在处理位置p2，从该液滴排出头24向移动到液滴排出头24的下方的工件w排出液滴。然后，使工件台40进一步向待机位置p3侧移动，使得工件w的整个面通过液滴排出头24的下方。然后，使工件w在x轴方向往复运动，并且使载运单元20适当地在y轴方向移动，在工件w描绘规定的图案(图5的步骤s7)。

之后，如图12所示，使工件台40从待机位置p3向运入运出位置p1移动。当工件台40向运入运出位置p1移动时，从液滴排出装置1运出结束了描绘处理的工件w。接着，将下一工件w运入液滴排出装置1，进行上述的步骤s5的工件w的对位(图5的步骤s8)。

如上所述的那样，对各工件w执行步骤s1～s8，一系列的工件处理结束。此外，进行步骤s1～s5的排出检查和排出状态调整的时刻是任意的。例如，可以对一批的第一个的工件w进行步骤s1～s5，或者也可以对每个工件w进行步骤s1～s5。

根据以上的第一实施方式，在步骤s1中从液滴排出头24向载置介质51为检查而排出液滴d之后，在步骤s2中以覆盖为检查而排出到载置介质51的载运区域a的液滴d的方式配置罩体34。这样一来，能够通过由该罩体34和载置介质51形成的密闭空间e来抑制液滴d的干燥。之后，在步骤s3中利用摄像机31透过盖32来拍摄为检查而排出到载置介质51的液滴d。由于该拍摄在罩体34覆盖液滴d的状态下进行，因此如预想那样能够抑制液滴d的干燥，能够抑制拍摄图像中的液滴d的面积的变化。因此，在步骤s4中，能够根据拍摄图像正确地测定液滴d的面积，并能够根据该液滴d的面积正确地换算液滴量，其结果，能够恰当地测定每个排出嘴的相对排出量。而且，在步骤s5中，能够适当地调整液滴排出头24中的排出嘴的排出量，因此能够无偏差地进行对工件w的描绘处理。

此外，本发明人通过实验确认了利用罩体34能够抑制液滴d干燥的效果。在配置有罩体34和未配置罩体34的情况下进行实验，在各情况下测定了液滴d的面积随时间的变化。图13表示该实验结果。图13的横轴表示经过时间，纵轴表示面积变化率。当参照图13时，在未配置罩体34的情况下，液滴d的面积随时间变小。另一方面，在配置有罩体34的情况下，即使时间经过，液滴d的面积几乎不发生变化。

另外，如上所述，由于利用罩体34能够抑制液滴d干燥，因此功能液的选择范围变广。如本实施方式所示，通过形成密闭空间e，能够为在该密闭空间e中使液滴d成为饱和状态，因此不论与功能液的种类为何，都能够抑制液滴d干燥。因此，也能够选择容易干燥的功能液。

而且，由于利用罩体34能够抑制液滴d的干燥，因此在利用摄像机31拍摄液滴d时使用的照明器具的选择范围变广。在本实施方式中，使用led作为照明器具的光源，但是，例如在使用卤素灯或者水银灯的情况下，由于发热，因此液滴d变得容易干燥。在这一点上，在本实施方式中，能够为在密闭空间e中使液滴d成为饱和状态，因此能够抑制液滴d干燥，也能够使用发热的光源作为照明器具。

(第一实施方式的变形例1)

在以上的第一实施方式中，一个罩体34与一个载运区域a对应地设置，不过罩体34的形状或配置不限于此。

例如罩体34可以遍及多个载运区域a而设置。图14(a)和图14(b)表示罩体34遍及2个载运区域a1、a2而设置的例子。在该情况下，盖支承部33以包围2个载运区域a1、a2的方式设置。另外，在盖支承部33的y轴方向的中央设置有在x轴方向延伸的支架33a。通过该支架33a，来划分载运区域a1、a2，即划分为密闭空间e1、e2。此外，罩体34也可以遍及3个以上的载运区域a而设置。

另外，例如可以在与一个载运区域a对应地设置的罩体34，设置支架33a。在该情况下，一个载运区域a被划分为多个。例如一个载运区域a较宽而一个罩体34的盖32弯曲的情况下，为了抑制该弯曲，在罩体34设置有支架33a。

由于在罩体34的形状或配置为任一种的情况下，能够形成覆盖液滴d的密闭空间e，因此能够抑制液滴d干燥，能够获得第一实施方式的上述的效果。

(第一实施方式的变形例2)

另外，在以上的第一实施方式中，在步骤s1中从液滴排出头24向载置介质51为检查而排出液滴d时，罩体34由移动机构36保持，不过保持罩体34的方法不限于此。

图15是表示在步骤s1中罩体34由第二x轴滑动件60保持的例子。在该情况下，在步骤s2中，以通过移动机构36使之从第二x轴滑动件60向载置介质51移动的方式来配置罩体34。如上所述，不论是何种罩体34的保持方法，都能够形成密闭空间e，因此能够抑制液滴d干燥，能够获得第一实施方式的上述的效果。

(第一实施方式的变形例3)

另外，在以上的第一实施方式中，载置介质51使用拨液膜，但是，载置介质51的种类不限于此。例如载置介质51也可以使用渗透膜。在该情况下，为检查而排出到载置介质51的液滴d渗透到该载置介质51中。根据例如功能液的种类来决定载置介质51使用拨液膜还是使用渗透膜。另外，载置介质51不限于此膜，也可以使用例如为玻璃基板的堤板。

无论载置介质51为哪种，通过在罩体34与载置介质51之间形成密闭空间e，就能够抑制液滴d干燥，能够获得第一实施方式的上述的效果。

但是，在使用渗透膜作为载置介质51的情况下，作为照明器具的光源例如使用环型的led。在该情况下，当液滴d渗透到载置介质51中时，使用环型的led从斜向照射led光。这样一来，在由摄像机31拍摄的图像中，渗透了液滴d的部分和未渗透液滴d的部分的对比之不同变得明显，由此能够测定液滴d的面积。

<2.第二实施方式>

接着，参照图16说明本发明的第二实施方式的液滴排出装置的结构。图16是示意性地表示本实施方式的液滴排出装置1中的拍摄单元30和排出检查单元50的概略结构的侧面图。

第二实施方式的液滴排出装置1适用于使用渗透膜作为载置介质51的情况，即从液滴排出头24为检查而排出的液滴d渗透到载置介质51中的情况。

如图16所示，在第二实施方式中，替代第一实施方式中的罩体34而使用作为检查用盖的盖200。盖200使用与罩体34的盖32相同的材质。具体而言，盖200能够使用例如低反射玻璃、防反射玻璃或者粘贴有防反射膜的玻璃或石英等。

此外，盖200可以如第一实施方式所示设置于每个载运区域a。或者，盖200可以如第一实施方式的变形例1那样遍及多个载运区域a而设置。

另外，第二实施方式中的液滴排出装置1的其他结构与第一实施方式中的液滴排出装置1的结构相同。

接着，说明使用如以上那样构成的液滴排出装置1来进行的工件处理。以下的说明中的步骤s1～s8与第一实施方式中的步骤s1～s8对应。

首先，在步骤s1中，从液滴排出头24向载置介质51为检查而排出液滴d，该液滴d渗透到载置介质51中。此时，盖200可以如第一实施方式那样由移动机构36保持，或者也可以如第一实施方式的变形例2那样由第二x轴滑动件60保持。

之后，在步骤s2中，如图16所示，盖200被移动机构36载置在渗透了液滴d的载置介质51上。之后，在步骤s3中，通过摄像机31拍摄为检查而排出到载置介质51的液滴d。

在上述步骤s2、s3中，由于液滴d被盖200覆盖，因此液滴d不蒸发而能够抑制干燥。在第一实施方式中，从抑制液滴d干燥的观点出发，尽可能减小了密闭空间e，而在本第二实施方式中，在盖200和载置介质51之间没有空间。因此，能够进一步抑制液滴d干燥。

另外，在步骤s3中拍摄液滴d时，盖200与载置介质51接触，故而因反射光的干涉导致的牛顿环的影响变大。因此，盖200优选使用低反射玻璃、防反射玻璃或者粘贴有防反射膜的玻璃或石英等。

此外，之后的步骤s4～s8与第一实施方式的步骤s4～s8相同。

如上所述，在第二实施方式中，能够获得与上述第一实施方式相同的效果。

<3.其他实施方式>

在以上的第一实施方式和第二实施方式的液滴排出装置1中，拍摄单元30可以具有利用拍摄排出到工件w的液滴d来描绘的状态的描绘检查摄像机(未图示)。图像拍摄摄像机隔着载运件23(液滴排出头24)与摄像机31在x轴方向相对设置。

在该情况下，在步骤s7中在工件w描绘规定的图案后，在工件台40被引导到描绘检查摄像机的下方时，描绘检查摄像机拍摄由排出到工件台40上的工件w的液滴进行的图案等的描绘的状态。拍摄的图像被输出到控制部100，在控制部100中，基于拍摄的图像，检查描绘状态的不佳状态，例如膜不均匀等。在该检查结果中，在判定描绘状态为不佳状态的情况下，例如对来自液滴排出头24的液滴的排出动作等进行反馈控制。

此外，以上实施方式的液滴排出装置1能够广泛应用于例如制造有机el装置、彩色过滤器、液晶显示装置、等离子体显示器(pdp装置)、电子发射装置(fed装置、sed装置)等电光学装置(平板显示器：fpd)时等。另外，在进行金属布线成型、透镜成型、抗蚀剂成型和光扩散体成型等的制造时也可以使用液滴排出装置1。

以上，对本发明实施方式进行了说明，但是本发明不限于上述例子。对于本领域技术人员而言，在专利申请的范围内记载的技术思想的范畴中，显然能够想到各种的变更例或修正例，这些当然也属于本发明的技术的范围。

工业上的可利用性

本发明在对工件排出功能液的液滴以进行描绘时是有用的。