半导体图像感测装置及其制作方法与流程

文档序号:17688530发布日期:2019-05-17 20:50阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明实施例涉及半导体图像感测装置及其制作方法。本发明实施例涉及一种半导体图像传感器装置,其包含半导体衬底、辐射感测区及第一隔离结构。所述辐射感测区在所述半导体衬底中。所述第一隔离结构在所述半导体衬底中且邻近于所述辐射感测区。所述第一隔离结构包含在所述半导体衬底中的底部隔离部分、在所述半导体衬底中的上隔离部分,及包围所述上隔离部分的侧壁的扩散阻障层。

技术研发人员:江彦廷;陈春元;曾晓晖;李升展;王昱仁;吴尉壮;丁世汎;刘人诚;杨敦年
受保护的技术使用者:台湾积体电路制造股份有限公司
技术研发日:2018.10.22
技术公布日:2019.05.17
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