一种制作太阳能电池片的刻蚀装置及其使用方法与流程

本发明属于电池片加工技术领域，具体涉及一种制作太阳能电池片的刻蚀装置，还涉及一种制作太阳能电池片的刻蚀装置的使用方法。

背景技术：

刻蚀技术，是在半导体工艺，按照掩模图形或设计要求对半导体衬底表面或表面覆盖薄膜进行选择性腐蚀或剥离的技术。刻蚀技术不仅是半导体器件和集成电路的基本制造工艺，而且还应用于薄膜电路、印刷电路和其他微细图形的加工。刻蚀还可分为湿法刻蚀和干法刻蚀。

传统的太阳能电池片的刻蚀装置为了使硅片在刻蚀时仅对其边缘进行刻蚀，一般需要在滚轮上套设多个橡胶圈，当采用在传动滚轮上套设多个橡胶圈时,由于橡胶圈的存在,会使得刻蚀后的硅片的底部表面遗留下橡胶圈的印记,进而会对后续的电极印刷工艺产生不利的影响，装置的震动会使硅片四周粘附过多的刻蚀液且不同区域遇见粘附的刻蚀液也可能不均一，大大提高了不良品的产生。

技术实现要素：

本发明的目的在于提供一种制作太阳能电池片的刻蚀装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种制作太阳能电池片的刻蚀装置，包括刻蚀箱、支撑杆、传动轴、转动电机和减震装置，所述刻蚀箱底部四角固定焊接有四组固定板，所述固定板下方设置有减震装置，所述刻蚀箱内开设有容纳槽，所述刻蚀箱的容纳槽顶部开设有槽口，所述刻蚀箱的容纳槽内装有刻蚀液，容纳槽顶部设置有若干组传动轴，若干组所述传动轴上放置有电池片，所述传动轴通过转轴杆转动安装在刻蚀箱顶部，若干组所述传动轴靠近刻蚀箱的右侧箱壁上均套设固定有链轮盘，若干组所述链轮盘之间安装有链条，所述刻蚀箱的右侧外壁上固定有转动电机，一组所述传动轴的一端穿过刻蚀箱侧壁，所述传动轴穿过刻蚀箱的一端固定焊接在转动电机的机轴上，所述刻蚀箱顶部四角固定焊接有四组支撑杆，四组所述支撑杆顶部固定有顶板，所述顶板的顶部安装有吹风机，所述顶板的底部固定焊接有若干组伸长杆，所述伸长杆的一侧边底部安装有风嘴。

优选的，所述减震装置至少包括减震外壳、滑动杆、固定杆、滑动板和减震弹簧，所述减震外壳底部固定焊接有四组滑动杆，所述减震外壳滑动安装有滑动板，所述滑动板上挖设有供滑动杆滑动的滑槽，所述滑动板底部设置有减震弹簧，所述减震弹簧套设安装在滑动杆上，所述滑动板底部固定有固定杆，所述固定杆远离滑动板的一端固定在固定板上。

优选的，所述传动轴上交错固定有若干组承接盘，所述刻蚀液的液面高度与若干组所述传动轴顶部的承接盘的高度齐平。

优选的，所述伸长杆的侧边上通过固定绳绑缚有导风管，所述导风管的一端与吹风机的出风口连通，所述导风管的另一端与风嘴的进风口连通。

优选的，四组所述支撑杆的外侧边上固定焊接有两组安装板，所述安装板上开设有若干组吸风口，所述吸风口处安装有吸风管，所述吸风管与吸风机连通。

另外，本发明还提供一种制作太阳能电池片的刻蚀装置的使用方法，包括以下步骤：

工作时，向刻蚀箱的容纳槽中倒入刻蚀液，使刻蚀液的液面高度与传动轴顶部的承接盘高度齐平，打开转动电机，转动电机转动带动机轴转动，机轴转动时传动轴转动，传动轴转动带动链轮盘转动，链轮盘转动带动链条转动，进而使若干组传动轴均转动，把电池片放置在传动轴的承接盘上，传动轴转动带动电池片移动，进而使刻蚀液对电池片进行刻蚀处理，刻蚀处理时产生气体，打开吹风机和吸风机，吹风机抽风经过导风管通过风嘴吹出，对刻蚀处理产生的气体进行吹去，吸风机通过吸风管把气体吸走，工作过程中转动电机、吹风机产生震动时，震动通过固定板传递到固定杆上，固定杆带动滑动板下压进而对减震弹簧进行下压，从而对震动进行吸收。

本发明的技术效果和优点：该制作太阳能电池片的刻蚀装置，通过交错设置在传动轴上的承接盘，可以对电池片刻蚀过程中使电池片均匀刻蚀，防止在电池片底部留下印记造成后续的电极印刷工艺受影响，通过设置的减震装置，减震装置中的减震外壳、滑动杆、固定杆、滑动板和减震弹簧之间的配合可以对装置进行有效的减震处理，降低震动对刻蚀装置的影响，降低了不良品的产生率，通过设置的吹风机、风嘴、吸风管和吸风口的设置可以对刻蚀反应产生的有害气体进行吹取吸收，防止刻蚀反应产生的有害气体对电池片造成损坏。该制作太阳能电池片的刻蚀装置，能够有效的提高刻蚀的精确度，大大提高良品的产生率，适合推广使用。

附图说明

图1为本发明的剖视图；

图2为本发明的图1中b-b处的剖视图；

图3为本发明的图1中a处的结构示意图；

图4为本发明的传动轴结构示意图。

图中：1刻蚀箱、2支撑杆、3吹风机、4顶板、5减震装置、51减震外壳、52滑动杆、53固定杆、54滑动板、55减震弹簧、6刻蚀液、7传动轴、71链轮盘、72承接盘、73转轴杆、8电池片、9吸风管、10风嘴、11导风管、12伸长杆、13安装板、14转动电机、15固定板。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

本发明提供了如图1-4所示的一种制作太阳能电池片的刻蚀装置，包括刻蚀箱1、支撑杆2、传动轴7、转动电机14和减震装置5，所述刻蚀箱1底部四角固定焊接有四组固定板15，所述固定板15下方设置有减震装置5，所述刻蚀箱1内开设有容纳槽，所述刻蚀箱1的容纳槽顶部开设有槽口，所述刻蚀箱1的容纳槽内装有刻蚀液6，所述刻蚀液6为氢氟酸，容纳槽顶部设置有若干组传动轴7，若干组所述传动轴7上放置有电池片8，所述传动轴7通过转轴杆73转动安装在刻蚀箱1顶部，若干组所述传动轴7靠近刻蚀箱1的右侧箱壁上均套设固定有链轮盘71，若干组所述链轮盘71之间安装有链条，所述刻蚀箱1的右侧外壁上固定有转动电机14，一组所述传动轴7的一端穿过刻蚀箱1侧壁，所述传动轴7穿过刻蚀箱1的一端固定焊接在转动电机14的机轴上，所述刻蚀箱1顶部四角固定焊接有四组支撑杆2，四组所述支撑杆2顶部固定有顶板4，所述顶板4的顶部安装有吹风机3，所述顶板4的底部固定焊接有若干组伸长杆12，所述伸长杆12的一侧边底部安装有风嘴10。

具体的，所述减震装置5至少包括减震外壳51、滑动杆52、固定杆53、滑动板54和减震弹簧55，所述减震外壳51底部固定焊接有四组滑动杆52，所述减震外壳51滑动安装有滑动板54，所述滑动板54上挖设有供滑动杆52滑动的滑槽，所述滑动板54底部设置有减震弹簧55，所述减震弹簧55套设安装在滑动杆52上，所述滑动板54底部固定有固定杆53，所述固定杆53远离滑动板54的一端固定在固定板15上。

具体的，所述传动轴7上交错固定有若干组承接盘72，所述刻蚀液6的液面高度与若干组所述传动轴7顶部的承接盘72的高度齐平。

具体的，所述伸长杆12的侧边上通过固定绳111绑缚有导风管11，所述导风管11的一端与吹风机3的出风口连通，所述导风管11的另一端与风嘴10的进风口连通，所述风嘴10吹风可以防止在刻蚀反应后有害气体沿电池片8边缘上升对电池片造成损坏。

具体的，四组所述支撑杆2的外侧边上固定焊接有两组安装板13，所述安装板13上开设有若干组吸风口，所述吸风口处安装有吸风管9，所述吸风管9与吸风机连通，吸风口可以把刻蚀反应产生的有害气体和吹风机吹出的风进行吸取。

另外，本发明还提供一种制作太阳能电池片的刻蚀装置的使用方法，包括以下步骤：

工作时，向刻蚀箱1的容纳槽中倒入刻蚀液6，使刻蚀液6的液面高度与传动轴7顶部的承接盘72高度齐平，打开转动电机14，转动电机14转动带动机轴转动，机轴转动时传动轴7转动，传动轴7转动带动链轮盘71转动，链轮盘71转动带动链条转动，进而使若干组传动轴7均转动，把电池片8放置在传动轴7的承接盘72上，传动轴7转动带动电池片8移动，进而使刻蚀液6对电池片8进行刻蚀处理，刻蚀处理时产生气体，打开吹风机3和吸风机，吹风机3抽风经过导风管11通过风嘴10吹出，对刻蚀处理产生的气体进行吹去，吸风机通过吸风管9把气体吸走，工作过程中转动电机14、吹风机3产生震动时，震动通过固定板15传递到固定杆53上，固定杆53带动滑动板54下压进而对减震弹簧55进行下压，从而对震动进行吸收。该制作太阳能电池片的刻蚀装置，能够有效的提高刻蚀的精确度，大大提高良品的产生率，适合推广使用。

最后应说明的是：以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换,凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。