滑轨式石墨舟卡点手动更换机的制作方法

本发明属于太阳能电池制造领域，尤其涉及一种滑轨式石墨舟卡点手动更换机。

背景技术：

随着太阳能电池的迅猛发展，越来越多的太阳能电池进入民用领域。在太阳能电池的生产过程中，pecvd（plasmaenhancedchemicalvapordeposition，等离子体增强化学气相沉积法）镀膜工艺是生产流程中的重要环节，起到举足轻重的作用。pecvd是借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离，在局部形成等离子体，而等离子体化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉积出所期望的薄膜。硅片进行其表面镀膜工序时，需要将未镀膜的硅片插入pecvd真空镀膜设备的载片器上。目前，载片器通常采用石墨舟，具体操作过程是：将硅片插入石墨舟并通过石墨舟卡点定位于其上，然后，将载有硅片的石墨舟放置在pecvd真空镀膜设备中，采用pecvd工艺对硅片进行镀膜。为了固定硅片于石墨舟中，石墨舟的石墨舟片上设有用于固定硅片的卡点，由于硅片在插取过程中会对卡点有一定的磨损，需要定期对卡点进行更换，以便保证石墨舟的良好状态，进而保证硅片的镀膜质量。

传统石墨舟卡点的更换方法操作步骤复杂且繁琐、同时对装配人员技能要求比较高，如果技能操作不到位会导致更换过程中石墨舟片和石墨舟卡点损坏或装配不到位，传统的石墨舟卡点更换操作方法是：石墨舟卡点需要使用到一台简易手动压机，同时压机两边需用泡沫板或橡胶皮垫垫得和手动压机平台一样的高度，操作人员坐在压机面前将石墨舟片平放置于手动压机平台上面，然后依次将石墨舟的24个卡点用手动压机卸下，石墨舟卡点卸下之后操作人员将要更换新的卡点放置于对应卡孔上面，小心翼翼的用左手扶好右手往下转动压机，手使的力度要把握好，如果使用的力度太大会把石墨舟和卡点压坏，如果使用的力度太小就压不到位，而且一次只能装一个卡点，压完一张石墨舟片的卡点后，继续下一张石墨舟片卡点的更换，一个石墨舟有27片组成，通常一天需要更换好几个这样的石墨舟卡点，人员操作复杂繁琐，常常因为来不及更换石墨舟卡点，而导致生产进度缓慢，一般情况下因为赶进度而损坏石墨舟片或卡点压不到位的情况非常多，导致硅片制作过程中损坏或脱落情况，影响产品质量。虽然市场上已经陆续出现多种石墨舟卡点自动更换机，但是由于这种自动更换机整体结构复杂，生产制造成本较高，操作过程繁琐，而且占据空间较大，对工作环境要求以及后期维护成本均比较高，在推广应用上存在极大的局限性。

技术实现要素：

本发明的目的是解决上述现有技术的不足，提供一种整体结构简单、占据空间小、制造成本低、操作使用方便、对操作人员技能要求不高且工作效率高的滑轨式石墨舟卡点手动更换机。

本发明解决上述现有技术的不足所采用的技术方案是：

一种滑轨式石墨舟卡点手动更换机，其特征在于，包括：

石墨舟片定位模，供放置待更换卡点的石墨舟片并对其进行定位；

装卸模，设置在所述石墨舟片定位模上方，用于对所述石墨舟片中的旧卡点进行装卸；

手动压机，设置在所述装卸模上端，用于向所述石墨舟片中的旧卡点更换提供向下的压力，所述装卸模在所述手动压机的带动下在所述石墨舟片定位模上方进行上下位移；

移动滑轨组件，设置在所述石墨舟片定位模下方，所述石墨舟片定位模在所述移动滑轨组件的带动下进行左右位移。

优选的，本发明中所述石墨舟片定位模上设有若干定位柱，所述若干定位柱间隔设置在所述石墨舟片定位模的两侧边缘。

优选的，本发明中所述装卸模由卸点模或装点模构成，所述卸点模用于对所述石墨舟片中的旧卡点进行卸载，所述装点模用于对石墨舟片装配新卡点。

优选的，本发明中所述卸点模或所述装点模的四周边均设有四个定位孔洞，所述四个定位孔洞与所述定位柱相适配。

优选的，本发明中所述卸点模下侧设有若干卸点柱，所述装点模上设有若干装点柱。

优选的，本发明中所述手动压机包括机座、立柱、压点旋转手柄、压杆，所述立柱固定设置在所述机座上，所述压杆活动设置在所述立柱上并可在垂直所述机座的方向上滑动，所述压杆上设有齿条，所述立柱上设有与所述齿条相啮合的齿轮，所述压点旋转手柄的一端垂直固定连接在所述齿轮的旋转轴上。通过旋转压点旋转手柄转动齿轮，齿轮使齿条在竖直方向上移动，从而带动压杆在竖直方向上移动，使压杆的下端对石墨舟片进行施压。

优选的，本发明中所述移动滑轨组件是在所述手动压机两侧设有轨道底座，所述轨道底座上设有滑轨，所述滑轨上设有可沿其自由滑动的滑座，所述石墨舟片定位模设置在所述滑座上。

本发明的有益效果是，由于本发明滑轨式石墨舟卡点手动更换机包括石墨舟片定位模、装卸模、手动压机、移动滑轨组件，使用时由操作人员将待更换卡点的石墨舟片放置在石墨舟片定位模上，利用移动滑轨组件将石墨舟片定位模调整到合适位置，然后利用手动压机带动其下端的装卸模进行下压，对石墨舟片中的旧卡点进行卸载，可以一次性卸载多个旧卡点，工作效率高，旧卡点卸载之后，由操作人员将新卡点放置在石墨舟片的卡点孔洞中，然后利用装卸模对新卡点进行装配，本发明整体结构简单、占据空间小、制造成本低、操作使用方便、对操作人员技能要求不高且工作效率高，后期维护成本低，适于大范围推广使用。

附图说明

图1为本发明滑轨式石墨舟卡点手动更换机的一种实施例结构示意图，也是一种优选实施例示意图。

图2、图3为本发明卸点模的一种实施例结构示意图，其中，图3为图2的主视图。

图4为本发明装点模的一种实施例结构示意图。

图5为本发明手动压机的一种实施例结构示意图。

具体实施方式

以下描述用于揭露本发明以使本领域技术人员能够实现本发明。以下描述中的优选实施例只作为举例，本领域技术人员可以想到其他显而易见的变型。在以下描述中界定的本发明的基本原理可以应用于其他实施方案、变形方案、改进方案、等同方案以及没有背离本发明的精神和范围的其他技术方案。

在本发明的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“左”、“右”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

图1-图5示出了本发明滑轨式石墨舟卡点手动更换机的一种实施例结构示意图，也是一种优选实施例示意图。如图1-图5所示，本实施例所述的滑轨式石墨舟卡点手动更换机，包括石墨舟片定位模10、装卸模20、手动压机30、移动滑轨组件40，其中，所述石墨舟片定位模10供放置待更换卡点的石墨舟片并对其进行定位；所述装卸模20设置在所述石墨舟片定位模上方，用于对所述石墨舟片中的旧卡点进行装卸；所述手动压机30设置在所述装卸模上端，用于向所述石墨舟片中的旧卡点更换提供向下的压力，所述装卸模在所述手动压机的带动下在所述石墨舟片定位模上方进行上下位移；所述移动滑轨组件40设置在所述石墨舟片定位模下方，所述石墨舟片定位模在所述移动滑轨组件的带动下进行左右位移。

作为优选实施方式，如图1所示，本发明中所述石墨舟片定位模10上设有若干定位柱11，所述若干定位柱11间隔设置在所述石墨舟片定位模10的两侧边缘。

作为优选实施方式，如图1-图4所示，本实施例中所述装卸模20由卸点模21或装点模22构成，其中，所述卸点模21用于对所述石墨舟片中的旧卡点进行卸载，所述装点模22用于对石墨舟片装配新卡点。

作为优选实施方式，如图2、图3所示，本实施例中所述卸点模21四周边设有四个卸点定位孔洞23，所述四个卸点定位孔洞23与所述定位柱11相适配，卸点工作过程中可以利用定位柱11与卸点定位孔洞23相互配合，将卸点模21进行定位，提高卸点精准性以及工作稳定性。优选的，由图2、图3可以看出，本实施例中所述卸点模21下侧设有若干卸点柱24，通过卸点柱24可以将石墨舟卡点中的旧卡点进行卸载，在本实施例中，所述卸点柱24优选设有六个，因而利用本发明更换机可以一次性卸载掉六个旧卡点，工作效率相比传统人工卸点操作提高了六倍。

作为优选实施方式，如图4所示，本实施例中所述装点模22的四周边设有四个装点定位孔洞25，所述四个装点定位孔洞25与所述定位柱11相适配，装点工作过程中可以利用定位柱11与装点定位孔洞25相互配合，将装点模22进行定位，提高装点精准性以及工作稳定性。优选的，由图4可以看出，本实施例中所述装点模22下侧设有若干装点柱26，通过装点柱26可以将新卡点装配在石墨舟上，在本实施例中，所述装点柱26优选设有六个，因而利用本发明更换机可以一次性安装六个新卡点，工作效率相比传统人工装点操作提高了六倍。

作为优选实施方式，如图5所示，本实施例中所述手动压机30包括机座31、立柱32、压点旋转手柄33、压杆34，所述立柱32固定设置在所述机座31上，所述压杆34活动设置在所述立柱32上并可在垂直所述机座31的方向上滑动，所述压杆34上设有齿条35，所述立柱32上设有与所述齿条35相啮合的齿轮36，所述压点旋转手柄33的一端垂直固定连接在所述齿轮36的旋转轴上。本实施例中通过旋转压点旋转手柄33转动齿轮36，齿轮36使齿条35在竖直方向上移动，从而带动压杆34在竖直方向上移动，使压杆34的下端对石墨舟片进行施压。

作为优选实施方式，如图1所示，本实施例中所述移动滑轨组件40是在所述手动压机30两侧设有轨道底座41，所述轨道底座41上设有滑轨42，所述滑轨42上设有可沿其自由滑动的滑座43，所述石墨舟片定位模10设置在所述滑座43上。工作过程中滑座43可以带动石墨舟片定位模在滑轨上自由滑动，根据具体情况需要自由调节石墨舟片定位模的位置，操作灵活，提高更换精度。

本发明所述更换机在使用时，首先由操作人员将待更换的石墨舟片正确平整的放置在石墨舟片定位模上，然后左手移动石墨舟片定位模，将卸点模的四个卸点定位孔洞对准石墨舟片定位模上面的定位柱，右手向下转动手动压机的压点旋转手柄，一次性卸掉六个卡点，以此操作共压五次，卸掉所有卡点后将手动压机上面的卸点模更换为装点模，把石墨舟片定位模移动到身体左侧，用手将24个石墨舟卡点放置于石墨舟片卡点孔洞上，然后左手移动石墨舟片定位模，将装点模的四个装点定位孔洞对准石墨舟片定位模上面的定位柱，右手向下转动压机手柄，一次性安装六个卡点，以此操作共压五次，安装好所有卡点后取走石墨舟片，更换下一个石墨舟片上面的卡点。

相比于现有技术，本发明主要具有以下优点：1、一次卸载六个卡点，以前一次只能卸一个卡点，现在可以一次卸六个卡点，速度是以前传统方式的六倍；2、一次性装六个卡点，以前一次只能装一个卡点，现在可以一次装六个卡点，速度是以前传统方式的六倍；3、保护石墨舟片不受损伤，以前装点或卸点时经常对不准，导致压坏石墨舟片，使用本发明可以杜绝出现类似情况；4、操作使用方便，对操作人员的技能要求不高，以前相关操作人员上岗操作需要培训学习一个星期才能操作，有时不小心压坏石墨舟片或安装不到位，现在只需培训学习一至两天就能胜任此工作，且安装几乎合格、没有损坏；5、工作效率高，现在是以前传统方式的六倍效率；6、安全，以前操作人员经常压到手指，使用本发明可以杜绝类似情况发生；7、制造成本低，如果采购新的自动化设备动辄好几万，甚至几十万，本发明结构简单、占据空间小、制造成本低，可以为企业节约大量成本；8、能保持现场6s，以前使用泡沫垫在石墨舟片下面，导致操作现场到处飘的泡沫碎屑，现在使用本发明可以杜绝类似情况的出现。

本领域的技术人员应理解，上述描述及附图中所示的本发明的实施例只作为举例而并不限制本发明。本发明的目的已经完整并有效地实现。本发明的功能及结构原理已在实施例中展示和说明，在没有背离所述原理下，本发明的实施方式可以有任何变形或修改。