技术特征：
技术总结
本发明公开了一种垂直腔面发射激光器，包括衬底，在衬底上依次层叠有基板、底部n型DBR反射镜、第一氧化限制层、n型引导间隔层、有源区层、p型渐变间隔层、第二氧化限制层、第一间隔层、第三氧化限制层、第二间隔层、第四氧化限制层、第三间隔层、第五氧化限制层、第四间隔层、第六氧化限制层、第五间隔层、第七氧化限制层、第六间隔层、第八氧化限制层、顶部p型DBR反射镜、p型接触层和p侧电极；在衬底远离基板的一面设有n侧电极。其优点在于：能够稳定实现单模运行，并且具有低光学损耗、低能耗和低寄生电容的优点。
技术研发人员：陈柱元;罗玉辉
受保护的技术使用者：深亮智能技术（中山）有限公司
技术研发日：2018.12.05
技术公布日：2019.03.26