技术特征：
技术总结
本发明提供一种独立开关式面光源VCSEL及其制备方法，其中，独立开关式面光源VCSEL包括：半导体衬底、外延层以及至少两个各自独立工作的发光区域；外延层位于半导体衬底的正面，发光区域位于外延层的正面，各发光区域具有各自独立的供电电极，任一发光区域包括：发光芯片以及供电电极，发光芯片包括自上而下依次层叠设置的：上DBR层、有源层以及下DBR层，供电电极包括：外延层电极以及背电极，外延层电极一端与上DBR层的顶面相连接，另一端延伸至外延层上，背电极位于半导体衬底层的背面。本发明中，各发光区域可协同工作，也可各自独立工作，充分满足了实际的使用需求。同时，还有利于节约能耗，延长面光源的使用寿命。
技术研发人员：王俊;谭少阳;赵智德
受保护的技术使用者：苏州长光华芯半导体激光创新研究院有限公司
技术研发日：2018.12.29
技术公布日：2019.03.26