本实用新型涉及一种气帘装置及载运设备，特别是一种应用于晶圆制造过程中相关设备的气帘装置及包含有所述气帘装置的晶圆盒载运设备。
背景技术：
现有应用于晶圆生产设备中的气帘装置，大多存在有结构复杂、安装不易及气密效果不佳等问题。另外，在现有的应用中，晶圆盒的活动门被开启时，外部环境的微粒、脏污等将容易进入晶圆盒中，进而可能影响设置于晶圆盒中的晶圆片质量。
技术实现要素：
本实用新型的主要目的在于提供一种气帘装置用以改善现有的气帘装置结构复杂、安装不易及气密效果不佳等问题，本实用新型的另一目的在于改善晶圆盒被开启时，晶圆盒内容易受外部环境影响的问题。
为了实现上述目的，本实用新型提供一种气帘装置，其包含：一壳体，其包含有至少一进气孔及至少一出气口；至少一透气板，其包含有多个透气孔；一固定环，其套设于所述透气板的外围；其中，所述透气板能透过所述固定环而固定设置于所述壳体中，且所述固定环能使所述透气板与所述壳体之间形成气密的效果；其中，所述进气孔能与外部供气设备相连接，而外部供气设备所提供的气体能通过所述进气孔进入所述壳体中，并通过多个所述透气孔后，由所述出气口向外排出。
优选地，所述壳体包含有一环状构件及一盖板，所述环状构件为中空结构，而所述环状构件具有两个通口，两个所述通口彼此相互连通，其中一个所述通口定义为所述出气口，所述盖板固定设置于所述环状构件，且所述盖板对应密封非所述出气口的所述通口。
优选地，所述环状构件于所述出气口处形成有一抵顶结构，所述抵顶结构能限制所述固定环相对于所述壳体的位置。
优选地，所述盖板的一侧具有一限位结构，所述限位结构及所述抵顶结构能共同抵顶设置于所述壳体中的所述固定环。
优选地，所述固定环为一体成型的弹性结构，且所述固定环内侧形成有一上缘限位部及一下缘限位部，所述上缘限位部及所述下缘限位部之间则对应形成有一卡合槽；所述固定环套设于所述透气板时，所述透气板对应固定设置于所述卡合槽中，且所述上缘限位部及所述下缘限位部能对应抵靠所述透气板彼此相反的两侧。
为了实现上述目的，本实用新型还提供一种晶圆盒载运设备，其包含：一承载装置，其包含一平台及一充气模块，所述平台用以提供一晶圆盒设置，所述充气模块能受控制而对设置于所述平台上的所述晶圆盒的内部进行充气作业；一气帘装置，其连接一外部供气设备，所述气帘装置包含：一壳体，其包含有至少一进气孔及至少一出气口；至少一透气板，其包含有多个透气孔；一固定环，其套设于所述透气板的外围；其中，所述透气板能透过所述固定环而固定设置于所述壳体中，且所述固定环能使所述透气板与所述壳体之间形成气密的效果；其中，所述进气孔能与外部供气设备相连接，而外部供气设备所提供的气体能通过所述进气孔进入所述壳体中，并通过多个所述透气孔后，由所述出气口向外排出；一控制装置，其能于设置于所述平台的所述晶圆盒的一活动门被控制开启时，对应控制所述气帘装置作动，而使所述外部供气设备所提供的气体，能通过所述气帘装置而对所述晶圆盒原设置有所述活动门的位置进行吹气。
优选地，所述壳体包含有一环状构件及一盖板，所述环状构件为中空结构，而所述环状构件具有两个通口，两个所述通口彼此相互连通，其中一个所述通口定义为所述出气口，所述盖板固定设置于所述环状构件，且所述盖板对应密封非所述出气口的所述通口。
优选地，所述环状构件于所述出气口处形成有一抵顶结构，所述抵顶结构能限制所述固定环相对于所述壳体的位置。
优选地，所述盖板的一侧具有一限位结构，所述限位结构及所述抵顶结构能共同抵顶设置于所述壳体中的所述固定环。
优选地，所述固定环为一体成型的弹性结构，且所述固定环内侧形成有一上缘限位部及一下缘限位部，所述上缘限位部及所述下缘限位部之间则对应形成有一卡合槽；所述固定环套设于所述透气板时，所述透气板对应固定设置于所述卡合槽中，且所述上缘限位部及所述下缘限位部能对应抵靠所述透气板彼此相反的两侧。
本实用新型的有益效果可以在于：气帘装置透过固定环及透气板的相互配合，透气板可以更方便地固定设置于壳体中，且透过固定环及透气板的相互配合可以提升透气板与壳体之间的气密效果。晶圆盒载运设备透过气帘装置及控制装置的相互配合，可以在晶圆盒的活动门开启时，利用气帘装置于晶圆盒原设置有活动门的位置形成气流墙，借此，可有效避免外部环境的污染物进入晶圆盒中。
附图说明
图1、2为本实用新型的气帘装置的示意图。
图3、4为本实用新型的气帘装置的分解示意图。
图3A为图3所标示ⅢA之局部放大示意图。
图5为本实用新型的气帘装置的局部剖视图。
图6为本实用新型的气帘装置中图5的前视图。
图7为本实用新型的晶圆盒载运设备的示意图。
图8为本实用新型的晶圆盒载运设备的方块示意图。
具体实施方式
请一并参阅图1、图2、图3及图4，其为本实用新型的气帘装置的组合及分解示意图。如图所示，气帘装置1包含有一壳体10、两个透气板20及一固定环30。固定环30用以套设于透气板20的外围；套设置有固定环30的透气板20则固定设置于壳体10中；壳体10能与外部供气设备相连接，而外部供气设备所提供的气体，能进入壳体10中并通过两个透气板20而均匀地向外排出。其中，透气板20的数量可以依据需求加以增减。
具体来说，壳体10可以是包含有一盖板11及一环状构件12。盖板11具有两个进气孔111，两个进气孔111能与外部供气设备相连接。图中所示绘示的进气孔111仅为示范态样，在实际应用中，进气孔111的外型可以是依据需求加以设计；进气孔111的数量亦不局限为两个，其可依据需求增减。盖板 11与环状构件12可拆卸地相互固定，在实际应用中，盖板11与环状构件12 的固定方式，例如可以是透过多个螺丝及气密环相互配合，以气密地彼此相互固定。
环状构件12为中空结构，而环状构件12包含有两个通口12a、12b，两个通口12a、12b彼此相互连通，其中一个通口12b定义为出气口。盖板11 与环状构件12相互固定时，盖板11是对应密封通口12a。关于盖板11及环状构件12的外型可以是依据需求加以变化，图中所示仅为其中一种示范态样。
固定环30用以套设于透气板20外围，所述固定环30可以是一体成型的弹性结构，而固定环30则可以紧密地套设于透气板20的外围。换句话说，固定环30套设于透气板20时，可以是被透气板20稍微撑开，而固定环30将对应产生弹性回复力，借此固定环30的内侧壁将紧密地贴合于透气板20的外围。在实际应用中，固定环30的宽度可以是依据透气板20的数量进行变化。
在实际应用中，固定环30可以是具有使两个透气板20相互固定的功效，但不以此为限，在不同的实施例中，两个透气板20彼此间也可以是先透过任何方式相互固定，而后再套设有固定环30。
在特殊的应用中，两个透气板20可以是彼此透过任何方式相互固定，而固定环30则可以是仅套设于其中一个透气板20或是仅套设于两个透气板20 的部份。又或者，在不同的应用中，环状构件12中设置的透气板20是彼此间隔地设置，而固定环30则是对应套设于最靠近出气口12b的透气板20。
如图5及图6所示，套设有固定环30的两个透气板20，固定设置于环状构件12中，而两个透气板20与环状构件12的内侧壁之间，则可以透过固定环30的设置而达到气密的效果，亦即，透气板20可以是透过固定环30而气密地设置于环状构件12中，如此，透气板20与环状构件12之间则可以不透过额外的密封胶，来达到气密的效果。
更进一步来说，本实用新型的透气板20与壳体10之间是透过固定环30 来达到气密的效果，因此，不会有透过密封胶进行密封时，可能发生的因为密封胶涂布不均匀，而导致气密效果不佳的问题，或者因为密封胶于涂布过程中掺入空气，而于密封胶中形成气泡，进而导致气密效果不佳的问题；再者，利用密封胶进行透气板20及壳体10之间的密封固定，不但费工且费时，甚至特定的密封胶还需要透过特殊的灯光来使其快速固化，从而导致整体制造成本的上升。本实用新型的固定环30属于独立的构件，其不存在有前述密封胶于涂布过程中，密封胶内部可能形成气泡的问题，且固定环30可以快速地套设于透气板20上，而套设有固定环30的透气板20同样也可以快速地安装于壳体 10中，因此，具有安装方便、快速、省时、省工且节省成本的功效。
特别说明的是，如图3A所示，其显示为透气板20的局部放大示意图。透气板20包含有多个透气孔201，而气体通过透气板20的该些透气孔201后，将可均匀地由透气板20的一侧向外排出。换言之，本实用新型的气帘装置1 透过透气板20的设置，将可使气体均匀地于透气板20的一侧向外排出，而可于气帘装置1的一侧形成一道气流墙。在实际应用中，透气板20的透气孔201 可以是来自于透气板20本身自然形成的孔洞，举例来说，透气板20可以是由 UPE材质制成；当然，透气板20的透气孔201也可以是透过人工加工的方式形成，于此不加以限制。在不同的实施例中，壳体10中可以是间隔地设置有多个透气板20，而不同的透气板20可以是对应具有不同尺寸的透气孔。
如前所述，本实用新型的气帘装置1，其所包含的两个透气板20是透过固定环30，而气密地固定设置于壳体10中，因此，透气板20的一侧可以是直接外露于气帘装置1，如此，将可使通过透气板20的气体直接向外排出。当然，依据实际的需求，前述的环状构件12于出气口12b处可以是形成有底板，底板则对应遮蔽出气口12b，且底板则对应具有多个出气孔，亦即，通过透气板20的气体将再通过底板的出气孔才向外排出。
请一并参阅图3、图4、图5及图6，固定环30的内侧可以是形成有一上缘限位部301及一下缘限位部302，且固定环30于上缘限位部301及下缘限位部302之间可以是对应形成有一卡合槽303。当固定环30套设于两个透气板20时，透气板20则对应卡合固定于卡合槽303中，而上缘限位部301及下缘限位部302则对应抵顶于两个透气板20彼此相反的两侧，如此，将可以使固定环30更稳固套设于两个透气板20的外围。当然，依据固定环30所套设的透气板20数量及各透气板20的厚度，固定环30的卡合槽303的宽度将有所不同。另外，上缘限位部301及下缘限位部302的宽度及其外型，可以是依据需求加以设计，不局限于图中所示的态样。
环状构件12于出气口12b处还可以是形成有一抵顶结构121。当套设有固定环30的透气板20固定设置于环状构件12中时，抵顶结构121则可以是对应抵顶至少一部份的固定环30，从而可限制固定环30位置。当然，抵顶结构121的外型、宽度可以是依据固定环30及透气板20的外型进行变化，不局限图中所示。另外，于本实施例中，所述抵顶结构121是环绕形成出气口12b 的侧壁，但不以此为限，抵顶结构121也可以不是环绕形成出气口12b的侧壁设置。透过抵顶结构121的设置，将可有效限制固定环30及透气板20的位置外，更可以辅助相关人员或是相关机械进行套设有固定环30的透气板20的安装作业；具体来说，相关人员或是相关机械将套设有固定环30的透气板20 固定于环状构件12中时，当固定环30抵顶抵靠抵顶结构121时，相关人员或是相关机械将可据以知道套设有固定环30的透气板20已被安装到正确的位置上。
盖板11的一侧还可以是形成有一限位结构112，而当盖板11与环状构件 12相互固定时，限位结构112则可以是对应位于环状构件12的内侧壁，且限位结构112可以是对应抵顶固定环30，而固定环30可以是同时被限位结构112 及抵顶结构121挤压，借此，固定环30所对应产生的弹性回复力，将可使固定环30的上缘、下缘分别与限位结构112、抵顶结构121紧密地贴合。特别说明的是，于具体的实施中，透过透气板20、限位结构112、抵顶结构121 及固定环30彼此间相对应的尺寸设计，可以使套设有固定环30的透气板20 固定设置于壳体10中时，固定环30同时被限位结构112、抵顶结构121及透气板20抵压，而固定环30对应产生的弹性回复力，将据以使透气板20与壳体10之间形成良好的气密效果。
如图6所示，套设有固定环30的两个透气板20固定设置于环状构件12 中，且盖板11与环状构件12相互固定时，盖板11、透气板20及环状构件12 将共同形成有一容置空间SP，而外部供气设备所提供的气体，经过进气孔111 将进入容置空间SP；当容置空间SP中的气体到达一定压力时，气体将通过透气板20的多个透气孔201，而由出气口12b均匀地向外排出。
请一并参阅图7及图8，其显示为本实用新型的晶圆盒载运设备的示意图。如图所述，晶圆盒载运设备100包含有一气帘装置1、一承载装置A及一开门组件B。承载装置A电性连接开门组件B及气帘装置1，而承载装置A能控制开门组件B及气帘装置1作动。
承载装置A包含有一平台A1、一充气模块A2及一控制模块A3。平台A1 用以提供一晶圆盒F(例如是FOUP)设置，平台A1还可以是设置有一限位组件 A11及多个气嘴组件(图未标示)，限位组件A11能与设置于平台A1的晶圆盒F 相互卡合，以限制晶圆盒F相对于平台A1的位置。
充气模块A2用以对设置于平台A1上的晶圆盒F进行充气作业。所述充气模块A2可以是依据需求与至少一个外部供气设备相连通，且充气模块A2可以是透过设置于平台A1的气嘴组件，而将外部供气设备所提供的气体，充入设置于平台A1上的晶圆盒F中。于实际应用中，充气模块A2可以是包含有进气管路及排气管路，而充气模块A2能利用进气管路将外部供气设备所提供的气体(例如是CDA、氮气等)，充入设置于平台A1的晶圆盒F中，而充气模块A2 还能利用排气管路将晶圆盒F中的气体向外排出。
控制模块A3电性连接充气模块A2，控制模块A3能控制充气模块A2对设置于平台A1上的晶圆盒F内部进行充气作业。控制模块A3例如可以是微处理器、计算机设备等。
开门组件B邻近于平台A1设置，开门组件B能与设置于平台A1的所述晶圆盒F的一活动门F1相互连接，而带动活动门F1移动，以使晶圆盒F内部与外连通。在实际应用中，开门组件B可以是与承载装置A的控制模块A3电性连接，而控制模块A3能据以控制开门组件B的作动，以选择性地控制开门组件B开启设置于平台A1上的晶圆盒F的活动门F1。
晶圆盒载运设备100实际的作动方式可以是：当晶圆盒F被设置于平台 A1上时，控制模块A3对应控制限位组件A11与晶圆盒F相互连接，以限制晶圆盒F相对于平台A1的活动；而后，控制模块A3将控制充气模块A2对晶圆盒F的内部进行充气作业。当晶圆盒F中的晶圆片需要被取出时(或者是晶圆盒F中需要被设置晶圆片)，控制模块A3可以是先确认限位组件A11是否与晶圆盒F相互连接，在限位组件A11与晶圆盒F相互连接的情况下，控制模块 A3将控制开门组件B作动，以利用开门组件B开启晶圆盒F的活动门F1，于此同时，控制模块A3将控制气帘装置1作动，以使气帘装置1对晶圆盒F原设置有活动门F1的位置吹气，进而于晶圆盒F原设置有活动门F1的位置形成气流墙。如此，外部设备在对晶圆盒F内部进行晶圆片的载运时，透过气流墙的设置，外部环境的微粒、脏污等将不易进入晶圆盒F中，而可有效降低晶圆盒F在活动门F1开启的过程中，受到外部环境的影响。
特别说明的是，于本实施例中，是以承载装置A内的控制模块A3控制气帘装置1及开门组件B为例，但不以此为限。在不同的应用中，晶圆盒载运设备100还可以是包含有独立于承载装置A的控制装置(图未示)，而控制装置电性连接气帘装置1、承载装置A及开门组件B，控制装置则能对应进行前述控制模块A3所执行的各种控制作业。
如上所述，本实用新型的晶圆盒载运设备100透过气帘装置1、承载装置 A及开门组件B的相互配合，晶圆盒F的活动门F1被开启时，气帘装置1能于晶圆盒F原设置有活动门F1的位置进行吹气，从而可有效地避免晶圆盒F 内部受外部环境影响。