一种利于激光器一致性冷却的输出镜片冷却装置的制作方法

文档序号:16232679发布日期:2018-12-11 21:30阅读:115来源:国知局
一种利于激光器一致性冷却的输出镜片冷却装置的制作方法

本实用新型涉及激光器技术领域,具体涉及一种利于激光器一致性冷却的输出镜片冷却装置。



背景技术:

随着科技的进步,二氧化碳激光器被广泛应用,对于目前的二氧化碳激光器结构而言,主要是包括放电管、冷却管和储气管,冷却管套设在放电管外,在储气管的两端分别设置有输出镜片和反射镜片,冷却管上还连接有进液管和出液管,在工作状态下,冷却液由进液管进入到冷却管内,流经冷却管后再由出液管排出,在该过程中,冷却液带走放电管和冷却管上的热量,进而实现对冷却效果,在进一步的研发设计中,发明人发现,目前的激光器还存在有不足,其不足之处,具体如下述:

目前的激光器结构,在工作时,会产生大量的热量,所以,需要设置水冷管对放电管进行冷却,设置输出镜片冷却装置对输出镜片进行冷却,还需要设置反射镜片冷却装置对反射镜片进行冷却,在各个冷却装置工作时,是通过泵送设备将冷却液泵入各个冷却装置,进而实现冷却效果,由于需要布置多个泵送设备,一方面是增加了激光器的使用成本,另一方面也使得激光器配套设备需要占用较大空间;而且,由于各个泵送设备独立工作,冷却液温度以及对冷却液的流速控制并都存在差异,所以也容易导致各个冷却装置的冷却效果不一致,如此,致使激光器的各个位置存在热变形不一致的风险,当激光器各位置热变形不一致时,不仅会严重影响激光器的使用寿命,而且,还会降低输出镜片与反射镜片的对齐精度,所以,还会影响激光束的输出质量。

所以,目前需要设计一种能够良好冷却激光器相应位置,减小激光器局部位置热变形不一致风险的激光器结构。



技术实现要素:

本实用新型的目的在于:针对现有技术存在的:激光器各个文字存在热变形不一致风险的问题,提供一种能够良好冷却激光器相应位置,减小激光器局部位置热变形不一致风险的激光器结构。

为了实现上述目的,本实用新型采用的技术方案为:

一种利于激光器一致性冷却的输出镜片冷却装置,包括用于与输出镜片相配合的第一冷却套,所述第一冷却套内部具有第一冷却腔,所述第一冷却套上连接有与所述第一冷却腔连通的第一进液嘴和第一出液嘴,所述第一出液嘴上连接有第一连通管,所述第一连通管与激光器冷却管的进液管相连接,使所述第一出液嘴与所述进液管相连通。

在激光器实际工作中,冷却液的输出需要设置液泵进行泵送,采用本申请的方案,将第一出液嘴与进液管通过设置第一连通管相连通,如此设置,对于输出镜片冷却装置和冷却管内的冷却液可以共用一套泵送设备,如此,一方面是简化了激光器外部配合组件,另一方面,输出镜片的冷却和放电管共用冷却液,使其冷却效果更为一致,放电管部分以及输出镜片部分的热变形能够相互匹配,进而减小了相互之间造成不均匀拉扯而导致的不均匀变形,所以,还进一步的提高了激光器的使用寿命和提高了激光器精度,进而提高了激光束的输出质量。

优选的,所述第一冷却套与所述输出镜片相贴合。

优选的,所述第一出液嘴与第一冷却腔连通位置的水平高度,高于所述第一进液嘴与第一冷却腔连通位置的水平高度。

通过设置与输出镜片相配合的输出镜片冷却装置,使激光器的输出镜片也能够得到良好的冷却,而第一出液嘴与第一冷却腔连通位置的水平高度,高于第一进液嘴与第一冷却腔连通位置的水平高度,对于第一冷却腔而言,也是使其冷却液处于下进上出的方式,利于冷却液充满第一冷却腔,也利于第一冷却腔内的气体被排出,进而确保良好的冷却效果。

优选的,所述第一进液嘴由所述第一冷却腔的底部与所述第一冷却腔相连通。第一进液嘴由第一冷却腔的底部与第一冷却腔相连通,冷却液是由第一冷却腔的最低处进入,避免第一冷却腔底部的冷却液不参与流动,所以也进一步的确保了冷却效果。

优选的,所述第一进液嘴为竖直设置。第一进液嘴的竖直设置,也进一步确保了冷却液充满第一进液嘴,同时也利于第一进液嘴内气体被冷却液推送出第一进液嘴,所以,也保证了第一进液嘴处的冷却效果。

优选的,所述第一冷却套上设置有用于激光束输出的激光束输出口,所述第一冷却腔为绕激光束输出口的环形腔,在所述第一冷却腔内设置有用于隔断环形腔的第一隔板,所述第一进液嘴与所述第一冷却腔连通的位置与所述第一出液嘴与所述第一冷却腔连通的位置位于所述第一隔板的两侧。

将第一冷却腔设置为环状,并且设置第一隔板,第一进液嘴和第二进液嘴设置在第一隔板两侧,如此设置,使得冷却液在有第一进液嘴进入对冷却腔后,要沿环状腔体流动一周再由第一出液嘴流出,如此,使得第一冷却腔内各个位置的冷却液都能够得到顺畅流动,进而进一步确保了各个位置都具有较为一致的冷却效果,也进一步的提高了对输出镜片的冷却效果,进一步减小输出镜片因局部冷却不均匀而造成不均匀变形的风险。

优选的,所述第一进液嘴和第一出液嘴与所述第一隔板为相切状。如此设置,进一步的确保第一冷却腔内的冷却液都能够得到良好的流动,进而进一步确保冷却效果。

本申请还公开了一种利于激光器一致性冷却的反射镜片冷却装置,

包括用于与反射镜片相配合的第二冷却套,所述第二冷却套内部具有第二冷却腔,所述第二冷却套上连接有与所述第二冷却腔连通的第二进液嘴和第二出液嘴,所述第二进液嘴上连接有第二连通管,所述第二连通管与激光器冷却管的出液管相连接,使所述第二进液嘴与所述出液管相连通。

在激光器实际工作中,冷却液的输出需要设置液泵进行泵送,采用本申请的方案,将第二进液嘴与出液管通过设置第二连通管相连通,如此设置,对于反射镜片冷却装置和冷却管内的冷却液可以共用一套泵送设备,如此,一方面是简化了激光器外部配合组件,另一方面,如上述的,第一出液嘴与进液管连接,所以,在本申请的方案中,输出镜片冷却装置的冷却液、放电管的冷却液以及反射镜片冷却装置的冷却液,都共用一套泵送装置,一方面是,进一步的简化了激光器配套组件,另一方面,也使其冷却效果更为一致,放电管以及输出镜片和反射镜片的热变形能够相互匹配,进而减小了相互之间造成不均匀拉扯而导致的不均匀变形,所以,还进一步的提高了激光器的使用寿命和提高了激光器精度,进而提高了激光束的输出质量。

优选的,所述第二冷却套与所述反射镜片之间为相贴合。

优选的,所述第二出液嘴与第二冷却腔连通位置的水平高度,高于所述第二进液嘴与第二冷却腔连通位置的水平高度。

第二出液嘴与第二冷却腔连通位置的水平高度,高于第二进液嘴与第二冷却腔连通位置的水平高度,对于第二冷却腔而言,也是使其冷却液处于下进上出的方式,利于冷却液充满第二冷却腔,也利于第一冷却腔内的气体被排出,进而确保良好的冷却效果。

优选的,所述第二出液嘴由所述第二冷却腔的顶部与所述第二冷却腔相连通。进一步的确保,第二冷却腔内的冷却液能够填充满第二冷却腔,进而实现良好的冷却效果。

优选的,所述第二出液嘴为竖直设置。第二出液嘴的竖直设置,进一步的增加了冷却液流出的竖向高度,进一步的确保了冷却液对第二冷却腔的填满,也进一步区别的冷却液在流动过程中推出第二冷却腔内气体,实现良好的冷却效果。

优选的,在所述第二冷却腔内设置有第二隔板,所述第二隔板与第二冷却套内侧壁相配合,所述第二隔板远离所述第二进液嘴和第二出液嘴的一侧与所述第二冷却腔的侧壁之间存在有间隙,所述第二进液嘴与所述第二冷却腔连通的位置与所述第二出液嘴与所述第二冷却腔连通的位置位于所述隔板的两侧。

通过设置第二隔板,将第二冷却腔分割为两个腔室,两个腔室通过第二隔板与第二冷却腔侧壁之间的间隙连通,第二进液嘴和第二出液嘴分别位于不同腔室内,如此设置,使整个第二冷却腔内的冷却液都流动起来,避免冷却液由第二进液嘴进入第二冷却腔后直接从第二出液嘴排出,进而确保整个第二冷却套都具有一致的冷却效果,提高对反射镜片的冷却效果。

优选的,所述第二进液嘴和第二出液嘴与所述第二隔板为相切状。如此设置,进一步的确保第二冷却腔内的冷却液都能够得到良好的流动,进而进一步确保冷却效果。

本申请还公开了一种利于气体排出的冷却装置,

包括冷却管和与所述冷却管相连通的进液管和出液管,所述进液管由所述冷却管的底部与所述冷却管相连通,所述出液管由所述冷却管的顶部与所述冷却管相连通。

本申请的利于气体排出的冷却装置,进液管由冷却管的底部与冷却管相连通,出液管由冷却管的顶部与冷却管相连通,如此设置,即满足冷却管内的冷却液是下进上出的状态,也就使得,冷却液在进入冷却管后,需要先填充满冷却管,然后才会有出液管排出,如此,一方面是保证了冷却管内部空间的顶部能够良好的与冷却液接触,进而保证冷却管顶部良好的冷却效果,另一方面,即便是冷却液中的气体在冷却管分离出来,也能够被冷却液推向出液管,如此,避免这些气体在冷却管内汇集而造成冷却管上局部冷却效果不佳的问题,采用本申请的冷却装置,冷却管各个位置都能够被良好的冷却,其各个位置所产生的变形也较为一致,所以,其对放电管和储气管的拉扯也较为一致,所以,减小了储气管和放电管因受不均匀拉扯力而造成圆柱度下降的问题,进而在提高激光器寿命的同时,也提高了激光束的输出质量。

优选的,所述进液管与所述冷却管连通的端部不超出所述冷却管的内壁。进液管伸入冷却管后形成接头,在冷却液流动时,在该接头周围的冷却液会出现流通不畅的问题,所以容易致使该部分的冷却管冷却管效果不佳,所以,在本申请中,进液管不超出冷却管内部,如此,使进液管与冷却管接头处的冷却液也能够通畅的流动,进而保证进液管处冷却管的冷却效果。

优选的,所述出液管与所述冷却管连通的端部不超出所述冷却管的内壁。原理同上,也是保证了出液管与冷却管连通处冷却管的冷却效果。

优选的,所述进液管设置在所述冷却管沿长度方向的其中一端端部,所述出液管设置在所述冷却管沿长度方向的另一端部。如此设置,使得冷却管内壁的任意位置的冷却液都能够良好的流动,如此,进一步的确保冷却管各位置都能够得到良好的冷却,确保冷却管和放电管被冷却的一致性。

优选的,所述冷却装置还包括上述的输出镜片冷却装置。

优选的,所述冷却装置还包括上述的反射镜片冷却装置。

本申请还公开了一种设置有上述利于气体排出的冷却装置的激光器,

包括储气管和设置在所述储气管内的放电管,所述冷却管套设在所述放电管外,所述进液管沿竖直方向朝下的穿出所述储气管,所述出液管沿竖直方向朝上的穿出所述储气管。

本申请的激光器,由于采用了上述的利于气体排出的冷却装置,一方面是使放电管能够被良好的冷却,同时,还使冷却管本身也能够得到良好的冷却,提高激光器的使用寿命,而且,由于冷却管和放电管被良好冷却,降低了因局部位置温度不同而产生不同变形量的风险,所以,也降低了放电管和储气管被拉扯时,出现变形不一致的风险,进而也确保了输出镜片和反射镜片的对齐精度,确保了激光束的输出质量。

优选的,所述储气管的一端设置有输出镜片,另一端设置有反射镜片,所述输出镜片上设置有所述输出镜片冷却装置,所述反射镜片上设置有反射镜片冷却装置。如上述设置,一方面是实现了对反射镜片和输出镜片的冷却,另一方面,如上述的,本申请的激光器可以采用一套泵送即可实现冷却管、输出镜片冷却装置和反射镜片冷却装置的冷却液供应,一方面是简化了激光器配套设备,另一方面,也使得各部分冷却液温度能够良好统一协调,使得这些部件在发生热变形时,变形量也能够相互协调统一,进一步的避免了激光器局部热变形不统一时,导致激光器使用寿命下降以及激光束质量降低的问题。

综上所述,由于采用了上述技术方案,本实用新型的有益效果是:

在激光器实际工作中,冷却液的输出需要设置液泵进行泵送,采用本申请的方案,将第一出液嘴与进液管通过设置第一连通管相连通,如此设置,对于输出镜片冷却装置和冷却管内的冷却液可以共用一套泵送设备,如此,一方面是简化了激光器外部配合组件,另一方面,输出镜片的冷却和放电管共用冷却液,使其冷却效果更为一致,放电管部分以及输出镜片部分的热变形能够相互匹配,进而减小了相互之间造成不均匀拉扯而导致的不均匀变形,所以,还进一步的提高了激光器的使用寿命和提高了激光器精度,进而提高了激光束的输出质量。

附图说明

图1为设置利于气体排出的冷却装置后的激光器结构示意图;

图2为图1中输出镜片冷却装置处的局部仰视示意图;

图3为图1中反射镜片冷却装置处的局部俯视示意图;

图4为第一冷却套的局部剖视示意图;

图5为第二冷却套的局部剖视示意图,

图中标记:1-冷却管,2-进液管,3-出液管,4-第一冷却套,5-第一冷却腔,6-第一进液嘴,7-第一出液嘴,8-第一连通管,9-激光束输出口,10-第一隔板,11-第二冷却套,12-第二进液嘴,13-第二出液嘴,14-第二连通管,15-第二隔板,16-储气管,17-放电管。

具体实施方式

下面结合附图,对本实用新型作详细的说明。

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白,以下结合附图及实施例,对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅用以解释本实用新型,并不用于限定本实用新型。

实施例1,如图1-5所示:

一种利于激光器一致性冷却的输出镜片冷却装置,包括用于与输出镜片相配合的第一冷却套4,所述第一冷却套4内部具有第一冷却腔5,所述第一冷却套4上连接有与所述第一冷却腔5连通的第一进液嘴6和第一出液嘴7,所述第一出液嘴7上连接有第一连通管8,所述第一连通管8与激光器冷却管1的进液管2相连接,使所述第一出液嘴7与所述进液管2相连通。

在激光器实际工作中,冷却液的输出需要设置液泵进行泵送,采用本申请的方案,将第一出液嘴7与进液管2通过设置第一连通管8相连通,如此设置,对于输出镜片冷却装置和冷却管1内的冷却液可以共用一套泵送设备,如此,一方面是简化了激光器外部配合组件,另一方面,输出镜片的冷却和放电管17共用冷却液,使其冷却效果更为一致,放电管17部分以及输出镜片部分的热变形能够相互匹配,进而减小了相互之间造成不均匀拉扯而导致的不均匀变形,所以,还进一步的提高了激光器的使用寿命和提高了激光器精度,进而提高了激光束的输出质量。

作为进一步优选的实施方式,所述第一冷却套4与所述输出镜片相贴合。

作为进一步优选的实施方式,所述第一出液嘴7与第一冷却腔5连通位置的水平高度,高于所述第一进液嘴6与第一冷却腔5连通位置的水平高度。

通过设置与输出镜片相配合的输出镜片冷却装置,使激光器的输出镜片也能够得到良好的冷却,而第一出液嘴7与第一冷却腔5连通位置的水平高度,高于第一进液嘴6与第一冷却腔5连通位置的水平高度,对于第一冷却腔5而言,也是使其冷却液处于下进上出的方式,利于冷却液充满第一冷却腔5,也利于第一冷却腔5内的气体被排出,进而确保良好的冷却效果。

作为进一步优选的实施方式,所述第一进液嘴6由所述第一冷却腔5的底部与所述第一冷却腔5相连通。第一进液嘴6由第一冷却腔5的底部与第一冷却腔5相连通,冷却液是由第一冷却腔5的最低处进入,避免第一冷却腔5底部的冷却液不参与流动,所以也进一步的确保了冷却效果。

作为进一步优选的实施方式,所述第一进液嘴6为竖直设置。第一进液嘴6的竖直设置,也进一步确保了冷却液充满第一进液嘴6,同时也利于第一进液嘴6内气体被冷却液推送出第一进液嘴6,所以,也保证了第一进液嘴6处的冷却效果。

作为进一步优选的实施方式,所述第一冷却套4上设置有用于激光束输出的激光束输出口9,所述第一冷却腔5为绕激光束输出口9的环形腔,在所述第一冷却腔5内设置有用于隔断环形腔的第一隔板10,所述第一进液嘴6与所述第一冷却腔5连通的位置与所述第一出液嘴7与所述第一冷却腔5连通的位置位于所述第一隔板10的两侧。

将第一冷却腔5设置为环状,并且设置第一隔板10,第一进液嘴6和第二进液嘴12设置在第一隔板10两侧,如此设置,使得冷却液在有第一进液嘴6进入对冷却腔后,要沿环状腔体流动一周再由第一出液嘴7流出,如此,使得第一冷却腔5内各个位置的冷却液都能够得到顺畅流动,进而进一步确保了各个位置都具有较为一致的冷却效果,也进一步的提高了对输出镜片的冷却效果,进一步减小输出镜片因局部冷却不均匀而造成不均匀变形的风险。

作为进一步优选的实施方式,所述第一进液嘴6和第一出液嘴7与所述第一隔板10为相切状。如此设置,进一步的确保第一冷却腔5内的冷却液都能够得到良好的流动,进而进一步确保冷却效果

实施例2,如图1-5所示:

一种利于激光器一致性冷却的反射镜片冷却装置,

包括用于与反射镜片相配合的第二冷却套11,所述第二冷却套11内部具有第二冷却腔,所述第二冷却套11上连接有与所述第二冷却腔连通的第二进液嘴12和第二出液嘴13,所述第二进液嘴12上连接有第二连通管14,所述第二连通管14与激光器冷却管1的出液管3相连接,使所述第二进液嘴12与所述出液管3相连通。

在激光器实际工作中,冷却液的输出需要设置液泵进行泵送,采用本申请的方案,将第二进液嘴12与出液管3通过设置第二连通管14相连通,如此设置,对于反射镜片冷却装置和冷却管1内的冷却液可以共用一套泵送设备,如此,一方面是简化了激光器外部配合组件,另一方面,如上述的,第一出液嘴7与进液管2连接,所以,在本申请的方案中,输出镜片冷却装置的冷却液、放电管17的冷却液以及反射镜片冷却装置的冷却液,都共用一套泵送装置,一方面是,进一步的简化了激光器配套组件,另一方面,也使其冷却效果更为一致,放电管17以及输出镜片和反射镜片的热变形能够相互匹配,进而减小了相互之间造成不均匀拉扯而导致的不均匀变形,所以,还进一步的提高了激光器的使用寿命和提高了激光器精度,进而提高了激光束的输出质量。

作为进一步优选的实施方式,所述第二冷却套11与所述反射镜片之间为相贴合。

作为进一步优选的实施方式,所述第二出液嘴13与第二冷却腔连通位置的水平高度,高于所述第二进液嘴12与第二冷却腔连通位置的水平高度。

第二出液嘴13与第二冷却腔连通位置的水平高度,高于第二进液嘴12与第二冷却腔连通位置的水平高度,对于第二冷却腔而言,也是使其冷却液处于下进上出的方式,利于冷却液充满第二冷却腔,也利于第一冷却腔5内的气体被排出,进而确保良好的冷却效果。

作为进一步优选的实施方式,所述第二出液嘴13由所述第二冷却腔的顶部与所述第二冷却腔相连通。进一步的确保,第二冷却腔内的冷却液能够填充满第二冷却腔,进而实现良好的冷却效果。

作为进一步优选的实施方式,所述第二出液嘴13为竖直设置。第二出液嘴13的竖直设置,进一步的增加了冷却液流出的竖向高度,进一步的确保了冷却液对第二冷却腔的填满,也进一步区别的冷却液在流动过程中推出第二冷却腔内气体,实现良好的冷却效果。

作为进一步优选的实施方式,在所述第二冷却腔内设置有第二隔板15,所述第二隔板15与第二冷却套11内侧壁相配合,所述第二隔板15远离所述第二进液嘴12和第二出液嘴13的一侧与所述第二冷却腔的侧壁之间存在有间隙,所述第二进液嘴12与所述第二冷却腔连通的位置与所述第二出液嘴13与所述第二冷却腔连通的位置位于所述隔板的两侧。

通过设置第二隔板15,将第二冷却腔分割为两个腔室,两个腔室通过第二隔板15与第二冷却腔侧壁之间的间隙连通,第二进液嘴12和第二出液嘴13分别位于不同腔室内,如此设置,使整个第二冷却腔内的冷却液都流动起来,避免冷却液由第二进液嘴12进入第二冷却腔后直接从第二出液嘴13排出,进而确保整个第二冷却套11都具有一致的冷却效果,提高对反射镜片的冷却效果。

作为进一步优选的实施方式,所述第二进液嘴12和第二出液嘴13与所述第二隔板15为相切状。如此设置,进一步的确保第二冷却腔内的冷却液都能够得到良好的流动,进而进一步确保冷却效果。

实施例3,如图1-5所示:

一种利于气体排出的冷却装置,包括冷却管1和与所述冷却管1相连通的进液管2和出液管3,所述进液管2由所述冷却管1的底部与所述冷却管1相连通,所述出液管3由所述冷却管1的顶部与所述冷却管1相连通。

本申请的利于气体排出的冷却装置,进液管2由冷却管1的底部与冷却管1相连通,出液管3由冷却管1的顶部与冷却管1相连通,如此设置,即满足冷却管1内的冷却液是下进上出的状态,也就使得,冷却液在进入冷却管1后,需要先填充满冷却管1,然后才会有出液管3排出,如此,一方面是保证了冷却管1内部空间的顶部能够良好的与冷却液接触,进而保证冷却管1顶部良好的冷却效果,另一方面,即便是冷却液中的气体在冷却管1分离出来,也能够被冷却液推向出液管3,如此,避免这些气体在冷却管1内汇集而造成冷却管1上局部冷却效果不佳的问题,采用本申请的冷却装置,冷却管1各个位置都能够被良好的冷却,其各个位置所产生的变形也较为一致,所以,其对放电管17和储气管16的拉扯也较为一致,所以,减小了储气管16和放电管17因受不均匀拉扯力而造成圆柱度下降的问题,进而在提高激光器寿命的同时,也提高了激光束的输出质量。

作为进一步优选的实施方式,所述进液管2与所述冷却管1连通的端部不超出所述冷却管1的内壁。进液管2伸入冷却管1后形成接头,在冷却液流动时,在该接头周围的冷却液会出现流通不畅的问题,所以容易致使该部分的冷却管1冷却管1效果不佳,所以,在本申请中,进液管2不超出冷却管1内部,如此,使进液管2与冷却管1接头处的冷却液也能够通畅的流动,进而保证进液管2处冷却管1的冷却效果。

作为进一步优选的实施方式,所述出液管3与所述冷却管1连通的端部不超出所述冷却管1的内壁。原理同上,也是保证了出液管3与冷却管1连通处冷却管1的冷却效果。

作为进一步优选的实施方式,所述进液管2设置在所述冷却管1沿长度方向的其中一端端部,所述出液管3设置在所述冷却管1沿长度方向的另一端部。如此设置,使得冷却管1内壁的任意位置的冷却液都能够良好的流动,如此,进一步的确保冷却管1各位置都能够得到良好的冷却,确保冷却管1和放电管17被冷却的一致性。

作为进一步优选的实施方式,所述冷却装置还包括输出镜片冷却装置,所述输出镜片冷却装置包括用于与输出镜片相配合的第一冷却套4,所述第一冷却套4内部具有第一冷却腔5,所述第一冷却套4上连接有与所述第一冷却腔5连通的第一进液嘴6和第一出液嘴7,所述第一出液嘴7上连接有第一连通管8,所述第一连通管8与所述进液管2相连接,使所述第一出液嘴7与所述进液管2相连通。

作为进一步优选的实施方式,所述第一冷却套4与所述输出镜片相贴合。

在激光器实际工作中,冷却液的输出需要设置液泵进行泵送,采用本申请的方案,将第一出液嘴7与进液管2通过设置第一连通管8相连通,如此设置,对于输出镜片冷却装置和冷却管1内的冷却液可以共用一套泵送设备,如此,一方面是简化了激光器外部配合组件,另一方面,输出镜片的冷却和放电管17共用冷却液,使其冷却效果更为一致,放电管17部分以及输出镜片部分的热变形能够相互匹配,进而减小了相互之间造成不均匀拉扯而导致的不均匀变形,所以,还进一步的提高了激光器的使用寿命和提高了激光器精度,进而提高了激光束的输出质量。

作为进一步优选的实施方式,所述第一出液嘴7与第一冷却腔5连通位置的水平高度,高于所述第一进液嘴6与第一冷却腔5连通位置的水平高度。

通过设置与输出镜片相配合的输出镜片冷却装置,使激光器的输出镜片也能够得到良好的冷却,而第一出液嘴7与第一冷却腔5连通位置的水平高度,高于第一进液嘴6与第一冷却腔5连通位置的水平高度,对于第一冷却腔5而言,也是使其冷却液处于下进上出的方式,利于冷却液充满第一冷却腔5,也利于第一冷却腔5内的气体被排出,进而确保良好的冷却效果。

作为进一步优选的实施方式,所述第一进液嘴6由所述第一冷却腔5的底部与所述第一冷却腔5相连通。第一进液嘴6由第一冷却腔5的底部与第一冷却腔5相连通,冷却液是由第一冷却腔5的最低处进入,避免第一冷却腔5底部的冷却液不参与流动,所以也进一步的确保了冷却效果。

作为进一步优选的实施方式,所述第一进液嘴6为竖直设置。第一进液嘴6的竖直设置,也进一步确保了冷却液充满第一进液嘴6,同时也利于第一进液嘴6内气体被冷却液推送出第一进液嘴6,所以,也保证了第一进液嘴6处的冷却效果。

作为进一步优选的实施方式,所述第一冷却套4上设置有用于激光束输出的激光束输出口9,所述第一冷却腔5为绕激光束输出口9的环形腔,在所述第一冷却腔5内设置有用于隔断环形腔的第一隔板10,所述第一进液嘴6与所述第一冷却腔5连通的位置与所述第一出液嘴7与所述第一冷却腔5连通的位置位于所述第一隔板10的两侧。

将第一冷却腔5设置为环状,并且设置第一隔板10,第一进液嘴6和第二进液嘴12设置在第一隔板10两侧,如此设置,使得冷却液在有第一进液嘴6进入对冷却腔后,要沿环状腔体流动一周再由第一出液嘴7流出,如此,使得第一冷却腔5内各个位置的冷却液都能够得到顺畅流动,进而进一步确保了各个位置都具有较为一致的冷却效果,也进一步的提高了对输出镜片的冷却效果,进一步减小输出镜片因局部冷却不均匀而造成不均匀变形的风险。

作为进一步优选的实施方式,所述第一进液嘴6和第一出液嘴7与所述第一隔板10为相切状。如此设置,进一步的确保第一冷却腔5内的冷却液都能够得到良好的流动,进而进一步确保冷却效果。

作为进一步优选的实施方式,所述冷却装置还包括反射镜片冷却装置,所述反射镜片冷却装置包括用于与反射镜片相配合的第二冷却套11,所述第二冷却套11内部具有第二冷却腔,所述第二冷却套11上连接有与所述第二冷却腔连通的第二进液嘴12和第二出液嘴13,所述第二进液嘴12上连接有第二连通管14,所述第二连通管14与所述出液管3相连接,使所述第二进液嘴12与所述出液管3相连通。

作为进一步优选的实施方式,所述第二冷却套11与所述反射镜片之间为相贴合。

在激光器实际工作中,冷却液的输出需要设置液泵进行泵送,采用本申请的方案,将第二进液嘴12与出液管3通过设置第二连通管14相连通,如此设置,对于反射镜片冷却装置和冷却管1内的冷却液可以共用一套泵送设备,如此,一方面是简化了激光器外部配合组件,另一方面,如上述的,第一出液嘴7与进液管2连接,所以,在本申请的方案中,输出镜片冷却装置的冷却液、放电管17的冷却液以及反射镜片冷却装置的冷却液,都共用一套泵送装置,一方面是,进一步的简化了激光器配套组件,另一方面,也使其冷却效果更为一致,放电管17以及输出镜片和反射镜片的热变形能够相互匹配,进而减小了相互之间造成不均匀拉扯而导致的不均匀变形,所以,还进一步的提高了激光器的使用寿命和提高了激光器精度,进而提高了激光束的输出质量。

作为进一步优选的实施方式,所述第二出液嘴13与第二冷却腔连通位置的水平高度,高于所述第二进液嘴12与第二冷却腔连通位置的水平高度。

第二出液嘴13与第二冷却腔连通位置的水平高度,高于第二进液嘴12与第二冷却腔连通位置的水平高度,对于第二冷却腔而言,也是使其冷却液处于下进上出的方式,利于冷却液充满第二冷却腔,也利于第一冷却腔5内的气体被排出,进而确保良好的冷却效果。

作为进一步优选的实施方式,所述第二出液嘴13由所述第二冷却腔的顶部与所述第二冷却腔相连通。进一步的确保,第二冷却腔内的冷却液能够填充满第二冷却腔,进而实现良好的冷却效果。

作为进一步优选的实施方式,所述第二出液嘴13为竖直设置。第二出液嘴13的竖直设置,进一步的增加了冷却液流出的竖向高度,进一步的确保了冷却液对第二冷却腔的填满,也进一步区别的冷却液在流动过程中推出第二冷却腔内气体,实现良好的冷却效果。

作为进一步优选的实施方式,在所述第二冷却腔内设置有第二隔板15,所述第二隔板15与第二冷却套11内侧壁相配合,所述第二隔板15远离所述第二进液嘴12和第二出液嘴13的一侧与所述第二冷却腔的侧壁之间存在有间隙,所述第二进液嘴12与所述第二冷却腔连通的位置与所述第二出液嘴13与所述第二冷却腔连通的位置位于所述隔板的两侧。

通过设置第二隔板15,将第二冷却腔分割为两个腔室,两个腔室通过第二隔板15与第二冷却腔侧壁之间的间隙连通,第二进液嘴12和第二出液嘴13分别位于不同腔室内,如此设置,使整个第二冷却腔内的冷却液都流动起来,避免冷却液由第二进液嘴12进入第二冷却腔后直接从第二出液嘴13排出,进而确保整个第二冷却套11都具有一致的冷却效果,提高对反射镜片的冷却效果。

作为进一步优选的实施方式,所述第二进液嘴12和第二出液嘴13与所述第二隔板15为相切状。如此设置,进一步的确保第二冷却腔内的冷却液都能够得到良好的流动,进而进一步确保冷却效果。

实施例4,如图1-5所示:

一种设置有上述利于气体排出的冷却装置的激光器,包括储气管16和设置在所述储气管16内的放电管17,所述冷却管1套设在所述放电管17外,所述进液管2沿竖直方向朝下的穿出所述储气管16,所述出液管3沿竖直方向朝上的穿出所述储气管16。

本申请的激光器,由于采用了上述的利于气体排出的冷却装置,一方面是使放电管17能够被良好的冷却,同时,还使冷却管1本身也能够得到良好的冷却,提高激光器的使用寿命,而且,由于冷却管1和放电管17被良好冷却,降低了因局部位置温度不同而产生不同变形量的风险,所以,也降低了放电管17和储气管16被拉扯时,出现变形不一致的风险,进而也确保了输出镜片和反射镜片的对齐精度,确保了激光束的输出质量。

作为进一步优选的实施方式,所述储气管16的一端设置有输出镜片,另一端设置有反射镜片,所述输出镜片上设置有所述输出镜片冷却装置,所述反射镜片上设置有反射镜片冷却装置。如上述设置,一方面是实现了对反射镜片和输出镜片的冷却,另一方面,如上述的,本申请的激光器可以采用一套泵送即可实现冷却管1、输出镜片冷却装置和反射镜片冷却装置的冷却液供应,一方面是简化了激光器配套设备,另一方面,也使得各部分冷却液温度能够良好统一协调,使得这些部件在发生热变形时,变形量也能够相互协调统一,进一步的避免了激光器局部热变形不统一时,导致激光器使用寿命下降以及激光束质量降低的问题。

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